CN202793323U - 一种微型非接触五坐标测量机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种微型非接触五坐标测量机，包括底座、立柱、第一直动机构、第二直动机构、第三直动机构、第一回转机构以及第二回转机构；所述第一回转机构的下方设置有横梁，第二回转机构悬挂在横梁的下方，且第一、二回转机构通过横梁与立柱固定连接；所述第二回转机构上设置有复合测头，并使复合测头悬于第二直动机构的上方。本实用新型非接触式测量机采用五轴联动的测量方式，使复杂零件的三维几何要素得到有效的测量。由于工作台只做两个方向的直线运动，使得测量任务更容易的实现，并且具有反向自锁、传动精度高、传动比大的功能，扭簧的应用消除了涡轮蜗杆之间的传动侧隙，使得蜗轮蜗杆驱动测头做高精度无侧隙的回转测量运动。

Description

一种微型非接触五坐标测量机

技术领域

本实用新型属于坐标测量技术领域，涉及一种非接触五坐标测量机，尤其是一种微型非接触五坐标测量机。

背景技术

随着零件加工水平和加工精度的提高，迫切需要对微小复杂类零件的各几何参数进行测量。而已有的坐标测量仪难以满足该类零件的测量任务，主要原因一是零件形状复杂，而且不允许接触式的测量，而现有三坐标测量机的空间坐标测量多采用探针的接触式测量，CCD等复合式测头，在三维测量领域受到限制；二是现有三坐标测量机使用的回转测座如PH10，只能提供有限的测量位姿，无法满足大范围的非接触连续测量要求；三是传统的测量仪机身庞大，结构复杂，难以满足对于微小复杂零件的方便快捷测量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术的缺点，提供一种微型非接触五坐标测量机，

本实用新型的目的是通过以下技术方案来解决的：

一种微型非接触五坐标测量机，包括底座、立柱、带有导轨滑块组合的X轴、Y轴、Z轴直动机构以及水平、竖直回转机构；所述X轴直动机构安装在底座上，Z轴直动机构设置在X轴直动机构的滑块上，Y轴直动机构固定在立柱上，且立柱固定在底座上；所述水平回转机构的下方固定连接有横梁，所述横梁上设置有连接轴，竖直回转机构通过连接轴悬挂在横梁的下方，且横梁的末端与立柱固定在一起；所述竖直回转机构上连接有复合测头，复合测头通过水平回转机构与竖直回转机构的配合，悬于Z轴直动机构的上方。

上述X轴直动机构包括与X轴平行的两条第一导轨，且该两条导轨之间设置有带丝杆螺母的第一滚珠丝杆，第一滚珠丝杆的一端连接有第三步进电机；所述两第一导轨的内侧上安装有带读数头的第一直线光栅尺，所述第一直线光栅尺的读数头与第一滚珠丝杆的丝杆螺母的安装座相连接。

上述Z轴直动机构包括与Z轴平行的两条第二导轨以及托盘，所述托盘安装在第一导轨的滑块上，并通过第一滚珠丝杆的丝杆螺母与其连接；所述两第二导轨之间设置有带丝杆螺母的第二滚珠丝杆，第二滚珠丝杆一端连接有第四步进电机；所述第二导轨的滑块上设置有工作台，所述工作台通过第二滚珠丝杆的丝杆螺母与第二导轨的滑块固定连接；所述两第二导轨的内壁上，安装有带读数头的第二直线光栅尺，所述第二直线光栅尺的读数头与第二滚珠丝杆的丝杆螺母的安装座相连接。

上述Y轴直动机构包括与Y轴平行的两条第三导轨、第二从动齿形带轮以及第二驱动齿形带轮；所述第三导轨的滑块与横梁固定连接在一起，所述两第三导轨之间设置有带丝杆螺母的第三滚珠丝杆；所述第三滚珠丝杆与第二从动齿形带轮同轴固定，同时第二从动齿形带轮还与第二驱动齿形带轮相啮合；所述第二驱动齿形带轮连接有第五步进电机；第三滚珠丝杆通过其上的丝杆螺母与横梁连接；所述两第三导轨外侧、立柱外壁上，安装有带读数头的第三直线光栅尺，且第三直线光栅尺的读数头与横梁相连接。

