CN107367219A - 洛伦兹力电机直驱式电感传感器校准方法与装置 - Google Patents

洛伦兹力电机直驱式电感传感器校准方法与装置 Download PDF

Info

Publication number
CN107367219A
CN107367219A CN201610311971.7A CN201610311971A CN107367219A CN 107367219 A CN107367219 A CN 107367219A CN 201610311971 A CN201610311971 A CN 201610311971A CN 107367219 A CN107367219 A CN 107367219A
Authority
CN
China
Prior art keywords
displacement
sensor
capacitance sensor
deflection
frequency laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201610311971.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107367219B (zh
Inventor
孙传智
谭久彬
王雷
赵勃
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harbin Institute of Technology
Original Assignee
Harbin Institute of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harbin Institute of Technology filed Critical Harbin Institute of Technology
Priority to CN201610311971.7A priority Critical patent/CN107367219B/zh
Publication of CN107367219A publication Critical patent/CN107367219A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107367219B publication Critical patent/CN107367219B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

洛伦兹力电机直驱式电感传感器校准方法与装置属于精密测量技术领域。其校准方法与装置以双频激光干涉仪作为运动基准，音圈电机作为宏动驱动元件，气浮导轨作为宏动导向元件，电容传感器与双频激光干涉仪作为宏动反馈元件进行宏动粗定位；采用压电陶瓷位移台进行微动定位，补偿宏动定位误差。利用四个电容传感器补偿宏微定位平台运动的俯仰与偏航误差；本发明可以有效解决位移传感器校准装置行程与精度之间的矛盾，实现大行程、高精度电感位移传感器的动静态校准。

