JP2004084683A - アクチュエータ及びアクチュエータを用いた画像検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ボールネジの軸振れを防止可能で低振動化と収束時のセットリング時間が短縮可能なアクチュエータ及びこのアクチュエータを用いた画像検査装置を得る。
【解決手段】サーボモータ6のロータ7に中空部9を形成をし、この中空部9にボールナット11を固着し、ボールネジ5の軸方向にサーボモータ6を移動自在とさせる。
【選択図】 図1
【解決手段】サーボモータ6のロータ7に中空部9を形成をし、この中空部9にボールナット11を固着し、ボールネジ5の軸方向にサーボモータ6を移動自在とさせる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はアクチュエータ及びこのアクチュエータを用いた画像検査装置に係わり、特にロータに設けた中空部に、駆動部を配設して、小型化を図ったアクチュエータ及びこのアクチュエータを用いて画像データを取り込む画像検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、アクチュエータとしては種々のものか提案されている。例えは特開2001−132810号公報には図7及び図8に示す様なアクチュエータが開示されている。
【0003】
図8に示す、アクチュエータ60は長方形状のベース部61の下側にサーボモータ62を配設している。このサーボモータ62はボールネジ64を支持する右側の支持部材63Rに固定されている。このサーボモータ62の回転軸65にプーリ66を固着すると共に、ボールネジ64の一端にもプーリ67を固着し、プーリ66及び67間にベルト68を巻回し、左右支持部材63L及び63R間に設けた軸受69L及び69R間に回動可能に架設したボールネジ64を駆動している。
【0004】
ボールネジ64にはボールナット70が螺合され、その回転を直動ガイド72によって規制している。ボールナット70上にはスライダ71が固定され、このスライダ上に各種機器が搭載されている。
【0005】
この様な構成のアクチュエータによれば、ボールネジ64の長さをボールネジ64の軸の延長上にサーボモータ62を配設する場合に比べて、全体の右左支持部材63L及び63R間の距離を短縮することが出来るが、部品点数が増大し、組立が困難になると共に上下方向に装置が大型化する問題があり、図8に示す様な構造のアクチュエータが提案されている。
【0006】
図7で図8との対応部分には同一符号を付して示す。ベース部61の上部右側にはサーボモータ62が配置される。このサーボモータ62はステータ55と、このステータ55の内周側にボールベアリング等で回転可能に配置されたロータ56とから構成されている。
【0007】
上述のロータ56の一端は中空状に成され、図8中のロータ56の左端側には開口部57が形成されると共に右端側には鍔部58が設けられている。
【0008】
上記ベース部61上でロータ56の内周側には、移動体としてのスライダ71の基部が図7中左右方向に移動可能に配置されている。該スライダ71は図8の直動ガイド72と同様にスライダ71の回転を規定する図示しない直動ガイドに沿って移動するように構成されている。スライダ71の内周側にはボールネジ64が配設されていて、このボールネジ64は、図7中その右端部を介して、ロータ56の鍔部58に楔結合機構59を介して連結・固定されている。よって、ロータ56が適宜の方向に回転することにより、ボールネジ64も同方向に回転するようになっている。
【0009】
上記スライダ71の内周側にはボールナット63が内装されていて、このボールナット63はボールネジ64に螺合していると共に、スライダ71に対しては固定された状態で設けられている。よって、ロータ56の回転によりボールネジ64が回転することにより、ボールナット63は図7中左右方向に移動することになり、それによって、スライダ71も同方向に移動する。そして、このスライダ71の移動により、例えば、スライダ71に取り付けられた図示しない各種機器を移動させるものである。
【0010】
また、ベース部61の図7中右端にはカバー54が取付・固定されていて、このカバー54の内部にはサーボモータ62の回転位置等を検出する検出器53が内装されている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
上述の従来構成で説明した、図7に示すアクチュエータによればスライダ71及びボールナット63がロータ56の内部に収納可能で、その分スライダ71の移動量は長くなり、スライダ71の移動量に対し、アクチュエータの軸方向長さを短縮させ図8のアクチュエータに比べ部品点数を増大させることのないものが得られるが、図7の構成のアクチュエータはサーボモータ62のロータ56の回転と共にボールネジ64も回転するためボールネジ64の軸長が長くなると軸振れが発生するため、画像検査装置に用いるアクチュエータの様に低速収束から高収束を繰り返す様なサーボモータでは振幅が大きくなり、位置決め時の低振動化と収束時のセットリング時間の短縮化が困難となる課題を有していた。
