CN206550653U - 一种二维精密运动平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种二维精密运动平台，包括二维精密运动平台本体、伺服电机驱动器、压电陶瓷微位移器驱动电源、激光干涉光电接收器、滤波放大器、信号处理板及计算机处理系统。本实用新型采用宏/微两级共运动平面的结构形式，宏驱动X、Y方向的导轨在一个运动平面上，X、Y方向宏/微运动均采用一套激光干涉位移测量系统进行运动位移的实时计量。压电陶瓷驱动和激光干涉位移计量信号处理系统由信号采集及处理控制系统完成。其定位精度取决于压电陶瓷微位移驱动器的分辨率和激光干涉位移检测装置的分辨率，可以实现纳米级定位精度。本实用新型通过微驱动对宏驱动的补偿运动实现纳米级高精度定位的，具有结构紧凑、定位精度高、磨损小、通用性强等特点。

Description

一种二维精密运动平台

技术领域

本实用新型涉及运动装置技术领域，具体地说是涉及一种二维精密运动平台。

背景技术

在高精度加工和精密测量领域中精密运动平台有着非常重要的作用，为了提高运动平台的定位精度，国内外一些科研机构和高校对精密运动平台的研究投入了大量人力、物力，运动平台的大行程和高定位精度很难同时满足。

传统的二维精密运动平台一般利用两个一维精密工作台堆叠起来，华中科技大学王生怀博士开发了堆叠式运动平台（王生怀.区域表面结构非接触测量与特征评定方法研究.华中科技大学博土学位论文，2009）。该运动平台将两个一维精密工作台堆栈起来形成二维工作台，这种结构在一个方向运动时会在另外一个方向上产生误差，会引入较大的阿贝误差和转角误差等。

王选择等提出的共运动基面二维工作台（王选择.正交衍射光栅计量原理及在超精密工作台上的应用.华中科技大学博土学位论文，2004）的X、Y目标运动台贴在陶瓷精密平板上运动，该结构具有运动平稳、运动平面度高的优点，但其摩擦力较大并且运动基面会直接影响其运动平面性。

美国MIT与北卡大学联合研制了采用磁悬浮导轨，马达进给的二维工作台。东京工业大学开发了直线电机驱动二维工作台，该系统采用直流电机和空气静压丝杠作为驱动方式，反馈装置采用了激光干涉仪，工作台定位精度可以达到±2nm(J.H.Mao, H.Tachikawa,A.Shimokohbe. Precision positioning of a DC-motor-driven aerostiatic slidesystem[J]. Precision Engineering, 2003:27:32-41)。以上两种工作台均能达到较高的定位精度，但其结构复杂，成本太高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，为解决现有技术中存在的问题提供一种二维精密运动平台，通过微驱动对宏驱动的补偿运动实现纳米级高精度定位，具有结构紧凑、定位精度高、磨损小、通用性强等特点。

为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种二维精密运动平台，包括二维精密运动平台本体、伺服电机驱动器、压电陶瓷微位移器驱动电源、激光干涉光电接收器、滤波放大器、信号处理板及计算机处理系统；

所述二维精密运动平台本体包括宏运动结构、微运动结构和激光干涉位移计量系统；

所述宏运动结构包括运动平台底座、宏运动平台、X向运动机构和Y向运动机构；

所述X向运动机构包括X向丝杠及固设在运动平台底座上的X向伺服电机，X向丝杠的一端与X向伺服电机的输出端连接，X向丝杠上通过螺纹连接有X向螺母，X向丝杠的两端分别通过X向轴承及X向轴承座固设在运动平台底座上端；还包括两个用于固设在运动平台底座上端的X向导轨支架，以及固定设置在X向导轨支架上端的X向导轨，与X向导轨滑动配合设置的X向滑块连接宏运动平台；还包括X向运动连接块，X向运动连接块的一端和X向螺母连接，另一端和宏运动平台固定连接；