Description

洛伦兹力电机直驱式电感传感器校准方法与装置
技术领域
本发明属于精密测量技术领域，主要涉及一种洛伦兹力电机直驱式电感传感器校准方法与装置。
背景技术
目前，我国大型高速回转装备没有超精密测量手段，装配精度无法保证，装配效率低下，发动机振动噪声等，这些都是制约我国军事工业和国民经济发展的重大难题。大型高速回转装备主要指各类大型高端燃气涡轮发动机，主要包括航空发动机、舰船用燃气轮机和高性能电站燃机。目前，航空发动机行业已成为世界航空强国的军事工业和国民经济的支柱产业。航空发动机在追求高性能的前提下，还要追求产品的高质量、高可靠性和长工作寿命，将两个都十分困难而又相互矛盾的目标兼顾起来，且同时得到提高，是十分困难的；此外航空发动机工作于极端环境，关键零部件都是在高温、高压、高负载力下工作，因此航空发动机的设计和制造的难度进一步加大。
发动机振动是影响飞机安全的一个重要因素，也是反应发动机性能的一项重要指标。发动机涡轮部件转速高、质量大，是发动机的一个主要振源。为了降低此影响，除了在发动机动平衡测试过程中加以消除，还必须严格控制其装配过程，因为发动机装配是动平衡的前一步骤，由装配体形位误差精度低导致振动在高速运转时会放大100至1000倍，装配时消除同心度/同轴度造成的偏摆可以很大程度上减小动平衡的压力。所以，作为提升航空发动机性能的关键技术，航空发动机装配过程中同心度/同轴度乃至圆柱度的精密测量越来越受到重视。
传感器作为航空发动机动静子表面轮廓信息的提取装置在同心度/同轴度乃至圆柱度的精密测量就显得尤为重要，位移传感器的机械系统和电路系统所带来的误差是限制传感器精度的重要因素，为了抑制或补偿这些误差，需要对位移传感器进行校准处理，使其能够溯源到更高精度的基准上。要实现对高精度位移传感器的校准，需要设计出一台具有更高精度的位移传感器校准系统。各种位移传感器之间的行程也有较大差异，有的位移传感器行程可以达到几十毫米甚至几米，有的则只能达到几微米的行程。因此，需使校准系统具有大行程、高精度的特点才能满足纳米传感器的校准需求。然而行程和精度本身就是矛盾的，这也增加校准系统的设计难度，也是目前迫切需要大行程、高精度位移传感器校准系统的原因。
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所提出一种标定平板电容位移传感器的装置(平板电容位移传感器标定装置。公开号：CN104048588A)。该装置采用单轴激光干涉仪作为位移基准，传感器被测面安装在导向机构前端，导向机构采用过约束的对称平行四边形机构，平板电容位移传感器安装在传感器支撑座中间，支撑座安装在微位移调整机构两侧，在驱动器的左端安装有驱动器推杆，该驱动器推杆顶推微位移调整机构的导向机构做单自由度直线运动，进而实现对平板电容位移传感器的标定。该装置存在的问题在于：只限于对平板电容位移传感器进行标定，且标定行程较小。
常州市计量测试技术研究所提出了一种用于直线位移传感器校准的装置(直线位移传感器自动化校准装置。公开号：CN103630099A)。该装置主要包括一基座，双直线导轨、光栅尺、伺服电机、垂直升降装置固定在基座上；滚轴丝杆通过联轴器与伺服电机连接；水平调整装置、通用夹具、锁紧螺母彼此卡扣并与垂直升降装置连接；滑动式激光反射镜支撑架、滑动式激光干涉镜支撑架、滑动式双频激光干涉仪支撑架固定在直线导轨上，其中固定拉杆、激光反射镜、光栅尺读数传感器固定在滑动式反射镜支撑架上，激光干涉镜固定在滑动式干涉镜支撑架，双频激光干涉仪固定在滑动式双频激光干涉仪支撑架上，可以实现对拉杆式、拉绳式等多种类型直线位移传感器的自动化检定与校准。该装置存在的问题在于：没有兼顾行程和精度指标，精度较低，无法实现高精度位移传感器校准。
德国联邦物理技术院(PTB)与Physik-Instrumente公司合作，研制出一种用于接触式探针位移传感器动态性能校准的新型运动装置，该探针位移传感器可以用到形貌测量、表面轮廓测量及坐标测量中。该装置具有尺寸小，集成度高的特点，系统采用压电陶瓷管来产生运动，并由一个微型光纤干涉仪实时测量，将测量结果反馈到DSP处理器实现闭环控制，因此，该校准平台可以溯源到国家长度标准(Rong Liang,Otto Jusko,Frank Ludicke,Michael Neugebauer.A novelpiezo vibration platform for probe dynamic performance calibration[J].MeasurementScience And Technology,Meas.Sci.Technol.12(2001)1509–1514)。该装置校准行程小，无法实现对大行程、高精度的位移传感器进行校准。
发明内容