【0012】
本発明の叙上の課題を解決するために成されたもので、本発明が解決しようとする課題はボールネジの軸振れを生ぜずに低振動化と収束時のセットリング時間の短縮化が容易なアクチュエータ及びアクチュエータを用いた画像検査装置を提供するものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1のアクチュエータはロータの少くとも一端を中空状に形成し、この中空部内にナットを固定し、ステータに固定した移動体に対し、ロータを回動自在に成し、ナットの内軸にネジを螺合させ、移動体をネジ上を移動可能と成したものである。
【0014】
本発明の第2のアクチュエータはステータ内で回転可能に枢着させたロータから成るモータと、ステータに固定された移動体と、ロータの少くとも一端に設けた中空部に装着されたボールナットと、軸支されたボールネジとを具備し、ボールネジをロータに設けたボールナットに摺動自在に螺合させて成るものである。
【0015】
本発明の画像検査装置は基台上に設けたワークの画像を可動手段に配設した撮像手段を介して取り込む様に成した画像検査装置に於いて、可動手段に配設した撮像手段を駆動するモータのロータの少くとも一端に中空状部を形成し中空状部にナットを固定し、モータのステータに固定した可動手段に対しロータを回動自在に成し、ナットの内軸に螺合したネジを固定部に架設させて、ネジ上に可動手段を摺動自在と成したものである。
【0016】
本発明のアクチュエータ及びアクチュエータを用いた画像検査装置に依れば、低振動で、高速振動収束が可能なアクチュエータが得られ、高精度の振動検出制御が可能となるものが得られる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図1乃至図3を参照して本発明の1形態を示すアクチュエータ及びアクチュエータを用いた画像検査装置を説明する。図1は本発明のアクチュエータの全体の構成を示す断面及び側面図、図2はアクチュエータを用いた画像検出装置の系統図、図3は画像検出装置と基台との振動を説明するための振動波形図である。
【0018】
図1(A)(B)に於いて、図1(A)は側断面図、図1(B)は正面図であり、1は全体として、アクチュエータを示し、略長方形状の板材から成るベース部2上の左右側端には略正方形状の板材から成る支持部材3L及び3Rが立設されている。
【0019】
左右支持部材3L及び3Rの中心部には軸受4L及び4Rが嵌着され、左右軸受4L及び4R間にボールネジ5を架設する。
【0020】
サーボモータ6はロータ7とステータ8を有し、ロータ7の一方の端部には中空部9が形成され、この中空部9の開口部10側からボールナット11嵌挿する。
【0021】
ボールナット11の一端にはフランジ部12を有し、このフランジ部12に穿った透孔を介してネジ13によって、ロータ7に固着させる。ボールナット11の内径にはボールネジ5と螺合する雌ネジが形成されている。
【0022】
ロータ7とステータ8間はベアリング等の軸受部材14を介在され、ステータ8に対し、ロータ7は回動自在と成され、ボールナット11と一体化されたロータ7の回転に伴って、サーボモータ6はボールネジ5の軸方向に移動自在と成されている。
【0023】
ステータ8にはスライダ15が固定されている。このスライダ15上にロボット等の移動手段が固定され、移動手段をサーボネジ5の軸方向に移動させる様に成されている。
【0024】
上述のアクチュエータ1のステータ8側にカップ状のカバー16を固定し、このカバー16内に回転位置検出器等のセンサ17が設けられている。
【0025】
上述のアクチュエータ1を用いた画像検査装置を図2を用いて説明する。図2に於いて、本発明の画像検査装置20は、基台22上に載置されたワーク21を撮像手段(カメラ)23を用いて撮像し、ワーク21の画像情報を取り出して状態検査を行なう様に成されたものである。
【0026】
基台22上に載置されたワーク21の例えばプリント基板の半田印刷状態等を検査するために、ロボット等をX軸及びY軸方向に摺動自在と成された移動手段24にカメラ等の撮像手段23を固定する。
【0027】
カメラ23は光源26からの光をレンズ27a及び27bやハーフミラー28等の光学系で構成する画像検出部25を介してワーク21上のパターンを撮像して、その撮像画像をカメラ23に取り込む様に成されている。
【0028】