上述Y轴直动机构还包括平衡机构，所述平衡机构包括燕尾座、钢带、滑轮、平衡块以及两根平衡块支架；所述钢带支撑在滑轮上，一端固定在横梁上，另一端固定在平衡块上；所述平衡块支架竖直设置在立柱上，上端与燕尾座固定连接，下端与支架固定连接；所述平衡块镶嵌在两平衡块支架之间，所述滑轮对称安装在燕尾座的两端。

上述水平回转机构包括第一步进电机、减速器、减速器支架、驱动直齿轮以及从动直齿轮；所述减速器安装在减速器支架上；所述第一步进电机的输出转轴与减速器相连接，且减速器与驱动直齿轮同轴固定，驱动直齿轮设置在减速器支架的内部；所述驱动直齿轮与从动直齿轮相啮合，从动直齿轮上设置有第三锁紧螺母和第四胀套，且从动直齿轮通过第三锁紧螺母和第四胀套固定在连接轴上。

上述减速器支架上开设有用来调整齿轮中心距的腰形槽。

上述竖直回转机构由蜗轮蜗杆消隙传动机构组成，所述涡轮蜗杆传动机构的涡轮轴与横梁上的连接轴相连；所述连接轴穿过横梁内的部分串联配置有成对双联接触球轴承，连接轴通过第一锁紧螺母以及第一压盖将其与横梁固定在一起；所述连接轴的下方安装有第一定位光栅，且横梁的下方安装有第一读数头支架，所述第一读数头支架上固定有与第一定位光栅相配合的第一读数头。

本实用新型与现有技术相比具有的优点和效果：

1、本实用新型非接触式测量机采用五轴联动的测量方式，比传统的三坐标测量机多出两个回转测量机构，两个回转机构的施加使得该测量机的复合测头可以做两个不同平面内大范围的非接触连续测量运动，进而使复杂零件的三维几何要素得到有效的测量。

2、本实用新型测量机的两个回转机构都固定在上下运动的直动机构上，整体结构紧凑，由于工作台只做两个方向的直线运动，容易实现在测量过程中被测零件的高精度定位，由于复合测头具有三个自由度而且所测零件尺寸较小，所以很多时候只需移动一个轴就可以完成测量，这样避免了多轴运动带来的误差，而且该结构形式使测量过程中无需反复标定零件和测量系统的位置关系，使得测量任务更容易的实现。

3、本实用新型驱动复合测头的回转部分采用蜗轮蜗杆消隙传动机构的驱动方式，蜗轮蜗杆传动机构具有反向自锁、传动精度高、传动比大的功能，扭簧的应用消除了涡轮蜗杆之间的传动侧隙，使得蜗轮蜗杆驱动测头做高精度无侧隙的的回转测量运动。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型水平直动机构和竖直直动机构的结构示意图；

图3（a）为本实用新型蜗轮蜗杆消隙传动机构的主视图；

图3（b）为本实用新型蜗轮蜗杆消隙传动机构的左视图；

图3（c）为本实用新型蜗轮蜗杆消隙传动机构的仰视图；

图4为本实用新型齿轮传动结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步详细描述：

参见图1-4，这种微型非接触五坐标测量机，包括底座16、立柱17、带有导轨滑块组合的X轴、Y轴、Z轴直动机构14、19、11以及水平、竖直回转机构4、7；所述X轴直动机构14安装在底座16上，Z轴直动机构11设置在X轴直动机构14的滑块上，Y轴直动机构19固定在立柱17上，且立柱17固定在底座16上；所述水平回转机构4的下方固定连接有横梁5，所述横梁5上设置有连接轴211，竖直回转机构7通过连接轴211悬挂在横梁5的下方，且横梁5的末端与立柱17固定在一起；所述竖直回转机构7上连接有复合测头6，复合测头6通过水平回转机构4与竖直回转机构7的配合，悬于Z轴直动机构11的上方。