针对上述现有技术存在的不足，提出一种洛伦兹力电机直驱式电感传感器校准方法与装置，以解决现有位移传感器校准装置行程与精度之间的矛盾，实现大行程、高精度电感位移传感器的动静态校准。
本发明的目的是这样实现的：
一种洛伦兹力电机直驱式电感传感器校准方法与装置，该方法与装置可以校准电感位移传感器的线性度；其特征主要包括被校准位移传感器、位移传递机构和位移基准仪器三部分，所述被校准位移传感器为电感位移传感器，电感位移传感器采用传感器夹持臂进行夹持固定，调整电感位移传感器的位置，保证电感位移传感器的测针运动轴线与双频激光干涉仪的测量光束所在光轴共线，传感器支座安装在基台上，传感器夹持臂固定在传感器支座的侧面；所述位移传递机构由宏动定位平台与微动定位平台组成，宏动定位平台由音圈电机、气浮导轨、电容传感器组成，宏动定位平台安装在基台上，保证宏动定位平台运动轴线与双频激光干涉仪的测量光束平行，音圈电机安装板安装在基台上，所述音圈电机定子安装在音圈电机安装板上，音圈电机连接板与气浮导轨的滑块固连，音圈电机动子安装在音圈电机连接板上，气浮导轨的导轨座安装在基台上，所述电容传感器安装在气浮导轨的滑块上，电容传感器测量微动定位平台被测面，微动定位平台由压电陶瓷位移台、传感器校准板和测量反射镜组成，微动定位平台安装在宏动定位平台上，保证微动定位平台的运动轴线与双频激光干涉仪的测量光束平行，微动台转接板与压电陶瓷位移台固连，测量反射镜位于双频激光干涉仪的测量光路上，且安装在微动台转接板上，传感器校准板安装在微动台转接板上的另一端，保证传感器校准板上的对准刻线在双频激光干涉仪的测量光束所在的光轴上；控制位移传递机构进行回零运动，使其回到校准装置的初始零点；控制位移传递机构进行压表运动，使其运动到电感位移传感器校准起始点；所述位移基准仪器采用双频激光干涉仪，双频激光干涉仪的测量光束可以提供整个装置的位移基准，干涉仪支座固装在基台上，双频激光干涉仪固装在干涉仪支座上；偏转电容传感器用来测量位移传递机构运动过程中所产生的偏转角和俯仰角，所述偏转电容传感器两两分布布置在气浮导轨的上侧和右侧，偏转电容传感器安装板一安装在基台上，偏转电容传感器一安装在偏转电容传感器安装板一上，并位于气浮导轨的上侧，偏转电容传感器二安装在偏转电容传感器安装板一上，并位于气浮导轨的右侧，保证两偏转电容传感器与被测面平行，偏转电容传感器安装板二安装在基台上，偏转电容传感器三安装在偏转电容传感器安装板二上，并位于气浮导轨的上侧，偏转电容传感器四安装在偏转电容传感器安装板二上，并位于气浮导轨的右侧，保证两偏转电容传感器与被测面平行，同时保证偏转电容传感器一与偏转电容传感器三等高，保证偏转电容传感器二与偏转电容传感器四右对齐。控制位移传递机构进行校准运动，在电感位移传感器校准行程内，等间隔选取10个点，当位移传递机构运动到选取测量点时，同步采集双频激光干涉仪位移测量值s1'、偏转电容传感器一测得位移值s2'、偏转电容传感器二测得位移值s3'、偏转电容传感器三测得位移值s4'、偏转电容传感器四测得位移值s5'与电感位移传感器位移值s；利用偏转电容传感器一测得位移值s2'、偏转电容传感器二测得位移值s3'、偏转电容传感器三测得位移值s4'、偏转电容传感器四测得位移值s5'对双频激光干涉仪位移测量值s1'进行补偿，得到双频激光干涉仪补偿后位移测量值s'；将采集到的数据进行线性拟合得到函数yi＝k×si+b，其中，i＝1，2，…，10，yi为拟合后电感位移传感器位移测量值，k为拟合系数，b为拟合截距，si为拟合前电感位移传感器位移测量值，则校准行程内最大非线性误差max|yi-si'|与全量程的比值为线性度，其中，i＝1，2，…，10，si'为校准行程内选取测量点处双频激光干涉仪补偿后位移测量值。
与现有技术相比，本发明的特点是：
本发明采用宏微双重驱动的结构，并用双频激光干涉仪提供位移基准，在提高校准装置校准行程的同时，还能保证校准装置具有较高的精度。利用偏转电容传感器测量位移传递机构在运动过程中的偏转和俯仰角，实时监测校准装置在运动过程中的姿态，并进行位移补偿处理，从而消除了校准装置在运动过程中偏转和俯仰带来的误差，保证了校准装置校准精度。
附图说明：
图1是电感位移传感器校准装置结构示意图
图2是电感位移传感器结构示意图
图3是传感器校准板结构示意图
图4是双频激光干涉仪结构示意图
图5是电容传感器及宏动定位平台结构示意图
图6是电容传感器位移补偿原理示意图
图中件号：1—传感器支座，2—传感器夹持臂，3—电感位移传感器，3a—测针，4—传感器校准板，4a—对准刻线，5—微动台转接板，6—测量反射镜，7—双频激光干涉仪，7a—测量光束，8—干涉仪支座，9—基台，10—气浮导轨，10a—导轨座，10b—滑块，11—偏转电容传感器，11a—偏转电容传感器一，11b—偏转电容传感器二，11c—偏转电容传感器安装板一，11d—偏转电容传感器三，11e—偏转电容传感器四，11f—偏转电容传感器安装板二，12—压电陶瓷位移台，13—电容传感器，14—音圈电机，14a—音圈电机安装板，14b—音圈电机定子，14c—音圈电机动子，14d—音圈电机连接板。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详细描述：