又、ロボット24を図2のX−Xで示すX軸方向或いはY−Yで示すY軸方向(紙面と直交する方向)に移動させるためのXYステージ29の駆動装置として図1に示すアクチュエータ1を用いる。
【0029】
図2の構成ではY軸方向にロボット24を移動させるためのサーボモータ6とボールネジ5を示している。又、ロボット24は図1のスライダ15上に固定されている。X軸方向の駆動装置は示されていないがY軸方向の駆動装置に用いるアクチュエータと同一のものが使用されている。
【0030】
更に、本発明ではロボット24及び基台22の所定位置に変位センサ30a及び30b或いは加速度センサ30a′及び30b′が設置されている。
【0031】
上述のカメラ23から取り出されたワーク21を撮像した画像はアナログ−デジタル変換部31でデジタルデータに変換され、画像処理部32で各種画像処理を施した後に、フレームメモリ33等に格納し、画像出力を図示しないモニタ用の表示装置に表示させる。
【0032】
上述の各回路31〜33は中央情報処理装置(CPUと記す)34で制御される。又、カメラ23の画像検出部25はデジタル−アナログ変換部35を介してCPU34で制御される。
【0033】
更に、ロボット24を前後・左右に移動させるXYステージ29もXYステージ駆動制御部36を介してCPU34で駆動制御される。
【0034】
基台22及びロボット24(或はXYステージ29)に取り付けられたセンサ30a及び30bの出力は振動検出回路37で検出され、アナログ−デジタル変換器38でデジタルデータに変換されてCPU34に供給され、これら振動検出状態に応じてXYステージ29の移動状態制御が行なわれる。
【0035】
本発明の上述構成のアクチュエータ1とこのアクチュエータ1を用いた画像検査装置20ではロボット24側のセンサ30aの振幅値をAR とし、基台22側のセンサ30bの振幅値をAB とすると、相対振動検出レベルをAO と定め、下記の式1により相対振動検出レベルAO を求め、この相対振動検出レベルAO に到達した時点で作業開始OKのトリガを行なう様に成されている。
〔式1〕
AO =AR −AB ・・・・・(1)
【0036】
上述の作業開始は本例の図2の画像検査装置20ではカメラ23からのワーク21のパターン画像取り込みのための露光トリガを開始した場合である。
【0037】
図3(A)(B)は従来の図9に示した画像検査装置(従来例▲1▼)の上記した相対振動レベルの減衰曲線と、図2に示した本発明の画像検査装置の相対振動レベルの減衰特性曲線を示すものである。
【0038】
図3(A)に於いて、波形40はロボット24の位置決め信号であり、この位置決め信号の立ち上りパルス40Sで移動命令が出され、ロボット24はX軸或はY軸方向に移動してワーク21上に持ち来される。位置決め信号の立ち下りパルス40Eが終了信号と成る。この終了信号がトリガされてから、いかに静止状態に近い状態でカメラ23がワーク21の画像パターンを取り込むかが課題となる。即ち、検査精度に大きく影響する。一方、いかに迅速にロボット24を静止状態にするかも問題となる。即ち、この相対振動レベル減衰特性が検査スピードに大きく影響することになる。
【0039】
図3(A)及び図3(B)に於いて波形40は位置決め信号、曲線41は相対振動レベル(又は相対加速度)を示すものでありグラフの横軸は時間(msec)を縦軸は振幅レベル(μm)をとったもので従来例1で5μmの振幅レベルに達する減衰時間が250msecであるのに対し本発明では30msecと大幅に短縮され、本発明の画像検査装置20では振動レベルとその減衰性能において圧倒的な優位性を有することが解る。
【0040】
図4及び表1は図9で示したと同様のアクチュエータ構造を有する従来例1及び本発明に於ける画像検査装置のロボット単体の振動(振幅)収束時間と振幅及びセットリング時間(ストローク13mm)の下表(表1)に示す実測値と位置決め終了時間から振動収束(減衰時間)までの時間を示す棒グラフである。
【0041】
【表1】
【0042】
これら表1と図4とを比較すると、従来例1では位置決め完了までの時間がY軸方向で120msec、X軸方向で115msecで振動収束時間がY軸方向で205msec、X軸方向で265msec、振幅がX軸方向10μm、Y軸方向が10μmでセットリング時間はX軸方向で380msec、Y軸方向で325msecである。
【0043】
これに対し、本発明のロボット24単体での振幅はX軸方向で5μm、Y軸方向で5μm、位置決め完了までの時間はX及びY軸方向で夫々100msec及び84msec、同様に振動収束時間はX及びY軸方向で夫々30msecであり、セットリング時間はX軸方向124msec、Y軸方向で114msecと成り、セットリング時間の大幅な改善が図られている。
【0044】
図5は相対振幅5μm以下の波形検出時の波形詳細図を示すもので横軸は時間(msec)縦軸は振幅レベル(μm)及び加速度(mv)を示すものである。
