JPS62251602A - 3次元測定装置 - Google Patents
3次元測定装置Info
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- JPS62251602A JPS62251602A JP9490986A JP9490986A JPS62251602A JP S62251602 A JPS62251602 A JP S62251602A JP 9490986 A JP9490986 A JP 9490986A JP 9490986 A JP9490986 A JP 9490986A JP S62251602 A JPS62251602 A JP S62251602A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 7
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 5
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000010972 statistical evaluation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は3次元測定装置に係り、更に詳細には、各軸用
のキャレッジが精度を維持してスムーズに移動できるよ
うにした3次元測定装置に関するものである。
のキャレッジが精度を維持してスムーズに移動できるよ
うにした3次元測定装置に関するものである。
[従来の技術]
従来、被測定物の検査や加工しようと16ワークにけが
きする場合に、3次元測定装置が使用されている。しか
も、3次元測定装置には、種々のタイプのものが知られ
ている。従来の3次元測定装置では、特にX軸、Y軸お
よびZ軸それぞれ各軸における移動自在なキャレッジは
、1個のラックに対してピニオンを噛合尤移動させ、さ
らに他のピニオンを噛合し位置検出を行なっている。j
:た前記各キ11レッジを移動させるガイドとして、2
本の平行なバイブ式ガイドを使用し行っている。
きする場合に、3次元測定装置が使用されている。しか
も、3次元測定装置には、種々のタイプのものが知られ
ている。従来の3次元測定装置では、特にX軸、Y軸お
よびZ軸それぞれ各軸における移動自在なキャレッジは
、1個のラックに対してピニオンを噛合尤移動させ、さ
らに他のピニオンを噛合し位置検出を行なっている。j
:た前記各キ11レッジを移動させるガイドとして、2
本の平行なバイブ式ガイドを使用し行っている。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、前述した従来の各軸のキャリッジを移動
させる移動手段では、バックラッシュが発生し、キャリ
ッジとガイド間にガタが生じやすくガイドの精度が悪く
なる。また、2本の平行なバイブのガイドでは、捩れが
生じやすいから、平行度、真直性が失われるため、やは
りガイドの精度が悪くなるという問題があった。
させる移動手段では、バックラッシュが発生し、キャリ
ッジとガイド間にガタが生じやすくガイドの精度が悪く
なる。また、2本の平行なバイブのガイドでは、捩れが
生じやすいから、平行度、真直性が失われるため、やは
りガイドの精度が悪くなるという問題があった。
本発明の目的は、上記事情に鑑み問題を解決するために
提案されたものであって、各軸キャリッジを移動させる
ガイドのガタを極力少なく、平行度、真直性を失わせず
ガイドの精度をM持させて円滑にキャリッジを移動させ
るようにした3次元測定装dを提供するものである。
提案されたものであって、各軸キャリッジを移動させる
ガイドのガタを極力少なく、平行度、真直性を失わせず
ガイドの精度をM持させて円滑にキャリッジを移動させ
るようにした3次元測定装dを提供するものである。
[問題を解決するための手段]
本発明はJ1記目的を達成すたるめに12案されたもの
であって、3次元測定装置におけるX軸、Y軸およびZ
軸それぞれの各軸用ベースを設け、該各軸用ベースに対
し各軸方向へ移動自在な各軸周キャレッジを設け、各軸
用ベースあるいは各軸周キャレッジにそれぞれ各軸方向
に延伸し、かつ平行な複数本の直線軌道台の全体を一体
的に設けてなることを特徴とする3次元測定装置である
。
であって、3次元測定装置におけるX軸、Y軸およびZ
軸それぞれの各軸用ベースを設け、該各軸用ベースに対
し各軸方向へ移動自在な各軸周キャレッジを設け、各軸
用ベースあるいは各軸周キャレッジにそれぞれ各軸方向
に延伸し、かつ平行な複数本の直線軌道台の全体を一体
的に設けてなることを特徴とする3次元測定装置である
。
し作用1
本発明を採用することにより、X軸、Y軸、およびZ軸
の各軸におけるキャリッジが、ガタを生じることなく、
かつ平行度、真直性を失わずに円滑に移動できる。また
、駆り3部のバックラッシュ。
の各軸におけるキャリッジが、ガタを生じることなく、
かつ平行度、真直性を失わずに円滑に移動できる。また
、駆り3部のバックラッシュ。
がないから、キャリッジが正確に移動される。したがっ
て、被測定物を測定した測定データは従来にまして正確
なものとなる。
て、被測定物を測定した測定データは従来にまして正確
なものとなる。
[実施例]
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
る。
第1図、′第2図および第3を参照するに、3次元測定
装置1におけるベッド3が定盤S上に載置されている。
装置1におけるベッド3が定盤S上に載置されている。
ベッド3におけるX軸方向に沿って延伸した2個の直線
軌道台5R,5Lが平行にベッド3の取付面に密着する
ように押さえ複数の取付はボルト7で締付けである。第
2図おにび第3図に示す如く、X軸ギヤレツジ9の両側
下部にベアリング11R,11Lが複数のベアリング取
付はボルト13で締付けて直線軌道台5R,5Lに組み
込んである。この時のベアリング取付はボルト13は仮
締めとしておく。X軸ギヤレツジ9の両側面の複数個所
例えば3ケ所に孔を穿孔し、該孔にすきま調整ボルト1
5を挿入する。ベアリング11R,11LとX軸ギヤレ
ッジ9とのすきま調整ポルi〜15で締付けて調整する
。X軸ギヤレッジ9を前記直線軌道台5R,5Lに対し
て摺動させながら、2木のベアリング取付はボルト13
を交互に徐々に締付けてベアリング11R,11Lが固
定される。
軌道台5R,5Lが平行にベッド3の取付面に密着する
ように押さえ複数の取付はボルト7で締付けである。第
2図おにび第3図に示す如く、X軸ギヤレツジ9の両側
下部にベアリング11R,11Lが複数のベアリング取
付はボルト13で締付けて直線軌道台5R,5Lに組み
込んである。この時のベアリング取付はボルト13は仮
締めとしておく。X軸ギヤレツジ9の両側面の複数個所
例えば3ケ所に孔を穿孔し、該孔にすきま調整ボルト1
5を挿入する。ベアリング11R,11LとX軸ギヤレ
ッジ9とのすきま調整ポルi〜15で締付けて調整する
。X軸ギヤレッジ9を前記直線軌道台5R,5Lに対し
て摺動させながら、2木のベアリング取付はボルト13
を交互に徐々に締付けてベアリング11R,11Lが固
定される。
2本の平行なX軸方向に延伸したそれぞれの軌道台5R
,5Lの内側面に沿ってラック17R217[−が設【
プである。それぞれのラック17R917Lにはピニオ
ン19R,19Lがぞれぞれ噛合しである。ピニオン1
9R,19Lのそれぞれに嵌着されたシャツ1−21.
23には×軸手動送りハンドル25.ロータリーエンコ
ーダ27が取付けである。
,5Lの内側面に沿ってラック17R217[−が設【
プである。それぞれのラック17R917Lにはピニオ
ン19R,19Lがぞれぞれ噛合しである。ピニオン1
9R,19Lのそれぞれに嵌着されたシャツ1−21.
23には×軸手動送りハンドル25.ロータリーエンコ
ーダ27が取付けである。
上記構成により、X軸手動送りハンドル25を廻すこと
により、ピニオン19R,19Lがラック17R,17
Lに対してX軸方向に移動される。
により、ピニオン19R,19Lがラック17R,17
Lに対してX軸方向に移動される。
したがって、X軸ギヤレツジ9がベラ・ド3に対してX
軸方向に移動されることになる。
軸方向に移動されることになる。
X軸ギヤレッジ9がベッド3に対してX軸方向へ移動さ
れる際、直線軌道台5R,5Lを案内ガイドとしており
、かつ相対向したラック17R2171−にピニオン1
9R,19mが押付けられて噛合しであるから、バック
ラッシュを除去してX軸ギヤレッジ9がスムーズにガタ
なしで移動されるのである。
れる際、直線軌道台5R,5Lを案内ガイドとしており
、かつ相対向したラック17R2171−にピニオン1
9R,19mが押付けられて噛合しであるから、バック
ラッシュを除去してX軸ギヤレッジ9がスムーズにガタ
なしで移動されるのである。
また、ピニオン19R,19Lは同時にラック17R,
17Lに対して回転しているから、ピニオン19 Lに
シャフト23を介しく取付(〕られている〕ローターリ
ーエンコーダ2により正確に移動位置が検出されるにう
になっている。
17Lに対して回転しているから、ピニオン19 Lに
シャフト23を介しく取付(〕られている〕ローターリ
ーエンコーダ2により正確に移動位置が検出されるにう
になっている。
ベッド3上の両端部には、固定ストッパ部材29.31
がそれぞれ複数例えば2本のボルト33゜35で取付け
である。しかも、固定ストッパ部材29.31におIプ
る内側面両側には、それぞれ複数例えば2周の11衝ゴ
ム37.39が設けである。
がそれぞれ複数例えば2本のボルト33゜35で取付け
である。しかも、固定ストッパ部材29.31におIプ
る内側面両側には、それぞれ複数例えば2周の11衝ゴ
ム37.39が設けである。
上記構成により、X軸キセレッジ9がベッド3に対しX
軸方向に移動した際に、固定ストッパ部材29.31に
X軸キャレッジ9が突当り停止される。停■卜する際に
、緩衝ゴム37.39により衝撃力を吸収しているので
ある。
軸方向に移動した際に、固定ストッパ部材29.31に
X軸キャレッジ9が突当り停止される。停■卜する際に
、緩衝ゴム37.39により衝撃力を吸収しているので
ある。
X軸キャレッジ9の両側それぞれには、第1図に示すよ
うに、L字形状の支持部材41.43が複数のポル1〜
45で取付けである。X軸キャレッジ9上にあって、か
つ支持部材41と支持部材43との間には、−ト下方向
であるZ軸方向に延伸したZ軸コラム47が立設し複数
例えば4個のボルト49で支持部材41.43それぞれ
の外方から取付けである。7軸コラム47における前面
には、Z軸方向に沿って2本の平行な直線軌道台51R
951Lが延伸して複数のボルト53で取付けである。
うに、L字形状の支持部材41.43が複数のポル1〜
45で取付けである。X軸キャレッジ9上にあって、か
つ支持部材41と支持部材43との間には、−ト下方向
であるZ軸方向に延伸したZ軸コラム47が立設し複数
例えば4個のボルト49で支持部材41.43それぞれ
の外方から取付けである。7軸コラム47における前面
には、Z軸方向に沿って2本の平行な直線軌道台51R
951Lが延伸して複数のボルト53で取付けである。
さらに、2本の直線軌道台51R,51Lそれぞれの内
側面に沿ってラック55R,55LがZ軸コラム47に
設けである。
側面に沿ってラック55R,55LがZ軸コラム47に
設けである。
一方、7軸キヤレツジ57の両側下部には、×軸キャレ
ッジ9と同様に、図示省略のベアリングが設番ブてあっ
て、直線軌道台51R,51Lに組み込んである。この
組付は方は、X軸キャレッジ9にJ3ける組付は方と同
様であるから、詳細を省略する。
ッジ9と同様に、図示省略のベアリングが設番ブてあっ
て、直線軌道台51R,51Lに組み込んである。この
組付は方は、X軸キャレッジ9にJ3ける組付は方と同
様であるから、詳細を省略する。
前記ラック55R,55Lのそれぞれには、図示省略の
ピニオンが噛合しており、該ピニオンのそれぞれには、
図示省略のシャフトを介してZ軸手動送りハンドル59
.〇−ターリーエンコーダ61が取付けである。
ピニオンが噛合しており、該ピニオンのそれぞれには、
図示省略のシャフトを介してZ軸手動送りハンドル59
.〇−ターリーエンコーダ61が取付けである。
上記構成により、Z軸手動送りハンドル59を廻すこと
により、図示省略のピニオンがラック55R,55Lに
対してZ軸方向に移動される。したがって、7軸キヤレ
ツジ57が7軸コラム47に対してZ軸方向に移動され
ることになる。
により、図示省略のピニオンがラック55R,55Lに
対してZ軸方向に移動される。したがって、7軸キヤレ
ツジ57が7軸コラム47に対してZ軸方向に移動され
ることになる。
2軸キt/レツジ57が7軸コラム47に対してZ軸方
向に移動される際、直線軌道台51R,51Lを案内ガ
イドとしており、かつ相対向したラック55R,55L
に図示省略のピニオンが押付けられて噛合しであるから
、バックラッシュを除去してZ軸キャレッジ57がスム
ーズにガタなしで移動されるのである。
向に移動される際、直線軌道台51R,51Lを案内ガ
イドとしており、かつ相対向したラック55R,55L
に図示省略のピニオンが押付けられて噛合しであるから
、バックラッシュを除去してZ軸キャレッジ57がスム
ーズにガタなしで移動されるのである。
また、ロータリーエンコーダ61はX軸移動に使用され
ているロータリーエンコーダ27と同様に作動してZ軸
キャレッジ57がZ軸方向へ移動する移動位置を正確に
検出している。
ているロータリーエンコーダ27と同様に作動してZ軸
キャレッジ57がZ軸方向へ移動する移動位置を正確に
検出している。
Z軸キャレッジ57の上面における両側には、それぞれ
止め金具63R,63Lを介してワイヤ65R,65L
が取付けである。それぞれのワイヤ65R,65Lの他
方には、プーリ67R,67L1.:掛回して鍾り69
R,69L (図示省略〉が取付けである。
止め金具63R,63Lを介してワイヤ65R,65L
が取付けである。それぞれのワイヤ65R,65Lの他
方には、プーリ67R,67L1.:掛回して鍾り69
R,69L (図示省略〉が取付けである。
上記構成により、7軸キヤレツジ57は、2個の鍾り6
9R,69Lでもって常に平衡状態を保持している。し
たがって、後述するY軸キャレッジ71がY軸コラム7
3に対してY軸方向へ移動してもバランスを取ってガタ
が生じないようにしであるのである。
9R,69Lでもって常に平衡状態を保持している。し
たがって、後述するY軸キャレッジ71がY軸コラム7
3に対してY軸方向へ移動してもバランスを取ってガタ
が生じないようにしであるのである。
なお、2軸コラム47の上部は、カバー75で被われて
いる。
いる。
さらに、X軸キャレッジ9上にあって、Z軸コラム47
の下部には、下部固定ストッパ部材77が取付けてあり
、Z軸コラム47の上部にも図示省略の上部固定ストッ
パ部材が取付けである。
の下部には、下部固定ストッパ部材77が取付けてあり
、Z軸コラム47の上部にも図示省略の上部固定ストッ
パ部材が取付けである。
したがって、2軸キヤレツジ57がZ軸コラム47に対
してZ軸方向へ移動した際に、図示省略の上部固定スト
ッパ部材と下部固定ストッパ部材77にZ軸コラム57
が突当り停止される。停由する際に、図示省略の上部固
定ストッパ部材に設けた図示省略の緩衝ゴムと下部固定
ストッパ部材77に設けた複数例えば2個の緩衝ゴム7
9により衝撃力を吸収しているのである。
してZ軸方向へ移動した際に、図示省略の上部固定スト
ッパ部材と下部固定ストッパ部材77にZ軸コラム57
が突当り停止される。停由する際に、図示省略の上部固
定ストッパ部材に設けた図示省略の緩衝ゴムと下部固定
ストッパ部材77に設けた複数例えば2個の緩衝ゴム7
9により衝撃力を吸収しているのである。
7軸−1ヤレッジ57前面下部にはY軸コラム73が設
けである。Y軸コラム73に対してY軸方向へ延伸した
移動自在なY軸キャレッジ71が設けである。YO!l
キャレッジ71には、2本の平行な直線軌道台81R,
81LがY軸方向へ延伸して設置プである。YIIIl
lキ1ルッジ71内の上下には、図示省略のベアリング
が設けてあって、直線軌道台81R,81Lに組み込ん
である。さらに、前記Y軸ギヤレッジ71に延伸して設
けである2本の平行な直線軌道台81R,81Lにおけ
る内側面に沿ってラック83R,83LがY軸キャレッ
ジ71に設けである。前記ラック83R,83mにそれ
ぞれ噛合した2個のピニオンが前記Y軸コラム73内に
設けてあり、しがも2個のピニオンには、それぞれシセ
フトを介してY軸手動送りハンドル85.ロータリーエ
ンコーダ87が設けである。
けである。Y軸コラム73に対してY軸方向へ延伸した
移動自在なY軸キャレッジ71が設けである。YO!l
キャレッジ71には、2本の平行な直線軌道台81R,
81LがY軸方向へ延伸して設置プである。YIIIl
lキ1ルッジ71内の上下には、図示省略のベアリング
が設けてあって、直線軌道台81R,81Lに組み込ん
である。さらに、前記Y軸ギヤレッジ71に延伸して設
けである2本の平行な直線軌道台81R,81Lにおけ
る内側面に沿ってラック83R,83LがY軸キャレッ
ジ71に設けである。前記ラック83R,83mにそれ
ぞれ噛合した2個のピニオンが前記Y軸コラム73内に
設けてあり、しがも2個のピニオンには、それぞれシセ
フトを介してY軸手動送りハンドル85.ロータリーエ
ンコーダ87が設けである。
上ilt!構成により、Y軸手動送りハンドル85を廻
すと、それぞれのピニオンが回転する。それぞれのピニ
オンが回転すると、ラック83R,83LがY軸方向に
移動する。ラック83R,83LはY411ヤレッジ7
1に取付けてあって一体化されているから、ラック83
R,83LのY軸方向移動と共にY軸キャレッジ71が
Y軸方向へ移動する。したがって、Y軸コラム73に対
してY軸キ11レッジ71がY軸方向へ移動されること
になる。
すと、それぞれのピニオンが回転する。それぞれのピニ
オンが回転すると、ラック83R,83LがY軸方向に
移動する。ラック83R,83LはY411ヤレッジ7
1に取付けてあって一体化されているから、ラック83
R,83LのY軸方向移動と共にY軸キャレッジ71が
Y軸方向へ移動する。したがって、Y軸コラム73に対
してY軸キ11レッジ71がY軸方向へ移動されること
になる。
Y軸キャレッジ71がY軸コラム73に対しY軸方向へ
移動される際、直線軌道台81R,81Lを案内ガイド
としており、かつ相対向したラック83R,83Lに2
個のピニオンが押し付けられ噛合しているから、バック
ラッシュを除去してY軸ギヤレッジがスムーズにガタな
しで移動されるのである。
移動される際、直線軌道台81R,81Lを案内ガイド
としており、かつ相対向したラック83R,83Lに2
個のピニオンが押し付けられ噛合しているから、バック
ラッシュを除去してY軸ギヤレッジがスムーズにガタな
しで移動されるのである。
また、ロータリーエンコーダ87は、前述のロータリー
エンコーダ27.61と同様に作動してY軸キャレッジ
71がY軸方向へ移動する移動位置を正確に検出してい
る。
エンコーダ27.61と同様に作動してY軸キャレッジ
71がY軸方向へ移動する移動位置を正確に検出してい
る。
Y軸キャレッジ71の右端には、固定ストッパ部材89
が取付けてあって、該固定ストッパ部材89にY軸キャ
レッジ71が突当って停止り゛るようになっている。第
1図には図示されていt5いが、固定ストッパ部材89
の内側面には、前述した固定ストッパ部材29.31お
よび77と同様に、iI函ゴムを設けても構わない。
が取付けてあって、該固定ストッパ部材89にY軸キャ
レッジ71が突当って停止り゛るようになっている。第
1図には図示されていt5いが、固定ストッパ部材89
の内側面には、前述した固定ストッパ部材29.31お
よび77と同様に、iI函ゴムを設けても構わない。
Y軸キtlレッジ71の左端には、5方向すなわち第1
図において、前後、上下および左方向にプローブ91を
着脱自在に取付けできるプローブ取付はヘッド93が取
付けである。プローブ91はフイーラ95を介してプロ
ーブ取付はヘッド93に着脱自在となっている。
図において、前後、上下および左方向にプローブ91を
着脱自在に取付けできるプローブ取付はヘッド93が取
付けである。プローブ91はフイーラ95を介してプロ
ーブ取付はヘッド93に着脱自在となっている。
而して、プローブ91がX軸、Y軸およびZ軸方向に移
動して、定盤S上に載置された被測定物であるソークW
の各種寸法の測定データが正確に測定されるのである。
動して、定盤S上に載置された被測定物であるソークW
の各種寸法の測定データが正確に測定されるのである。
本実施例の3次元測定装置1で被測定物であるワークW
を測定する一例を示せば、例えば第4図(△)に示した
如く、プローブ取付はヘッド93の下部にけがきツール
Tを取付ける。このけがきツールTは内部にばねが入っ
ており、けがきツールTの先端が動くようになっている
。けがきをしたいワークWの−L面がうねっている。場
合には、う。
を測定する一例を示せば、例えば第4図(△)に示した
如く、プローブ取付はヘッド93の下部にけがきツール
Tを取付ける。このけがきツールTは内部にばねが入っ
ており、けがきツールTの先端が動くようになっている
。けがきをしたいワークWの−L面がうねっている。場
合には、う。
ねりを吸収するような構造になっていて、正確にかつ容
易にワークWの上面にりがきが行なわれる。
易にワークWの上面にりがきが行なわれる。
さらに、第4図(B)に示す他側では、プローブ取ト目
ノヘッド93の7[:81$にポールプローブ91をフ
ィラー95を介して取付ける。而して、ワークWの上面
がある傾きをもった平面などの幾何形状を51算させる
為のポイントをワークWより取込む場合に使用されるの
である。
ノヘッド93の7[:81$にポールプローブ91をフ
ィラー95を介して取付ける。而して、ワークWの上面
がある傾きをもった平面などの幾何形状を51算させる
為のポイントをワークWより取込む場合に使用されるの
である。
なお、第4図(A>あるいは第4図(B)によって測定
された測定信号は、3次元測定装置1の近傍に設けられ
たコントローラを介してマイクロコンピュータに入力さ
れる。マイクロコンピュータでは演算処理されて、プリ
ンタから統計評価表あるいは検査成16iなどとしてプ
リント出力されて評価されるのである。
された測定信号は、3次元測定装置1の近傍に設けられ
たコントローラを介してマイクロコンピュータに入力さ
れる。マイクロコンピュータでは演算処理されて、プリ
ンタから統計評価表あるいは検査成16iなどとしてプ
リント出力されて評価されるのである。
[効果1
以上のごとき実施例の説明から理解されるように、本発
明によれば、各軸のキャリッジを移動させるために、直
線軌道ガイドを用いているから、各軸のキIIレッジと
ガイドとの間にガタが生じず、かつ平行度、真心性が失
われずにガイドの611mをN持できる。したがって、
各軸のキャリッジが円滑にかつ正確に移動される。その
結束、本発明の3次元測定装置で被測定物を測定した際
には、正確で信頼性のある測定データが得られるのであ
る。
明によれば、各軸のキャリッジを移動させるために、直
線軌道ガイドを用いているから、各軸のキIIレッジと
ガイドとの間にガタが生じず、かつ平行度、真心性が失
われずにガイドの611mをN持できる。したがって、
各軸のキャリッジが円滑にかつ正確に移動される。その
結束、本発明の3次元測定装置で被測定物を測定した際
には、正確で信頼性のある測定データが得られるのであ
る。
第1図は本発明である3次元測定装置の斜視図である。
第2図は第1図における■−■線に沿った拡大断面図で
ある。 第3図は第2図における■−■線に沿った断面図である
。 第4図(Δ)および(B)は測定の一例を示す説明図で
ある。 [図面の主要部を表わす符号の説明] 1・・・3次元測定装置 5R,51,51R,51m、81R,81L・・・直
線軌道台 9・・・X軸キ1Fレッジ 11R,11L・・・ベアリング 17また。17L、55R,55L、83R,83L・
・・ラック 19R,19L・・・ごニオン 27.61.87・・・ロータリーエンコーダ57・・
・7軸キセレツジ 71・・・キャレッジ 代理人 弁理士 三 好 保 男 第2図 第4図(A)
ある。 第3図は第2図における■−■線に沿った断面図である
。 第4図(Δ)および(B)は測定の一例を示す説明図で
ある。 [図面の主要部を表わす符号の説明] 1・・・3次元測定装置 5R,51,51R,51m、81R,81L・・・直
線軌道台 9・・・X軸キ1Fレッジ 11R,11L・・・ベアリング 17また。17L、55R,55L、83R,83L・
・・ラック 19R,19L・・・ごニオン 27.61.87・・・ロータリーエンコーダ57・・
・7軸キセレツジ 71・・・キャレッジ 代理人 弁理士 三 好 保 男 第2図 第4図(A)
Claims (3)
- (1)3次元測定装置におけるX軸、Y軸およびZ軸そ
れぞれの各軸用ベースを設け、該各軸用ベースに対し各
軸方向へ移動自在な各軸用キャレッジを設け、各軸用ベ
ースあるいは各軸用キャレッジにそれぞれ各軸方向に延
伸し、かつ平行な複数本の直線軌道台の全体を一体的に
設けてなることを特徴とする3次元測定装置。 - (2)各軸用ベースあるいは各軸用キャレッジの各軸方
向へ延伸し、かつ平行に設けた直線軌道台のそれぞれの
内側面に軸方向へ延伸したラックを設け、該ラックのそ
れぞれに噛合したピニオンを設け、一方のピニオンに各
軸のキャレッジを移動させる駆動部を、他方のピニオン
に位置を検出する位置検出センサを設けたことを特徴と
する特許請求の範囲第1項に記載の3次元測定装置。 - (3)Z軸キャレッジが複数本の平行な直線軌道台それ
ぞれの外側で連結した複数本のワイヤで平衡状態を保つ
ように支承されていることを特徴とする特許請求の範囲
第1項に記載の3次元測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9490986A JPS62251602A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | 3次元測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9490986A JPS62251602A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | 3次元測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62251602A true JPS62251602A (ja) | 1987-11-02 |
Family
ID=14123136
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9490986A Pending JPS62251602A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | 3次元測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62251602A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6049988A (en) * | 1997-07-09 | 2000-04-18 | Thk Co., Ltd. | Linear motion guiding apparatus |
JP2011511300A (ja) * | 2008-02-07 | 2011-04-07 | イートン,ホーマー,エル | 電動式座標測定装置 |
-
1986
- 1986-04-25 JP JP9490986A patent/JPS62251602A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6049988A (en) * | 1997-07-09 | 2000-04-18 | Thk Co., Ltd. | Linear motion guiding apparatus |
JP2011511300A (ja) * | 2008-02-07 | 2011-04-07 | イートン,ホーマー,エル | 電動式座標測定装置 |
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