一种洛伦兹力电机直驱式电感传感器校准方法与装置，所述方法与装置是：整个装置主要分为位移基准仪器、位移传递机构和被校准位移传感器三部分。整个装置放置在隔振平台上，并置于恒温环境下。所述被校准位移传感器采用电感位移传感器3，电感位移传感器3采用传感器夹持臂2进行夹持固定，调整电感位移传感器3的位置，保证电感位移传感器3的测针3a运动轴线与双频激光干涉仪7的测量光束7a所在光轴共线，传感器支座1安装在基台9上，传感器夹持臂2固定在传感器支座1的侧面。所述位移传递机构采用宏微两级驱动方式，由宏动定位平台与微动定位平台组成，宏动定位平台提供大行程粗定位，由音圈电机14、气浮导轨10、电容传感器13组成，宏动定位平台安装在基台9上，保证宏动定位平台运动轴线与双频激光干涉仪7的测量光束7a平行，音圈电机安装板14a安装在基台9上，所述音圈电机定子14b安装在音圈电机安装板14a上，音圈电机连接板14d与气浮导轨10的滑块10b固连，音圈电机动子14c安装在音圈电机连接板14d上，气浮导轨10的导轨座10a安装在基台9上，所述电容传感器13用来测量微动定位平台与宏动定位平台之间的相对位移，电容传感器13安装在气浮导轨10的滑块10b上，保证电容传感器13的探头与微动定位平台被侧面等高且平行。微动定位平台提供小行程精定位，由压电陶瓷位移台12、传感器校准板4和测量反射镜6组成，微动定位平台安装在宏动定位平台上，保证微动定位平台的运动轴线与双频激光干涉仪7的测量光束7a平行，微动台转接板5与压电陶瓷位移台12固连，测量反射镜6位于双频激光干涉仪7的测量光路上，且安装在微动台转接板5上，传感器校准板4安装在微动台转接板5上的另一端，保证传感器校准板4上的对准刻线4a在双频激光干涉仪7的测量光束7a所在的光轴上。控制位移传递机构进行回零运动，位移传递机构寻找宏动定位平台的零位，作为初始零点，微动定位平台运动到其半量程处，作为初始零点。控制位移传递机构进行压表运动，宏动定位平台从初始零点出发，在压表之前高速且匀速运动，当压表成功后，宏动定位平台低速匀速运动，运动到电感位移传感器3校准行程起始点。所述位移基准仪器采用双频激光干涉仪7，双频激光干涉仪7的测量光束7a可以提供整个装置的位移基准，干涉仪支座8固装在基台9上，双频激光干涉仪7固装在干涉仪支座8上，保证双频激光干涉仪7的测量光束7a与位移传递机构运动轴线平行。偏转电容传感器11用来测量位移传递机构运动过程中所产生的偏转角和俯仰角，所述偏转电容传感器11两两分布布置在气浮导轨10的滑块10b上侧和右侧，偏转电容传感器安装板一11c安装在基台9上，偏转电容传感器一11a安装在偏转电容传感器安装板一11c上，并位于气浮导轨10的上侧，偏转电容传感器二11b安装在偏转电容传感器安装板一11c上，并位于气浮导轨10的右侧，保证两偏转电容传感器与被测面平行，，偏转电容传感器安装板二11f安装在基台9上，偏转电容传感器三11d安装在偏转电容传感器安装板二11f上，并位于气浮导轨10的上侧，偏转电容传感器四11e安装在偏转电容传感器安装板二11f上，并位于气浮导轨10的右侧，保证偏转两电容传感器与被测面平行，同时保证偏转电容传感器一11a与偏转电容传感器三11d等高，保证偏转电容传感器二11b与偏转电容传感器四11e右对齐。控制位移传递机构进行校准运动，在电感位移传感器3校准行程内，等间隔选取十个点，当位移传递机构运动到选取测量点时，同步采集双频激光干涉仪7的位移测量值s1'、偏转电容传感器一11a的位移测量值s2'、偏转电容传感器二11b的位移测量值s3'、偏转电容传感器三11d的位移测量值s4'，偏转电容传感器四11e的位移测量值s5'与电感位移传感器3的位移值s。根据偏转电容传感器二11b的位移测量值s3'与偏转电容传感器四11e的位移测量值s5'可知，若位移传递机构在运动过程中绕中心点O发生偏转，由已知偏转电容传感器二11b与偏转电容传感器四11e之间的距离D，我们可以算出其偏转角进而可以算出偏转所引起的测量光束7a上的位移偏差e，进行补偿得到s'。将所采集到的数据进行线性拟合可得到函数yi＝k×si+b，其中，i＝1，2，…，10，yi为拟合后电感位移传感器3位移测量值，k为拟合系数，b为拟合截距，si为拟合前电感位移传感器3位移测量值，则校准行程内的最大非线性误差max|yi-si'|与全量程的比值为线性度，其中，i＝1，2，…，10，si'为校准行程内选取测量点处双频激光干涉仪7补偿后位移测量值。