【0045】
図5で40は図3と同様のロボットの位置決め信号であり、一点鎖線で示す曲線42はカメラ23を載置したロボット24の振幅曲線、細い実線で示す曲線43が基台22の振幅曲線であり、図3(A)(B)で説明したと同様の破線で示す曲線41は曲線42の振幅値から曲線43の振幅値を差し引いたものでカメラ23を載置したロボット24の振動レベル−基台22(ワーク21を搬送する搬送手段等を含む)の振動レベル=相対振幅としたもので、この値が5μm以下に達した時点(本発明では120msecで5μm付近に達する)でカメラ23の露光を開始する様にCPU34を制御している。
【0046】
太い実線で示す曲線44は相対加速度を示すものでロボット24及び基台22に振動センサ30a及び30bを配設する代りに加速度センサ30a′及び30b′を配設させて、夫々加速度を検出した時のロボット24の振動加速度−基台22(コンベア)の振動加速度=相対加速度(相対振幅5μm=相対加速度40mv)で求めたもので相対振幅値で5μm以下、又は相対加速度で40mv以下で作業開始OKのトリガ信号を出力させている。図5では相対加速度40mv以下、或は相対振幅5μm以下で露光時間45は17msと成っている。
【0047】
図6は、本発明のアクチュエータ及びこのアクチュエータを用いた画像処理装置と従来例1及び従来例2との振動レベルが5μmに達する振動収束時間、各ロボットの5μm振動振幅に達するまでのタクトタイムを模式的に表したものである。
【0048】
上述の図6(A)〜(D)に示す模式図に於いて、図6(A)は従来例1及び従来例2と本発明のロボットの振動レベルが5μmに達する振動計測時間を示すもので図6(B)で示すロボット位置決め信号40の終了信号40Eのパルス発生から5μmの振動値に達するまでの振動収束時間を図6(C)で示している。
【0049】
図6(D)の各ロボットのタクトタイムに示す様に従来の作業開始までの時間を大幅に短縮し、低振動(5μm以下)で高速に露光作業を行なうことが可能なアクチュエータが得られる。
【0050】
また、本発明に使用されるセンサは振動の変化を検出する変位センサであっても、加速度センサであっても変位計及び加速度計での減衰特性波形(収束に到る出力波形)は互に相関があり、周期が一致していることを確認している。従って、変位量=K(定数)×加速度出力電圧とすることで加速度センサによって得た加速度出力を用いて画像取り込みタイミングを制御することも出来る。
【0051】
本発明のアクチュエータは画像検査装置について説明したが、この様な基板検査装置に限らず高速で精度を要求する計測用途のすべての装置に適用可能なことは明らかである。
【0052】
【発明の効果】
本発明のアクチュエータ及びこのアクチュエータを用いた画像検査装置によれば高速、高精度を要求される装置に適用可能な為に低振幅、高速振幅収束が可能で位置決め完了動作時の振動を少なく出来るアクチュエータが得られ、ロボットとワーク振動側の相対振動或は相対加速度を検出して作業開始タイミングを制御しているので、検査位置への移動距離が変わっても常に同じ振動幅条件で安定した再現性のある検査が可能な画像検査装置を得ることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のアクチュエータの側断面図及び正面図である。
【図2】本発明のアクチュエータを用いた画像検査装置の系統図である。
【図3】本発明と従来の相対振動レベルの減衰特性曲線図である。
【図4】本発明と従来例1のロボット位置決め完了時間及び振動収束時間とを示すグラフである。
【図5】本発明の相対振幅及び相対加速度と露光タイミングを示す曲線波形図である。
【図6】本発明の位置決め振動及び振幅5μmまでの振動収束時間並びにロボットのタクトタイムを示す模式図である。
【図7】従来のアクチュエータを示す側断面図である。
【図8】従来の他のアクチュエータを示す側断面図である。
【符号の説明】
1‥‥アクチュエータ、2‥‥ベース部、3L,3R‥‥支持部材、5‥‥ボールネジ、6‥‥サーボモータ、7‥‥ロータ、8‥‥ステータ、9‥‥中空部、10‥‥開口部、11‥‥ボールナット、15‥‥スライダ、20‥‥画像検査装置、22‥‥基台、23‥‥カメラ、24‥‥移動手段(ロボット)、29‥‥XYステージ、34‥‥CPU
【発明の属する技術分野】
本発明はアクチュエータ及びこのアクチュエータを用いた画像検査装置に係わり、特にロータに設けた中空部に、駆動部を配設して、小型化を図ったアクチュエータ及びこのアクチュエータを用いて画像データを取り込む画像検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、アクチュエータとしては種々のものか提案されている。例えは特開2001−132810号公報には図7及び図8に示す様なアクチュエータが開示されている。