所述Y向运动机构包括Y向运动滑台、Y向丝杠及固设在宏运动平台一侧的Y向伺服电机，Y向丝杠的一端与Y向伺服电机的输出端连接，Y向丝杠上通过螺纹连接有Y向螺母，Y向螺母与Y向运动滑台固定连接；Y向丝杠的两端通过Y向轴承及Y向轴承座固设在宏运动平台上；还包括两个Y向导轨副，Y向导轨副包括Y向导轨和Y向滑块，Y向滑块与Y向运动滑台连接，Y向导轨与宏运动平台连接；

所述微运动结构包括固设在Y向运动滑台上端的支座和设置在支座上端的为柔性铰链结构的微定位平台，微定位平台包括与支座固定连接的外平台和能够在外平台内沿X向或Y向作微运动的内平台，微定位平台上还设有X向压电陶瓷和Y向压电陶瓷，X向压电陶瓷在压电陶瓷微位移器驱动电源的驱动下能够带动内平台作X向微运动， Y向压电陶瓷在压电陶瓷微位移器驱动电源的驱动下能够带动内平台作Y向微运动，压电陶瓷微位移器驱动电源由计算机控制系统控制；

所述激光干涉位移计量系统包括测量光路反射镜，测量光路反射镜由X向反射镜和Y向反射镜组成，X向反射镜设置在一个X向放置块上，X向放置块通过一个连接杆与内平台固定连接，Y向反射镜固设在一个Y向放置板上，Y向放置板的另一端与内平台固定连接；激光干涉位移计量系统还包括用于测量宏运动平台位移的X向激光位移测量系统和用于测量Y向运动滑台位移的Y向激光位移测量系统；

X向激光位移测量系统发出的测量光入射到X向反射镜上后返回至X向激光位移测量系统，X向激光位移测量系统内部产生干涉条纹，X向反射镜跟随内平台运动，使X向激光位移测量系统内部产生干涉条纹变化量，激光干涉光电接收器接收干涉条纹变化量并转换成电脉冲信号后传输至滤波放大器，滤波放大器放大电脉冲信号后输送至信号处理板，信号处理板将接收的电脉冲信号转换成数字信号后传输至计算机处理系统，计算机处理系统进行计数、辨向和细分后得到X向位移信号；

Y向激光位移测量系统的结构与X向激光位移测量系统的结构相同，计算机处理系统得到Y向位移信号；

计算机处理系统根据得到的X向位移信号和Y向位移信号，通过控制伺服电机驱动器驱动X向伺服电机转动以控制内平台做X向的宏运动，驱动Y向伺服电机转动以控制内平台做Y向的宏运动；计算机处理系统通过控制压电陶瓷微位移器驱动电源驱动X向压电陶瓷运动以带动内平台作X向的微运动，驱动Y向压电陶瓷运动以带动内平台作Y向的微运动。

作为进一步地改进，所述X向激光位移测量系统和Y向激光位移测量系统分别包括激光器、光学隔离器、分光镜、测量光路反射镜、参考光路反射镜和干涉信号放大镜，光学隔离器包括偏振片和1/4波片，偏振片和1/4波片之间的光轴夹角为45°，激光器发出的激光经分光镜被分为两束，分别经参考光路反射镜和测量光路反射镜反射后沿原路返回，并在分光点处重新相遇，发生干涉，干涉产生的干涉条纹经干涉信号放大镜放大后由激光干涉光电接收器接收，激光干涉光电接收器将接收的干涉条纹变化量转换成电脉冲信号，电脉冲信号传输至滤波放大器，滤波放大器放大电脉冲信号后输送至信号处理板，信号处理板将接收的电脉冲信号转换成数字信号后传输至计算机处理系统，计算机处理系统进行计数、辨向和细分后得到位移信号。

作为进一步地改进，所述压电陶瓷微位移器驱动电源固定设置在微定位平台上。

作为进一步地改进，所述X向激光位移测量系统通过支架固设在运动平台底座上端，Y向激光位移测量系统固设在宏运动平台上端。

作为进一步地改进，所述Y向丝杠的另一端连接有手轮机构；该二维精密运动平台还包括一个Y向竖板，Y向竖板固定在运动平台底座上，手轮机构穿过Y向竖板上开设的孔后与Y向丝杠连接。

作为进一步地改进，所述X向螺母和Y向螺母上分别连接X向万向连轴节和Y向万向连轴节，X向万向连轴节与X向运动连接块的一端连接，Y向万向连轴节与Y向运动滑台固定连接。

作为进一步地改进，所述X向激光位移测量系统固设在所述支架上端，支架包括两个竖板和一个固设在两个竖板上端的横板，两个竖板的下端固设在运动平台底座的上端面上，X向激光位移测量系统放置在横板上端。

作为进一步地改进，所述X向伺服电机固设在一个X向电机固定板上，X向电机固定板的下部固设在运动平台底座的一侧。

作为进一步地改进，所述Y向电机固定板的上端固设在宏运动平台的一侧。

作为进一步地改进，Y向激光位移测量系统通过一个Y向固定板固设在宏运动平台上端。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型通过微驱动对宏驱动的补偿运动实现纳米级高精度定位，具有结构紧凑、定位精度高、磨损小、通用性强等特点，能较好的保障两运动方向基准统一，避免运动平台相互叠加出现的耦合误差。

2、本实用新型在激光器前面加了一个光学隔离器，能够防止测量光路和参考光路返回的激光干扰激光器的输出，减少激光器噪声。

3、本实用新型的螺母机构上连接有万向连轴节，能够减小丝杠运动不稳给运动平台带来的波动误差。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为二维精密运动平台本体的结构示意图。

图3为图2的爆炸示意图。

图4为X向轴测图图2的后视图。

图5为激光干涉位移计量系统的光学原理图。

图中标记：1、Y向伺服电机，2、X向导轨，3、宏运动平台，4、微定位平台，5、Y向压电元件，6、X向压电元件，7、支架，8、X向激光位移测量系统，9、测量光路反射镜，901、X向反射镜，902、Y向反射镜，10、Y向激光位移测量系统，11、Y向固定板，12、手轮机构，13、Y向竖板，14、运动平台底座，15、支座，16、Y向螺母，17、Y向丝杠，18、Y向轴承座，19、X向导轨支架，20、Y向电机固定板，21、Y向运动滑台，22、Y向导轨副，23、X向丝杠，24、X向电机固定板，25 、X向螺母，26、X向轴承，27、X向伺服电机，28、X向轴承座，29、X向运动连接块。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

如图所示，一种二维精密运动平台，包括二维精密运动平台本体、伺服电机驱动器、压电陶瓷微位移器驱动电源、激光干涉光电接收器、滤波放大器、信号处理板及计算机处理系统。

二维精密运动平台本体包括宏运动结构、微运动结构和激光干涉位移计量系统。

宏运动结构包括运动平台底座14、宏运动平台3、X向运动机构和Y向运动机构。

X向运动机构包括X向丝杠23及固设在运动平台底座14上的X向伺服电机27，X向丝杠23的一端与X向伺服电机27的输出端连接，X向丝杠23上通过螺纹连接有X向螺母25，X向丝杠23的两端分别通过X向轴承26及X向轴承座28固设在运动平台底座14上端；还包括两个用于固设在运动平台底座14上端的X向导轨支架19，以及固定设置在X向导轨支架19上端的X向导轨2，与X向导轨2滑动配合设置的X向滑块连接宏运动平台3；还包括X向运动连接块29，X向运动连接块29的一端和X向螺母25连接，另一端和宏运动平台3固定连接；

Y向运动机构包括Y向运动滑台21、Y向丝杠17及固设在宏运动平台3一侧的Y向伺服电机1，Y向丝杠17的一端与Y向伺服电机1的输出端连接，Y向丝杠17上通过螺纹连接有Y向螺母16，Y向螺母16与Y向运动滑台21固定连接；Y向丝杠17的两端通过Y向轴承及Y向轴承座18固设在宏运动平台3上；还包括两个Y向导轨副22，Y向导轨副22包括Y向导轨和Y向滑块，Y向滑块与Y向运动滑台21连接，Y向导轨与宏运动平台3连接；

微运动结构包括固设在Y向运动滑台21上端的支座15和设置在支座15上端的为柔性铰链结构的微定位平台4，微定位平台4包括与支座15固定连接的外平台和能够在外平台内沿X向或Y向做微运动的内平台，微定位平台4上还设有X向压电陶瓷6和Y向压电陶瓷5，X向压电陶瓷6在压电陶瓷微位移器驱动电源的驱动下能够带动内平台作X向微运动，Y向压电陶瓷5在压电陶瓷微位移器驱动电源的驱动下能够带动内平台作Y向微运动，压电陶瓷微位移器驱动电源由计算机控制系统控制；

微定位平台4的结构为现有技术，本文不做详细描述。

激光干涉位移计量系统包括测量光路反射镜9，测量光路反射镜9由X向反射镜901和Y向反射镜902组成，X向反射镜901设置在一个X向放置块上，X向放置块通过一个连接杆与内平台固定连接，Y向反射镜902固设在一个Y向放置板上，Y向放置板的另一端与内平台固定连接；激光干涉位移计量系统还包括用于测量宏运动平台3位移的X向激光位移测量系统8和用于测量Y向运动滑台21位移的Y向激光位移测量系统10；

X向激光位移测量系统8发出的测量光入射到X向反射镜901上后返回至X向激光位移测量系统8，X向激光位移测量系统8内部产生干涉条纹，X向反射镜901跟随内平台运动，使X向激光位移测量系统8内部产生干涉条纹变化量，激光干涉光电接收器接收干涉条纹变化量并转换成电脉冲信号后传输至滤波放大器，滤波放大器放大电脉冲信号后输送至信号处理板，信号处理板将接收的电脉冲信号转换成数字信号后传输至计算机处理系统，计算机处理系统进行计数、辨向和细分后得到位移信号；

Y向激光位移测量系统10发出的测量光入射到Y向反光镜902上后返回至Y向激光位移测量系统10，Y向激光位移测量系统10内部产生干涉条纹，Y向反射镜902跟随内平台运动，使Y向激光位移测量系统10内部产生干涉条纹变化量，激光干涉光电接收器接收干涉条纹变化量并转换成电脉冲信号后传输至滤波放大器，滤波放大器放大电脉冲信号后输送至信号处理板，信号处理板将接收的电脉冲信号转换成数字信号后传输至计算机处理系统，计算机处理系统进行计数、辨向和细分后得到位移信号；

计算机处理系统根据得到的X向位移信号和Y向位移信号，通过控制伺服电机驱动器驱动X向伺服电机27转动以控制内平台做X向的宏运动，驱动Y向伺服电机1转动以控制内平台做Y向的宏运动；计算机处理系统通过控制压电陶瓷微位移器驱动电源驱动X向压电陶瓷6运动以带动内平台作X向的微运动，驱动Y向压电陶瓷5运动以带动内平台作Y向的微运动。

X向激光位移测量系统8和Y向激光位移测量系统10分别包括激光器801、光学隔离器、分光镜804、测量光路反射镜9、参考光路反射镜806和干涉信号放大镜807，光学隔离器包括偏振片802和1/4波片803，偏振片802和1/4波片803之间的光轴夹角为45°，激光器801发出的激光经分光镜804被分为两束，分别经参考光路反射镜806和测量光路反射镜9反射后沿原路返回，并在分光点处重新相遇，发生干涉，干涉产生的干涉条纹经干涉信号放大镜807放大后由激光干涉光电接收器接收，激光干涉光电接收器将接收的干涉条纹变化量转换成电脉冲信号，电脉冲信号传输至滤波放大器，滤波放大器放大电脉冲信号后输送至信号处理板，信号处理板将接收的电脉冲信号转换成数字信号后传输至计算机处理系统，计算机处理系统进行计数、辨向和细分后得到位移信号。