Claims (1)

1.一种洛伦兹力电机直驱式电感传感器校准方法与装置，其特征在于：该校准装置主要包括被校准位移传感器、位移传递机构和位移基准仪器三部分，所述被校准位移传感器为电感位移传感器(3)，电感位移传感器(3)采用传感器夹持臂(2)进行夹持固定，调整电感位移传感器(3)的位置，保证电感位移传感器(3)的测针(3a)运动轴线与双频激光干涉仪(7)的测量光束(7a)所在光轴共线，传感器支座(1)安装在基台(9)上，传感器夹持臂(2)固定在传感器支座(1)的侧面；所述位移传递机构由宏动定位平台与微动定位平台组成，宏动定位平台由音圈电机(14)、气浮导轨(10)、电容传感器(13)组成，宏动定位平台安装在基台(9)上，保证宏动定位平台运动方向与双频激光干涉仪(7)的测量光束(7a)平行，音圈电机安装板(14a)安装在基台(9)上，所述音圈电机定子(14b)安装在音圈电机安装板(14a)上，音圈电机连接板(14d)与气浮导轨(10)的滑块(10b)固连，音圈电机动子(14c)安装在音圈电机连接板(14d)上，气浮导轨(10)的导轨座(10a)安装在基台(9)上，所述电容传感器(13)安装在气浮导轨(10)的滑块(10b)上，电容传感器(13)测量微动定位平台被测面，微动定位平台由压电陶瓷位移台(12)、传感器校准板(4)和测量反射镜(6)组成，微动定位平台安装在宏动定位平台上，保证微动定位平台的运动方向与双频激光干涉仪(7)的测量光束(7a)平行，微动台转接板(5)与压电陶瓷位移台(12)固连，测量反射镜(6)位于双频激光干涉仪(7)的测量光路上，且安装在微动台转接板(5)上，传感器校准板(4)安装在微动台转接板(5)上的另一端，保证传感器校准板(4)上的对准刻线(4a)在双频激光干涉仪(7)的测量光束(7a)所在的光轴上；控制位移传递机构进行回零运动，使其回到校准装置的初始零点；控制位移传递机构进行压表运动，使其运动到电感位移传感器(3)校准起始点；所述位移基准仪器采用双频激光干涉仪(7)，双频激光干涉仪(7)的测量光束(7a)可以提供整个装置的位移基准，干涉仪支座(8)固装在基台(9)上，双频激光干涉仪(7)固装在干涉仪支座(8)上；偏转电容传感器(11)用来测量位移传递机构运动过程中所产生的偏转角和俯仰角，所述偏转电容传感器(11)两两分布布置在气浮导轨(10)的上侧和右侧，偏转电容传感器安装板一(11c)安装在基台(9)上，偏转电容传感器一(11a)安装在偏转电容传感器安装板一(11c)上，并位于气浮导轨(10)的上侧，偏转电容传感器二(11b)安装在偏转电容传感器安装板一(11c)上，并位于气浮导轨(10)的右侧，保证两偏转电容传感器与被测面平行，偏转电容传感器安装板二(11f)安装在基台(9)上，偏转电容传感器三(11d)安装在偏转电容传感器安装板二(11f)上，并位于气浮导轨(10)的上侧，偏转电容传感器四(11e)安装在偏转电容传感器安装板二(11f)上，并位于气浮导轨(10)的右侧，保证两偏转电容传感器与被测面平行，同时保证偏转电容传感器一(11a)与偏转电容传感器三(11d)等高，保证偏转电容传感器二(11b)与偏转电容传感器四(11e)右对齐。控制位移传递机构进行校准运动，在电感位移传感器(3)校准行程内，等间隔选取10个点，当位移传递机构运动到选取测量点时，同步采集双频激光干涉仪(7)位移测量值s1'、偏转电容传感器一(11a)测得位移值s2'、偏转电容传感器二(11b)测得位移值s3'、偏转电容传感器三(11d)测得位移值s4'、偏转电容传感器四(11e)测得位移值s5'与电感位移传感器(3)位移值s；利用偏转电容传感器一(11a)测得位移值s2'、偏转电容传感器二(11b)测得位移值s3'、偏转电容传感器三(11d)测得位移值s4'、偏转电容传感器四(11e)测得位移值s5'对双频激光干涉仪(7)位移测量值s1'进行补偿，得到双频激光干涉仪(7)补偿后位移测量值s'；将采集到的数据进行线性拟合得到函数yi＝k×si+b，其中，i＝1，2，…，10，yi为拟合后电感位移传感器(3)位移测量值，k为拟合系数，b为拟合截距，si为拟合前电感位移传感器(3)位移测量值，则校准行程内最大非线性误差max|yi-si'|与全量程的比值为线性度，其中，i＝1，2，…，10，si'为校准行程内选取测量点处双频激光干涉仪(7)补偿后位移测量值。
CN201610311971.7A 2016-05-12 2016-05-12 洛伦兹力电机直驱式电感传感器校准装置 Expired - Fee Related CN107367219B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610311971.7A CN107367219B (zh) 2016-05-12 2016-05-12 洛伦兹力电机直驱式电感传感器校准装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610311971.7A CN107367219B (zh) 2016-05-12 2016-05-12 洛伦兹力电机直驱式电感传感器校准装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107367219A true CN107367219A (zh) 2017-11-21
CN107367219B CN107367219B (zh) 2019-01-11