【0003】
図8に示す、アクチュエータ60は長方形状のベース部61の下側にサーボモータ62を配設している。このサーボモータ62はボールネジ64を支持する右側の支持部材63Rに固定されている。このサーボモータ62の回転軸65にプーリ66を固着すると共に、ボールネジ64の一端にもプーリ67を固着し、プーリ66及び67間にベルト68を巻回し、左右支持部材63L及び63R間に設けた軸受69L及び69R間に回動可能に架設したボールネジ64を駆動している。
【0004】
ボールネジ64にはボールナット70が螺合され、その回転を直動ガイド72によって規制している。ボールナット70上にはスライダ71が固定され、このスライダ上に各種機器が搭載されている。
【0005】
この様な構成のアクチュエータによれば、ボールネジ64の長さをボールネジ64の軸の延長上にサーボモータ62を配設する場合に比べて、全体の右左支持部材63L及び63R間の距離を短縮することが出来るが、部品点数が増大し、組立が困難になると共に上下方向に装置が大型化する問題があり、図8に示す様な構造のアクチュエータが提案されている。
【0006】
図7で図8との対応部分には同一符号を付して示す。ベース部61の上部右側にはサーボモータ62が配置される。このサーボモータ62はステータ55と、このステータ55の内周側にボールベアリング等で回転可能に配置されたロータ56とから構成されている。
【0007】
上述のロータ56の一端は中空状に成され、図8中のロータ56の左端側には開口部57が形成されると共に右端側には鍔部58が設けられている。
【0008】
上記ベース部61上でロータ56の内周側には、移動体としてのスライダ71の基部が図7中左右方向に移動可能に配置されている。該スライダ71は図8の直動ガイド72と同様にスライダ71の回転を規定する図示しない直動ガイドに沿って移動するように構成されている。スライダ71の内周側にはボールネジ64が配設されていて、このボールネジ64は、図7中その右端部を介して、ロータ56の鍔部58に楔結合機構59を介して連結・固定されている。よって、ロータ56が適宜の方向に回転することにより、ボールネジ64も同方向に回転するようになっている。
【0009】
上記スライダ71の内周側にはボールナット63が内装されていて、このボールナット63はボールネジ64に螺合していると共に、スライダ71に対しては固定された状態で設けられている。よって、ロータ56の回転によりボールネジ64が回転することにより、ボールナット63は図7中左右方向に移動することになり、それによって、スライダ71も同方向に移動する。そして、このスライダ71の移動により、例えば、スライダ71に取り付けられた図示しない各種機器を移動させるものである。
【0010】
また、ベース部61の図7中右端にはカバー54が取付・固定されていて、このカバー54の内部にはサーボモータ62の回転位置等を検出する検出器53が内装されている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
上述の従来構成で説明した、図7に示すアクチュエータによればスライダ71及びボールナット63がロータ56の内部に収納可能で、その分スライダ71の移動量は長くなり、スライダ71の移動量に対し、アクチュエータの軸方向長さを短縮させ図8のアクチュエータに比べ部品点数を増大させることのないものが得られるが、図7の構成のアクチュエータはサーボモータ62のロータ56の回転と共にボールネジ64も回転するためボールネジ64の軸長が長くなると軸振れが発生するため、画像検査装置に用いるアクチュエータの様に低速収束から高収束を繰り返す様なサーボモータでは振幅が大きくなり、位置決め時の低振動化と収束時のセットリング時間の短縮化が困難となる課題を有していた。
【0012】
本発明の叙上の課題を解決するために成されたもので、本発明が解決しようとする課題はボールネジの軸振れを生ぜずに低振動化と収束時のセットリング時間の短縮化が容易なアクチュエータ及びアクチュエータを用いた画像検査装置を提供するものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1のアクチュエータはロータの少くとも一端を中空状に形成し、この中空部内にナットを固定し、ステータに固定した移動体に対し、ロータを回動自在に成し、ナットの内軸にネジを螺合させ、移動体をネジ上を移動可能と成したものである。
【0014】
本発明の第2のアクチュエータはステータ内で回転可能に枢着させたロータから成るモータと、ステータに固定された移動体と、ロータの少くとも一端に設けた中空部に装着されたボールナットと、軸支されたボールネジとを具備し、ボールネジをロータに設けたボールナットに摺動自在に螺合させて成るものである。
【0015】
本発明の画像検査装置は基台上に設けたワークの画像を可動手段に配設した撮像手段を介して取り込む様に成した画像検査装置に於いて、可動手段に配設した撮像手段を駆動するモータのロータの少くとも一端に中空状部を形成し中空状部にナットを固定し、モータのステータに固定した可動手段に対しロータを回動自在に成し、ナットの内軸に螺合したネジを固定部に架設させて、ネジ上に可動手段を摺動自在と成したものである。
【0016】
本発明のアクチュエータ及びアクチュエータを用いた画像検査装置に依れば、低振動で、高速振動収束が可能なアクチュエータが得られ、高精度の振動検出制御が可能となるものが得られる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図1乃至図3を参照して本発明の1形態を示すアクチュエータ及びアクチュエータを用いた画像検査装置を説明する。図1は本発明のアクチュエータの全体の構成を示す断面及び側面図、図2はアクチュエータを用いた画像検出装置の系統図、図3は画像検出装置と基台との振動を説明するための振動波形図である。
【0018】
図1(A)(B)に於いて、図1(A)は側断面図、図1(B)は正面図であり、1は全体として、アクチュエータを示し、略長方形状の板材から成るベース部2上の左右側端には略正方形状の板材から成る支持部材3L及び3Rが立設されている。
【0019】
左右支持部材3L及び3Rの中心部には軸受4L及び4Rが嵌着され、左右軸受4L及び4R間にボールネジ5を架設する。
【0020】
サーボモータ6はロータ7とステータ8を有し、ロータ7の一方の端部には中空部9が形成され、この中空部9の開口部10側からボールナット11嵌挿する。
【0021】
ボールナット11の一端にはフランジ部12を有し、このフランジ部12に穿った透孔を介してネジ13によって、ロータ7に固着させる。ボールナット11の内径にはボールネジ5と螺合する雌ネジが形成されている。
【0022】
ロータ7とステータ8間はベアリング等の軸受部材14を介在され、ステータ8に対し、ロータ7は回動自在と成され、ボールナット11と一体化されたロータ7の回転に伴って、サーボモータ6はボールネジ5の軸方向に移動自在と成されている。
【0023】
ステータ8にはスライダ15が固定されている。このスライダ15上にロボット等の移動手段が固定され、移動手段をサーボネジ5の軸方向に移動させる様に成されている。
【0024】
上述のアクチュエータ1のステータ8側にカップ状のカバー16を固定し、このカバー16内に回転位置検出器等のセンサ17が設けられている。
【0025】
上述のアクチュエータ1を用いた画像検査装置を図2を用いて説明する。図2に於いて、本発明の画像検査装置20は、基台22上に載置されたワーク21を撮像手段(カメラ)23を用いて撮像し、ワーク21の画像情報を取り出して状態検査を行なう様に成されたものである。
【0026】
基台22上に載置されたワーク21の例えばプリント基板の半田印刷状態等を検査するために、ロボット等をX軸及びY軸方向に摺動自在と成された移動手段24にカメラ等の撮像手段23を固定する。
【0027】
カメラ23は光源26からの光をレンズ27a及び27bやハーフミラー28等の光学系で構成する画像検出部25を介してワーク21上のパターンを撮像して、その撮像画像をカメラ23に取り込む様に成されている。
【0028】
又、ロボット24を図2のX−Xで示すX軸方向或いはY−Yで示すY軸方向(紙面と直交する方向)に移動させるためのXYステージ29の駆動装置として図1に示すアクチュエータ1を用いる。
【0029】
図2の構成ではY軸方向にロボット24を移動させるためのサーボモータ6とボールネジ5を示している。又、ロボット24は図1のスライダ15上に固定されている。X軸方向の駆動装置は示されていないがY軸方向の駆動装置に用いるアクチュエータと同一のものが使用されている。
【0030】
更に、本発明ではロボット24及び基台22の所定位置に変位センサ30a及び30b或いは加速度センサ30a′及び30b′が設置されている。
【0031】
上述のカメラ23から取り出されたワーク21を撮像した画像はアナログ−デジタル変換部31でデジタルデータに変換され、画像処理部32で各種画像処理を施した後に、フレームメモリ33等に格納し、画像出力を図示しないモニタ用の表示装置に表示させる。
【0032】
上述の各回路31〜33は中央情報処理装置(CPUと記す)34で制御される。又、カメラ23の画像検出部25はデジタル−アナログ変換部35を介してCPU34で制御される。
【0033】
更に、ロボット24を前後・左右に移動させるXYステージ29もXYステージ駆動制御部36を介してCPU34で駆動制御される。
【0034】
基台22及びロボット24(或はXYステージ29)に取り付けられたセンサ30a及び30bの出力は振動検出回路37で検出され、アナログ−デジタル変換器38でデジタルデータに変換されてCPU34に供給され、これら振動検出状態に応じてXYステージ29の移動状態制御が行なわれる。
【0035】
本発明の上述構成のアクチュエータ1とこのアクチュエータ1を用いた画像検査装置20ではロボット24側のセンサ30aの振幅値をAR とし、基台22側のセンサ30bの振幅値をAB とすると、相対振動検出レベルをAO と定め、下記の式1により相対振動検出レベルAO を求め、この相対振動検出レベルAO に到達した時点で作業開始OKのトリガを行なう様に成されている。
〔式1〕
AO =AR −AB ・・・・・(1)
【0036】
上述の作業開始は本例の図2の画像検査装置20ではカメラ23からのワーク21のパターン画像取り込みのための露光トリガを開始した場合である。
【0037】
図3(A)(B)は従来の図9に示した画像検査装置(従来例▲1▼)の上記した相対振動レベルの減衰曲線と、図2に示した本発明の画像検査装置の相対振動レベルの減衰特性曲線を示すものである。
【0038】
図3(A)に於いて、波形40はロボット24の位置決め信号であり、この位置決め信号の立ち上りパルス40Sで移動命令が出され、ロボット24はX軸或はY軸方向に移動してワーク21上に持ち来される。位置決め信号の立ち下りパルス40Eが終了信号と成る。この終了信号がトリガされてから、いかに静止状態に近い状態でカメラ23がワーク21の画像パターンを取り込むかが課題となる。即ち、検査精度に大きく影響する。一方、いかに迅速にロボット24を静止状態にするかも問題となる。即ち、この相対振動レベル減衰特性が検査スピードに大きく影響することになる。
【0039】
図3(A)及び図3(B)に於いて波形40は位置決め信号、曲線41は相対振動レベル(又は相対加速度)を示すものでありグラフの横軸は時間(msec)を縦軸は振幅レベル(μm)をとったもので従来例1で5μmの振幅レベルに達する減衰時間が250msecであるのに対し本発明では30msecと大幅に短縮され、本発明の画像検査装置20では振動レベルとその減衰性能において圧倒的な優位性を有することが解る。
【0040】
図4及び表1は図9で示したと同様のアクチュエータ構造を有する従来例1及び本発明に於ける画像検査装置のロボット単体の振動(振幅)収束時間と振幅及びセットリング時間(ストローク13mm)の下表(表1)に示す実測値と位置決め終了時間から振動収束(減衰時間)までの時間を示す棒グラフである。
【0041】
【表1】
【0042】
これら表1と図4とを比較すると、従来例1では位置決め完了までの時間がY軸方向で120msec、X軸方向で115msecで振動収束時間がY軸方向で205msec、X軸方向で265msec、振幅がX軸方向10μm、Y軸方向が10μmでセットリング時間はX軸方向で380msec、Y軸方向で325msecである。
【0043】
これに対し、本発明のロボット24単体での振幅はX軸方向で5μm、Y軸方向で5μm、位置決め完了までの時間はX及びY軸方向で夫々100msec及び84msec、同様に振動収束時間はX及びY軸方向で夫々30msecであり、セットリング時間はX軸方向124msec、Y軸方向で114msecと成り、セットリング時間の大幅な改善が図られている。
【0044】
図5は相対振幅5μm以下の波形検出時の波形詳細図を示すもので横軸は時間(msec)縦軸は振幅レベル(μm)及び加速度(mv)を示すものである。
【0045】
図5で40は図3と同様のロボットの位置決め信号であり、一点鎖線で示す曲線42はカメラ23を載置したロボット24の振幅曲線、細い実線で示す曲線43が基台22の振幅曲線であり、図3(A)(B)で説明したと同様の破線で示す曲線41は曲線42の振幅値から曲線43の振幅値を差し引いたものでカメラ23を載置したロボット24の振動レベル−基台22(ワーク21を搬送する搬送手段等を含む)の振動レベル=相対振幅としたもので、この値が5μm以下に達した時点(本発明では120msecで5μm付近に達する)でカメラ23の露光を開始する様にCPU34を制御している。
【0046】
太い実線で示す曲線44は相対加速度を示すものでロボット24及び基台22に振動センサ30a及び30bを配設する代りに加速度センサ30a′及び30b′を配設させて、夫々加速度を検出した時のロボット24の振動加速度−基台22(コンベア)の振動加速度=相対加速度(相対振幅5μm=相対加速度40mv)で求めたもので相対振幅値で5μm以下、又は相対加速度で40mv以下で作業開始OKのトリガ信号を出力させている。図5では相対加速度40mv以下、或は相対振幅5μm以下で露光時間45は17msと成っている。
【0047】