压电陶瓷微位移器驱动电源固定设置在微定位平台4上。

X向激光位移测量系统8通过支架7固设在运动平台底座14上端，Y向激光位移测量系统10固设在宏运动平台3上端。

Y向丝杠17的另一端连接有手轮机构12；该二维精密运动平台还包括一个Y向竖板13，Y向竖板13固定在运动平台底座14上，手轮机构12穿过Y向竖板13上开设的孔后与Y向丝杠17连接。

X向螺母25和Y向螺母16上分别连接X向万向连轴节和Y向万向连轴节，X向万向连轴节与X向运动连接块29的一端连接，Y向万向连轴节与Y向运动滑台21固定连接。

X向激光位移测量系统8固设在所述支架7上端，支架7包括两个竖板和一个固设在两个竖板上端的横板，两个竖板的下端固设在运动平台底座14的上端面上，X向激光位移测量系统8放置在横板上端。

X向伺服电机27固设在一个X向电机固定板24上，X向电机固定板24的下部固设在运动平台底座14的一侧。

Y向电机固定板20的上端固设在宏运动平台3的一侧。

Y向激光位移测量系统10通过一个Y向固定板11固设在宏运动平台3上端。

计算机处理系统通过信号处理板向伺服电机驱动器发送电机转动的脉冲个数和运动方向，伺服电机驱动器控制电机运动，激光干涉位移计量系统实时记录所述被测位移，当达到宏驱动定位精度范围内时，宏定位结束；对于微运动，计算机处理系统通过信号处理板和压电陶瓷微位移器驱动电源驱动压电陶瓷板以逐步逼近目标的方式对宏驱动定位误差做补偿定位。工作台移动范围为50mm×50mm。

X向螺母25和Y向螺母16上分别连接X向万向连轴节和Y向万向连轴节，X向万向连轴节与X向运动连接块29的一端连接，Y向万向连轴节与Y向运动滑台21固定连接。

微驱动通过在一块弹簧钢上切割加工出X、Y两个方向运动的柔性铰链机构实现X、Y方向的微定位共平面运动。

小工件可以直接放置在微定位平台上，对于较大的工件可以在微定位平台15上固定载物台，将被测工件放置在载物台上。微定位平台上可拆卸安装有用于放置较大工件的载物台。

X向轴承和X向轴承座，以及Y向轴承和Y向轴承座之间均通过过盈配合连接。

压电陶瓷微位移器驱动电源控制X向压电元件和Y向压电陶元件在X向或Y向产生微纳米级位移变化，从而带动微运动板做X向或Y向的误差补偿；驱动电源的输出电压控制微位移器的位移变化，实现对宏驱动定位误差做补偿定位的补偿。

利用压电元件作为驱动装置，柔性铰链机构作为传动装置构成超精密定位系统是经常采纳的超精密定位方案。

X向压电元件和Y向压电元件由压电陶瓷材料制成，通常选用压电常数较大的层叠式压电元件获取微整形，它的线性比较优良，且具有体积小、刚度大、形变相对较大、位移分辨率高和响应迅速的特点。

微驱动通过在一块弹簧钢上切割加工出X、Y两个方向运动的柔性铰链机构，实现X、Y方向的微定位共平面运动。微定位平台上是通过线切割将其切割成内外两部分，内外两部分之间有一定间隙。

与刚性机构不同，柔性机构是一类利用材料的弹性变形传递或转换运动、力或能量的新型机构。实施运动时如果通过某种特殊的柔性单元-柔性铰链来实现，则通常称为柔性铰链机构，这类机构通常应用在精密工程场合，因此又称为柔性精微机构。在精微领域，柔性机构可以设计作为传动装置、执行器和传感器等。

X、Y方向宏/微运动均采用一套激光干涉位移计量系统进行运动位移的实时计量。压电陶瓷驱动和激光干涉位移计量信号处理由专为本系统设计的信号采集及处理控制系统完成。其定位精度取决于压电陶瓷微位移驱动器的分辨率和激光干涉位移检测装置的分辨率，可以实现纳米级定位精度。该二维精密运动平台通过微驱动对宏驱动的补偿运动实现纳米级高精度定位的，具有结构紧凑、定位精度高、磨损小、通用性强等特点。

Claims (10)

1.一种二维精密运动平台，其特征在于：包括二维精密运动平台本体、伺服电机驱动器、压电陶瓷微位移器驱动电源、激光干涉光电接收器、滤波放大器、信号处理板及计算机处理系统；

所述二维精密运动平台本体包括宏运动结构、微运动结构和激光干涉位移计量系统；

所述宏运动结构包括运动平台底座（14）、宏运动平台（3）、X向运动机构和Y向运动机构；

所述X向运动机构包括X向丝杠（23）及固设在运动平台底座（14）上的X向伺服电机（27），X向丝杠（23）的一端与X向伺服电机（27）的输出端连接，X向丝杠（23）上通过螺纹连接有X向螺母（25），X向丝杠（23）的两端分别通过X向轴承（26）及X向轴承座（28）固设在运动平台底座（14）上端；还包括两个用于固设在运动平台底座（14）上端的X向导轨支架（19），以及固定设置在X向导轨支架（19）上端的X向导轨（2），与X向导轨（2）滑动配合设置的X向滑块连接宏运动平台（3）；还包括X向运动连接块（29），X向运动连接块（29）的一端和X向螺母（25）连接，另一端和宏运动平台（3）固定连接；

所述Y向运动机构包括Y向运动滑台（21）、Y向丝杠（17）及固设在宏运动平台（3）一侧的Y向伺服电机（1），Y向丝杠（17）的一端与Y向伺服电机（1）的输出端连接，Y向丝杠（17）上通过螺纹连接有Y向螺母（16），Y向螺母（16）与Y向运动滑台（21）固定连接；Y向丝杠（17）的两端通过Y向轴承及Y向轴承座（18）固设在宏运动平台（3）上；还包括两个Y向导轨副（22），Y向导轨副（22）包括Y向导轨和Y向滑块，Y向滑块与Y向运动滑台（21）连接，Y向导轨与宏运动平台（3）连接；

所述微运动结构包括固设在Y向运动滑台（21）上端的支座（15）和设置在支座（15）上端的为柔性铰链结构的微定位平台（4），微定位平台（4）包括与支座（15）固定连接的外平台和能够在外平台内沿X向或Y向作微运动的内平台，微定位平台（4）上还设有X向压电陶瓷（6）和Y向压电陶瓷（5），X向压电陶瓷（6）在压电陶瓷微位移器驱动电源的驱动下能够带动内平台作X向微运动， Y向压电陶瓷（5）在压电陶瓷微位移器驱动电源的驱动下能够带动内平台作Y向微运动，压电陶瓷微位移器驱动电源由计算机控制系统控制；

所述激光干涉位移计量系统包括测量光路反射镜（9），测量光路反射镜（9）由X向反射镜（901）和Y向反射镜（902）组成，X向反射镜（901）设置在一个X向放置块上，X向放置块通过一个连接杆与内平台固定连接，Y向反射镜（902）固设在一个Y向放置板上，Y向放置板的另一端与内平台固定连接；激光干涉位移计量系统还包括用于测量宏运动平台（3）位移的X向激光位移测量系统（8）和用于测量Y向运动滑台（21）位移的Y向激光位移测量系统（10）；

X向激光位移测量系统（8）发出的测量光入射到X向反射镜（901）上后返回至X向激光位移测量系统（8），X向激光位移测量系统（8）内部产生干涉条纹，X向反射镜（901）跟随内平台运动，使X向激光位移测量系统（8）内部产生干涉条纹变化量，激光干涉光电接收器接收干涉条纹变化量并转换成电脉冲信号后传输至滤波放大器，滤波放大器放大电脉冲信号后输送至信号处理板，信号处理板将接收的电脉冲信号转换成数字信号后传输至计算机处理系统，计算机处理系统进行计数、辨向和细分后得到X向位移信号；

Y向激光位移测量系统（10）的结构与X向激光位移测量系统（8）的结构相同，计算机处理系统得到Y向位移信号；

计算机处理系统根据得到的X向位移信号和Y向位移信号，通过控制伺服电机驱动器驱动X向伺服电机（27）转动以控制内平台做X向的宏运动，驱动Y向伺服电机（1）转动以控制内平台做Y向的宏运动；计算机处理系统通过控制压电陶瓷微位移器驱动电源驱动X向压电陶瓷（6）运动以带动内平台作X向的微运动，驱动Y向压电陶瓷（5）运动以带动内平台作Y向的微运动。

2.根据权利要求1所述的一种二维精密运动平台，其特征在于：所述X向激光位移测量系统（8）和Y向激光位移测量系统（10）分别包括激光器（801）、光学隔离器、分光镜（804）、测量光路反射镜（9）、参考光路反射镜（806）和干涉信号放大镜（807），光学隔离器包括偏振片（802）和1/4波片（803），偏振片（802）和1/4波片（803）之间的光轴夹角为45°，激光器（801）发出的激光经分光镜（804）被分为两束，分别经参考光路反射镜（806）和测量光路反射镜（9）反射后沿原路返回，并在分光点处重新相遇，发生干涉，干涉产生的干涉条纹经干涉信号放大镜（807）放大后由激光干涉光电接收器接收，激光干涉光电接收器将接收的干涉条纹变化量转换成电脉冲信号，电脉冲信号传输至滤波放大器，滤波放大器放大电脉冲信号后输送至信号处理板，信号处理板将接收的电脉冲信号转换成数字信号后传输至计算机处理系统，计算机处理系统进行计数、辨向和细分后得到位移信号。

3.根据权利要求1所述的一种二维精密运动平台，其特征在于：所述压电陶瓷微位移器驱动电源固定设置在微定位平台（4）上。

4.根据权利要求1所述的一种二维精密运动平台，其特征在于：所述X向激光位移测量系统（8）通过支架（7）固设在运动平台底座（14）上端，Y向激光位移测量系统（10）固设在宏运动平台（3）上端。

5.根据权利要求1所述的一种二维精密运动平台，其特征在于：所述Y向丝杠（17）的另一端连接有手轮机构（12）；该二维精密运动平台还包括一个Y向竖板（13），Y向竖板（13）固定在运动平台底座（14）上，手轮机构（12）穿过Y向竖板（13）上开设的孔后与Y向丝杠（17）连接。

6.根据权利要求1所述的一种二维精密运动平台，其特征在于：所述X向螺母（25）和Y向螺母（16）上分别连接X向万向连轴节和Y向万向连轴节，X向万向连轴节与X向运动连接块（29）的一端连接，Y向万向连轴节与Y向运动滑台（21）固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种二维精密运动平台，其特征在于：所述X向激光位移测量系统（8）固设在所述支架（7）上端，支架（7）包括两个竖板和一个固设在两个竖板上端的横板，两个竖板的下端固设在运动平台底座（14）的上端面上，X向激光位移测量系统（8）放置在横板上端。

8.根据权利要求1所述的一种二维精密运动平台，其特征在于：所述X向伺服电机（27）固设在一个X向电机固定板（24）上，X向电机固定板（24）的下部固设在运动平台底座（14）的一侧。

9.根据权利要求1所述的一种二维精密运动平台，其特征在于：所述Y向电机固定板（20）的上端固设在宏运动平台（3）的一侧。

10.根据权利要求1所述的一种二维精密运动平台，其特征在于：Y向激光位移测量系统（10）通过一个Y向固定板（11）固设在宏运动平台（3）上端。