Family

ID=60303421

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610311971.7A Expired - Fee Related CN107367219B (zh) 2016-05-12 2016-05-12 洛伦兹力电机直驱式电感传感器校准装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107367219B (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109014993A (zh) * 2018-08-17 2018-12-18 中原工学院 一种内嵌式快刀伺服装置
CN110440682A (zh) * 2019-07-12 2019-11-12 淮阴工学院 带压力传感器的自动精密测量装置
CN110502111A (zh) * 2019-08-09 2019-11-26 瑞声科技(新加坡)有限公司 马达信号补偿方法、电子设备及存储介质
CN116222464A (zh) * 2023-05-08 2023-06-06 江苏省计量科学研究院(江苏省能源计量数据中心) 一种高精度线性位移检测系统
CN116930554A (zh) * 2023-07-11 2023-10-24 哈尔滨工业大学 一种用于精密仪器隔振器的速度传感器标定系统及标定方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02179409A (ja) * 1988-12-29 1990-07-12 Mitsutoyo Corp 直線変位検出器
JP2009069083A (ja) * 2007-09-14 2009-04-02 Canon Inc 絶対位置の計測装置
KR20090052075A (ko) * 2007-11-20 2009-05-25 한국항공우주연구원 변위센서 교정장치 및 그 시스템
EP2431826A1 (en) * 2004-05-27 2012-03-21 K.U.Leuven Research & Development A measurement configuration based on linear scales able to measure to a target also moving perpendicular to the measurement axis
CN103528499A (zh) * 2013-10-11 2014-01-22 哈尔滨工业大学 形貌补偿式双光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置
CN103630099A (zh) * 2013-12-02 2014-03-12 常州市计量测试技术研究所 直线位移传感器自动化校准装置
CN104048588A (zh) * 2014-06-25 2014-09-17 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 平板电容位移传感器标定装置
CN104075652A (zh) * 2014-07-02 2014-10-01 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 电容位移传感器标定装置
CN104296649A (zh) * 2014-09-26 2015-01-21 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种电容式位移传感器的线性度标定方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02179409A (ja) * 1988-12-29 1990-07-12 Mitsutoyo Corp 直線変位検出器
EP2431826A1 (en) * 2004-05-27 2012-03-21 K.U.Leuven Research & Development A measurement configuration based on linear scales able to measure to a target also moving perpendicular to the measurement axis
JP2009069083A (ja) * 2007-09-14 2009-04-02 Canon Inc 絶対位置の計測装置
KR20090052075A (ko) * 2007-11-20 2009-05-25 한국항공우주연구원 변위센서 교정장치 및 그 시스템
CN103528499A (zh) * 2013-10-11 2014-01-22 哈尔滨工业大学 形貌补偿式双光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置
CN103630099A (zh) * 2013-12-02 2014-03-12 常州市计量测试技术研究所 直线位移传感器自动化校准装置
CN104048588A (zh) * 2014-06-25 2014-09-17 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 平板电容位移传感器标定装置
CN104075652A (zh) * 2014-07-02 2014-10-01 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 电容位移传感器标定装置
CN104296649A (zh) * 2014-09-26 2015-01-21 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种电容式位移传感器的线性度标定方法