X轴直动机构14包括与X轴平行的两条第一导轨12，且该两条导轨之间设置有带丝杆螺母的第一滚珠丝杆32，第一滚珠丝杆32的一端连接有第三步进电机31；所述两第一导轨12的内侧上安装有带读数头的第一直线光栅尺13，所述第一直线光栅尺13的读数头与第一滚珠丝杆32的丝杆螺母的安装座相连接。Z轴直动机构11包括与Z轴平行的两条第二导轨15以及托盘33，所述托盘33安装在第一导轨12的滑块上，并通过第一滚珠丝杆32的丝杆螺母与其连接；所述两第二导轨15之间设置有带丝杆螺母的第二滚珠丝杆8，第二滚珠丝杆8一端连接有第四步进电机10；所述第二导轨15的滑块上设置有工作台9，所述工作台9通过第二滚珠丝杆8的丝杆螺母与第二导轨15的滑块固定连接；所述两第二导轨15的内壁上，安装有带读数头的第二直线光栅尺34，所述第二直线光栅尺34的读数头与第二滚珠丝杆8的丝杆螺母的安装座相连接。Y轴直动机构19包括与Y轴平行的两条第三导轨23、第二从动齿形带轮28以及第二驱动齿形带轮26；所述第三导轨23的滑块与横梁5固定连接在一起，所述两第三导轨23之间设置有带丝杆螺母的第三滚珠丝杆30；所述第三滚珠丝杆30与第二从动齿形带轮28同轴固定，同时第二从动齿形带轮28还与第二驱动齿形带轮26相啮合；所述第二驱动齿形带轮26连接有第五步进电机24；第三滚珠丝杆30通过其上的丝杆螺母与横梁5连接；所述两第三导轨23外侧、立柱17外壁上，安装有带读数头的第三直线光栅尺22，且第三直线光栅尺22的读数头与横梁5相连接。

Y轴直动机构19还包括平衡机构，所述平衡机构包括燕尾座27、钢带25、滑轮29、平衡块21以及两根平衡块支架20；所述钢带25支撑在滑轮29上，一端固定在横梁5上，另一端固定在平衡块21上；所述平衡块支架20竖直设置在立柱17上，上端与燕尾座27固定连接，下端与支架17固定连接；所述平衡块21镶嵌在两平衡块支架20之间，所述滑轮29对称安装在燕尾座27的两端。

水平回转机构4包括第一步进电机1、减速器2、减速器支架3、驱动直齿轮201以及从动直齿轮204；所述减速器2安装在减速器支架3上；所述第一步进电机1的输出转轴与减速器2相连接，且减速器2与驱动直齿轮201同轴固定，驱动直齿轮201设置在减速器支架3的内部；所述驱动直齿轮201与从动直齿轮204相啮合，从动直齿轮204上设置有第三锁紧螺母202和第四胀套203，且从动直齿轮204通过第三锁紧螺母202和第四胀套203固定在连接轴211上。减速器支架3上开设有用来调整齿轮中心距的腰形槽。

竖直回转机构7由蜗轮蜗杆消隙传动机构组成，所述涡轮蜗杆传动机构的涡轮轴121与横梁5上的连接轴211相连；所述连接轴211穿过横梁5内的部分串联配置有成对双联接触球轴承207，连接轴211通过第一锁紧螺母205以及第一压盖206将其与横梁5固定在一起；所述连接轴211的下方安装有第一定位光栅210，且横梁5的下方安装有第一读数头支架208，所述第一读数头支架208上固定有与第一定位光栅210相配合的第一读数头209。

下面结合附图对本实用新型作进一步的描述：

参见图1，本实用新型一种微型非接触五坐标测量机，由第一直动机构14、第二直动机构11、第三直动机构19三个直动机构和第一回转机构4、第二回转机构7两个回转机构组成，两个回转机构通过横梁5连接在立柱17上的第三直动机构19上，随着立柱17上的直线运动机构做上下运动，其中第一回转机构14驱动复合测头6做水平面内回转测量运动，第二回转机构7驱动复合测头6做竖直平面内的回转测量运动。

第一直动机构14位于底座16上，底座16上设置有两根第一直线导轨12，第一直线导轨12的滑块与托盘33相连接，所述两根第一直线导轨12之间还设置有一根第一滚珠丝杆32，第一滚珠丝杆32由第三步进电机31驱动，第一滚珠丝杠32的丝杆螺母连接托盘33，在第一滚珠丝杠12一侧的底座16内壁上还安装有第一直线光栅尺13，第一直线光栅尺13的读数头与第一滚珠丝杆32的丝杠螺母的安装座相连接；第二直动机构11位于托盘33上，所述托盘33上设置有两根第二直线导轨15，第二直线导轨15的滑块与工作台9相连接，所述两根第二直线导轨15之间还设置有一根第二滚珠丝杆8，第二滚珠丝杆8由第四步进电机10驱动，第二滚珠丝杠8的丝杆螺母连接工作台9，在第二滚珠丝杠8一侧的托盘33内壁上还安装有第二直线光栅尺34，第二直线光栅尺34的读数头与第二滚珠丝杠8的丝杠螺母的安装座相连接；第三直动机构19位于立柱17上，所述立柱17上设置有两根第三直线导轨23，第三直线导轨23的滑块与横梁5相连接，所述两根第三直线导轨23之间还设置有一根第三滚珠丝杆30，第三滚珠丝杆30由第二从动齿形带轮28驱动，第二从动齿形带轮28由第二驱动齿形带轮26驱动，第二驱动齿形带轮26由第五步进电机24驱动，第三滚珠丝杠30的丝杆螺母连接横梁5，在立柱17一侧的上安装有第三直线光栅尺22，第三直线光栅尺22的读数头与横梁5相连接；第三直动机构19设置有平衡机构，平衡机构由燕尾座27、钢带25、滑轮29、平衡块21和平衡块支架20组成，钢带25支撑在滑轮上，一端固定在横梁5上，一段固定在平衡块21上，平衡块21随着横梁5的移动在平衡块支架20间做上运动，第三直动机构19做上下测量运动时平衡机构保证了运动的平稳性和可靠性。

参见图4，第一回转机构4由齿轮传动机构组成，位于横梁5上，驱动直齿轮201通过第一步进电机1、减速器2驱动，驱动直齿轮201带动从动直齿轮204，从动齿轮204通过第三锁紧螺母202和第四胀套203固定在连接轴211上，齿轮传动机构通过减速器支架3上的腰形槽来调整齿轮中心距，进而调整齿轮传动精度；第二回转机构7由蜗轮蜗杆传动机构组成，通过横梁5上的连接轴211悬挂在横梁5下端，蜗轮蜗杆减速器驱动复合测头6做竖直平面内的回转测量运动，通过扭簧平衡机构消除蜗轮蜗杆传动侧隙。横梁5上的连接轴211采用串联配置的成对双联角接触球轴承207、第一锁紧螺母205和第一压盖206固定在横梁5上，保证了连接轴211的传动的刚度和平稳性，连接轴211上同时装有第一定位圆光栅210，第一圆光栅210的第一读数头209固定在第一读数头支架208上，第一读数头支架208固定在横梁5上，第一圆光栅210用水平面内测量运动的反馈控制以及零件测量时的位置检测。

参见图3（a）、3（b）以及3（c），所述蜗轮蜗杆消隙传动机构采用一体式的机箱112，第二步进电机108固定在电机支架106上，电机支架106固定在带轮轴轴承座105上，第二步进电机108的输出轴通过联轴器107与带轮轴102相连接，带轮轴102通过第一胀套109与第一驱动齿形带轮101连接，第一驱动齿形带轮101通过锁紧螺钉110和第一角接触球轴承组104支撑在带轮轴轴承座105上，带轮轴轴承座105固定在机箱112上，通过带轮轴轴承座105上的腰槽孔可以调节带轮的中心距；齿形带111穿过连接轴211上的预留槽连接到第一从动齿形带轮115上，第一从动齿形带轮115通过第二胀套114与蜗杆119连接，蜗杆119通过第三锁紧螺母116、角接触球轴承和深沟球轴承组成的轴承组118支撑在机箱112自带的蜗杆座上；涡轮124通过第三胀套125固定在涡轮轴121上，涡轮轴121通过第二压盖122、一对角接触球轴承和单个角接触球轴承组成的轴承组132、光栅支架128支撑在第一轴承座123和第二轴承座127上，第一轴承座123和第二轴承座127固定在机箱112上；光栅支架128上固定有第二圆光栅129，第二圆光栅129的第二读数头130固定在第二读数头支架131上，第二读数头支架131固定在机箱112外壁上，涡轮轴121带动动复合测头6做竖直面内的回转测量运动，第二圆光栅129用于竖直面内测量运动的反馈控制以及零件测量时的位置检测；这种电机-带轮-蜗杆-涡轮的传动方式使得蜗轮蜗杆消隙传动机构的尺寸降到很小，从而大大减小了其回转空间尺寸。

在蜗轮蜗杆消隙传动机构中，扭簧126的一端固定在涡轮124上，另一端固定在第二轴承座127上，装配中通过对扭簧126的预紧使扭簧具有一定的反向回转力，使得复合测头6在回转测量运动的过程中涡轮124和蜗杆119单侧接触，进而消除了涡轮和蜗杆的侧隙问题，使得复合测头6在涡轮轴121的带动下做正负90度的无侧隙精密回转测量运动。

结合附图，本实用新型的工作过程是这样实现的：

测量零件时将待测零件安装在专用夹具上，第三步进电机31带动第一滚珠丝杆12旋转，第一滚珠丝杆12的丝杆螺母拖动托盘33前后运动，第一直线光栅尺13检测出托盘33的实际精确位置，以便使待测零件在该方向上的精确定位，根据测量需求，可让让托盘33以设定的移动速度运动，底座16上的第一直线光栅尺13的检测数据用于第三步进电机31的闭环控制，同时该数据还用于待测零件的数据处理；第四步进电机10带动第二滚珠丝杆8旋转，第二滚珠丝杆8的丝杆螺母拖动工作台9左右运动，第二直线光栅尺34检测出工作台9的实际精确位置，以便使待测零件在该方向上的精确定位，根据测量需求，可让工作台以设定的移动速度运动，托盘上的第二直线光栅尺34的检测数据用于第四步进电机10的闭环控制，同时该数据还用于待测零件的数据处理；

由于工作台只做两个方向的直线运动，容易实现在测量过程中标准球及待测零件的高精度定位，而复合测头6具有三个自由度，其中第五步进电机24带动第二驱动齿形带轮26，第二驱动齿形带轮通过齿形带驱动第二从动齿形带轮28，第二从动齿形带轮28驱动第三滚珠丝杆30旋转，第三滚珠丝杆30的丝杆螺母拖动横梁5上下运动，第三直线光栅尺22检测出复合测头6的实际精确位置，以便使复合侧头6在该方向上的精确定位，根据测量需求，可让复合测头以设定的移动速度运动，立柱17上的第三直线光栅尺22的检测数据用于第五步进电机24的闭环控制，同时该数据还用于待测零件的数据处理；第四步进电机带动第一驱动齿轮，第一驱动齿轮驱动第二从动齿轮，第二从动齿轮驱动复合测头做水平面内的测量运动，第一圆光栅检测出复合测头的实际精确位置，以便复合测头在该方向上的精确定位，根据测量需求，可让复合测头以设定的移动速度运动，连接轴上的圆光栅的检测数据用于第四步进电机的闭环控制，同时该数据还用于待测零件的数据处理；第五步进电机驱动蜗轮蜗杆减速器，蜗轮蜗杆减速器驱动复合测头做竖直面内的测量运动，第二圆光栅检测出复合测头的实际精确位置，以便复合测头在该方向上的精确定位，根据测量需求，可让复合测头以设定的移动速度运动，涡轮轴上的圆光栅的检测数据用于第五步进电机的闭环控制，同时该数据还用于待测零件的数据处理；由于复合测头具有三个自由度而且所测零件尺寸较小，所以很多时候只需移动一个轴就可以完成测量，这样避免了多轴运动带来的误差。

根据测量要求把待测零件快速运行到指定的位置，其运动过程中主计算机读取光栅尺读数，与要求位移做比较，将差值作为控制信号，继续驱动步进电动机以微调参数运行，直到待测零件到达要求位置。控制步进电动机以工作参数运动，形成测量要求的各种运动，一般为单轴直线或回转运动和两轴或三轴联动，直到完成测量。

Claims (8)

1.一种微型非接触五坐标测量机，其特征在于：包括底座（16）、立柱（17）、带有导轨滑块组合的X轴、Y轴、Z轴直动机构（14、19、11）以及水平、竖直回转机构（4、7）；所述X轴直动机构（14）安装在底座（16）上，Z轴直动机构（11）设置在X轴直动机构（14）的滑块上，Y轴直动机构（19）固定在立柱（17）上，且立柱（17）固定在底座（16）上；所述水平回转机构（4）的下方固定连接有横梁（5），所述横梁（5）上设置有连接轴（211），竖直回转机构（7）通过连接轴（211）悬挂在横梁（5）的下方，且横梁（5）的末端与立柱（17）固定在一起；所述竖直回转机构（7）上连接有复合测头（6），复合测头（6）通过水平回转机构（4）与竖直回转机构（7）的配合，悬于Z轴直动机构（11）的上方。

2.根据权利要求1所述的一种微型非接触五坐标测量机，其特征在于：所述X轴直动机构（14）包括与X轴平行的两条第一导轨（12），且该两条导轨之间设置有带丝杆螺母的第一滚珠丝杆（32），第一滚珠丝杆（32）的一端连接有第三步进电机（31）；所述两第一导轨（12）的内侧上安装有带读数头的第一直线光栅尺（13），所述第一直线光栅尺（13）的读数头与第一滚珠丝杆（32）的丝杆螺母的安装座相连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种微型非接触五坐标测量机，其特征在于：所述Z轴直动机构（11）包括与Z轴平行的两条第二导轨（15）以及托盘（33），所述托盘（33）安装在第一导轨（12）的滑块上，并通过第一滚珠丝杆（32）的丝杆螺母与其连接；所述两第二导轨（15）之间设置有带丝杆螺母的第二滚珠丝杆（8），第二滚珠丝杆（8）一端连接有第四步进电机（10）；所述第二导轨（15）的滑块上设置有工作台（9），所述工作台（9）通过第二滚珠丝杆（8）的丝杆螺母与第二导轨（15）的滑块固定连接；所述两第二导轨（15）的内壁上，安装有带读数头的第二直线光栅尺（34），所述第二直线光栅尺（34）的读数头与第二滚珠丝杆（8）的丝杆螺母的安装座相连接。

4.根据权利要求1所述的一种微型非接触五坐标测量机，其特征在于：所述Y轴直动机构（19）包括与Y轴平行的两条第三导轨（23）、第二从动齿形带轮（28）以及第二驱动齿形带轮（26）；所述第三导轨（23）的滑块与横梁（5）固定连接在一起，所述两第三导轨（23）之间设置有带丝杆螺母的第三滚珠丝杆（30）；所述第三滚珠丝杆（30）与第二从动齿形带轮（28）同轴固定，同时第二从动齿形带轮（28）还与第二驱动齿形带轮（26）相啮合；所述第二驱动齿形带轮（26）连接有第五步进电机（24）；第三滚珠丝杆（30）通过其上的丝杆螺母与横梁（5）连接；所述两第三导轨（23）外侧、立柱（17）外壁上，安装有带读数头的第三直线光栅尺（22），且第三直线光栅尺（22）的读数头与横梁（5）相连接。

5.根据权利要求1或4所述的一种微型非接触五坐标测量机，其特征在于：所述Y轴直动机构（19）还包括平衡机构，所述平衡机构包括燕尾座（27）、钢带（25）、滑轮（29）、平衡块（21）以及两根平衡块支架（20）；所述钢带（25）支撑在滑轮（29）上，一端固定在横梁（5）上，另一端固定在平衡块（21）上；所述平衡块支架（20）竖直设置在立柱（17）上，上端与燕尾座（27）固定连接，下端与支架（17）固定连接；所述平衡块（21）镶嵌在两平衡块支架（20）之间，所述滑轮（29）对称安装在燕尾座（27）的两端。

6.根据权利要求1所述的一种微型非接触五坐标测量机，其特征在于：所述水平回转机构（4）包括第一步进电机（1）、减速器（2）、减速器支架（3）、驱动直齿轮（201）以及从动直齿轮（204）；所述减速器（2）安装在减速器支架（3）上；所述第一步进电机（1）的输出转轴与减速器（2）相连接，且减速器（2）与驱动直齿轮（201）同轴固定，驱动直齿轮（201）设置在减速器支架（3）的内部；所述驱动直齿轮（201）与从动直齿轮（204）相啮合，从动直齿轮（204）上设置有第三锁紧螺母（202）和第四胀套（203），且从动直齿轮（204）通过第三锁紧螺母（202）和第四胀套（203）固定在连接轴（211）上。

7.根据权利要求6所述的一种微型非接触五坐标测量机，其特征在于：所述减速器支架（3）上开设有用来调整齿轮中心距的腰形槽。

8.根据权利要求1或6所述的一种微型非接触五坐标测量机，其特征在于：所述竖直回转机构（7）由蜗轮蜗杆消隙传动机构组成，所述涡轮蜗杆传动机构的涡轮轴（121）与横梁（5）上的连接轴（211）相连；所述连接轴（211）穿过横梁（5）内的部分串联配置有成对双联接触球轴承（207），连接轴（211）通过第一锁紧螺母（205）以及第一压盖（206）将其与横梁（5）固定在一起；所述连接轴（211）的下方安装有第一定位光栅（210），且横梁（5）的下方安装有第一读数头支架（208），所述第一读数头支架（208）上固定有与第一定位光栅（210）相配合的第一读数头（209）。

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