図6は、本発明のアクチュエータ及びこのアクチュエータを用いた画像処理装置と従来例1及び従来例2との振動レベルが5μmに達する振動収束時間、各ロボットの5μm振動振幅に達するまでのタクトタイムを模式的に表したものである。
【0048】
上述の図6(A)〜(D)に示す模式図に於いて、図6(A)は従来例1及び従来例2と本発明のロボットの振動レベルが5μmに達する振動計測時間を示すもので図6(B)で示すロボット位置決め信号40の終了信号40Eのパルス発生から5μmの振動値に達するまでの振動収束時間を図6(C)で示している。
【0049】
図6(D)の各ロボットのタクトタイムに示す様に従来の作業開始までの時間を大幅に短縮し、低振動(5μm以下)で高速に露光作業を行なうことが可能なアクチュエータが得られる。
【0050】
また、本発明に使用されるセンサは振動の変化を検出する変位センサであっても、加速度センサであっても変位計及び加速度計での減衰特性波形(収束に到る出力波形)は互に相関があり、周期が一致していることを確認している。従って、変位量=K(定数)×加速度出力電圧とすることで加速度センサによって得た加速度出力を用いて画像取り込みタイミングを制御することも出来る。
【0051】
本発明のアクチュエータは画像検査装置について説明したが、この様な基板検査装置に限らず高速で精度を要求する計測用途のすべての装置に適用可能なことは明らかである。
【0052】
【発明の効果】
本発明のアクチュエータ及びこのアクチュエータを用いた画像検査装置によれば高速、高精度を要求される装置に適用可能な為に低振幅、高速振幅収束が可能で位置決め完了動作時の振動を少なく出来るアクチュエータが得られ、ロボットとワーク振動側の相対振動或は相対加速度を検出して作業開始タイミングを制御しているので、検査位置への移動距離が変わっても常に同じ振動幅条件で安定した再現性のある検査が可能な画像検査装置を得ることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のアクチュエータの側断面図及び正面図である。
【図2】本発明のアクチュエータを用いた画像検査装置の系統図である。
【図3】本発明と従来の相対振動レベルの減衰特性曲線図である。
【図4】本発明と従来例1のロボット位置決め完了時間及び振動収束時間とを示すグラフである。
【図5】本発明の相対振幅及び相対加速度と露光タイミングを示す曲線波形図である。
【図6】本発明の位置決め振動及び振幅5μmまでの振動収束時間並びにロボットのタクトタイムを示す模式図である。
【図7】従来のアクチュエータを示す側断面図である。
【図8】従来の他のアクチュエータを示す側断面図である。
【符号の説明】
1‥‥アクチュエータ、2‥‥ベース部、3L,3R‥‥支持部材、5‥‥ボールネジ、6‥‥サーボモータ、7‥‥ロータ、8‥‥ステータ、9‥‥中空部、10‥‥開口部、11‥‥ボールナット、15‥‥スライダ、20‥‥画像検査装置、22‥‥基台、23‥‥カメラ、24‥‥移動手段(ロボット)、29‥‥XYステージ、34‥‥CPU
Claims (4)
- ロータの少くとも一端を中空状に形成し、該中空部内にナットを固定し、ステータに固定した移動体に対し、該ロータを回動自在に成し、該ナットの内軸にネジを螺合させ、該移動体を該ネジ上を移動可能と成したことを特徴とするアクチュエータ。
- ステータ内で回転可能に枢着させたロータから成るモータと、
上記ステータに固定された移動体と、
上記ロータの少くとも一端に設けた中空部に装着されたボールナットと、
軸支されたボールネジとを具備し、
上記ボールネジを上記ロータに設けた上記ボールナットに摺動自在に螺合させて成ることを特徴とするアクチュエータ。 - 基台上に設けたワークの画像を可動手段に配設した撮像手段を介して取り込む様に成した画像検査装置に於いて、
上記可動手段に配設した上記撮像手段を駆動するモータのロータの少くとも一端に中空状部を形成し、該中空状部にナットを固定し、該モータのステータに固定した上記可動手段に対し該ロータを回動自在に成し、該ナットの内軸に螺合したネジを固定部に架設させて、該ネジ上に上記可動手段を摺動自在と成したことを特徴とする画像検査装置。 - 前記可動手段及び前記基台に振動検出センサを設け、該両振動検出センサの相対振動を検出して前記撮像手段の画像取り込みタイミングを制御して成ることを特徴とする請求項3記載の画像検査装置。
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2002
- 2002-08-22 JP JP2002242451A patent/JP2004084683A/ja not_active Abandoned
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