Non-Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
RONG LIANG.ET AL: "A novel piezo vibration platform for probe dynamic performance calibration", 《MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY》 *
于正林等: "激光位移传感器的标定", 《长春理工大学学报（自然科学版）》 *
张山等: "基于腹底式被动阻尼器抑制精密气浮工作台的定位噪声", 《光学精密工程》 *
张德福等: "高精度位移传感器线性度标定方法研究", 《仪器仪表学报》 *
葛川等: "电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定", 《光学精密工程》 *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109014993A (zh) * 2018-08-17 2018-12-18 中原工学院 一种内嵌式快刀伺服装置
CN110440682A (zh) * 2019-07-12 2019-11-12 淮阴工学院 带压力传感器的自动精密测量装置
CN110502111A (zh) * 2019-08-09 2019-11-26 瑞声科技(新加坡)有限公司 马达信号补偿方法、电子设备及存储介质
CN116222464A (zh) * 2023-05-08 2023-06-06 江苏省计量科学研究院(江苏省能源计量数据中心) 一种高精度线性位移检测系统
CN116930554A (zh) * 2023-07-11 2023-10-24 哈尔滨工业大学 一种用于精密仪器隔振器的速度传感器标定系统及标定方法
CN116930554B (zh) * 2023-07-11 2024-09-24 哈尔滨工业大学 一种用于精密仪器隔振器的速度传感器标定系统及标定方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN107367219B (zh) 2019-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107367250A (zh) 宏微结合的电感位移传感器校准方法与装置
CN107367222A (zh) 电涡流传感器直线度补偿的电感传感器校准方法与装置
CN107367223A (zh) 电容传感器位移补偿的电感传感器校准方法与装置
CN107367224B (zh) 三光轴激光干涉仪测量的电感传感器校准装置
CN107367219A (zh) 洛伦兹力电机直驱式电感传感器校准方法与装置
Castro A method for evaluating spindle rotation errors of machine tools using a laser interferometer
CN106352823B (zh) 一种基于多瞄准装置的复合坐标测量系统
JP4474443B2 (ja) 形状測定装置および方法
CN107367218A (zh) 偏角误差补偿的电感传感器校准方法与装置
CN110455226B (zh) 一种激光准直收发一体式直线度测量的标定系统及方法
CN115752239B (zh) 一种运动机构同步性测量装置及其测量方法
CN107367220A (zh) 双气浮导轨导向的电感传感器校准方法与装置
JP2000266524A (ja) ３次元形状測定機およびその測定方法
CN115388771A (zh) 基于反射镜测头一体化设计的超精密形位误差测量仪
CN103884270B (zh) 圆光栅安装时产生二维微小角度的测量装置及方法
CN107367221B (zh) 超声波电机驱动主从结构电感传感器校准装置
CN211072866U (zh) 带光路漂移补偿的收发分体式五自由度测量装置
JP6198393B2 (ja) 接触式三次元形状測定装置及びプローブ制御方法
CN115435699A (zh) 一种球列校准装置
CN115388772A (zh) 十字运动面及动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪
CN114485474A (zh) 一种三轴超精密轮廓检测装置
CN210004952U (zh) 一种位移台分辨率和精度检测装置
JP5292668B2 (ja) 形状測定装置及び方法
Cai et al. Micro/nanopositioning coplanar stage with real-time compensation of volumetric error
Liang et al. A novel piezo vibration platform for probe dynamic performance calibration

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20190111

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee