CN114117988A - 标记坐标确定方法、装置、计算机可读介质及电子设备 - Google Patents

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Abstract

本公开提供一种标记坐标确定方法、标记坐标确定装置、计算机可读介质及电子设备；涉及半导体制造技术领域。该标记坐标确定方法包括：生成用于放置检测标记的标记单元；将所述检测标记以及所述标记单元设置于光掩模版的图像中，获得所述图像的标记位置文件，其中，所述标记位置文件中包括所述标记单元在所述图像中的位置坐标；根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标。本公开中的标记坐标确定方法能够在一定程度上克服人工抓取坐标时容易出错的问题，进而提升坐标确定的精确性。

Description

标记坐标确定方法、装置、计算机可读介质及电子设备
技术领域
本公开涉及半导体制造技术领域，具体而言，涉及一种标记坐标确定方法、标记坐标确定装置、计算机可读介质及电子设备。
背景技术
在集成电路制造生产中，需要利用晶片切割道上的图案作曝光对准，以及作为制程中的量测用处。为了快速找出这些图案在晶片切割道上的位置，设置量测时的程式，就必须先给出这些图案在框架布局中的坐标。
根据图案的设计需求，在画图软件中画出图案后放置在框架布局中。同一个产品，会放在不只一个位置，不同产品框架布局不同，放置的位置也不同。需要通过制图工具对不同位置的图案进行多次量测，确定坐标。然后，将抓取的坐标，人工填写在坐标书中。这样操作耗费时间长，而且容易出错。
需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
发明内容
本公开的目的在于提供一种标记坐标确定方法、标记坐标确定装置、计算机可读介质及电子设备，能够在一定程度上克服人工抓取坐标时容易出错的问题，进而提升标记的坐标的精确性。
本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本公开的实践而习得。
根据本公开的第一方面，提供一种标记坐标确定方法，包括：
生成用于放置检测标记的标记单元；
将所述检测标记以及所述标记单元设置于光掩模版的图像中，获得所述图像的标记位置文件，其中，所述标记位置文件中包括所述标记单元在所述图像中的位置坐标；
根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标。
在本公开的一种示例性实施例中，所述生成用于放置检测标记的标记单元包括：
基于所述检测标记的中心位置生成所述标记单元，以使所述标记单元的中心位置与所述检测标记的中心位置相重合。
在本公开的一种示例性实施例中，所述检测标记为多个，每个所述检测标记对应一个所述标记单元。
在本公开的一种示例性实施例中，生成用于放置检测标记的标记单元之后，还包括：
确定所述标记单元的名称，以通过所述标记单元的名称生成所述标记位置文件。
在本公开的一种示例性实施例中，获得所述图像的标记位置文件包括：
通过制图工具输出所述光掩模版的图像中所述标记单元的位置坐标；
通过所述标记单元的名称构建所述标记单元与所述位置坐标的映射关系，以生成标记位置文件。
在本公开的一种示例性实施例中，所述根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标包括：
获取包含待处理标记的标记名称的坐标表文件，其中，所述标记名称为待处理标记对应的标记单元的名称；
通过识别所述坐标表文件中的标记名称以及所述标记位置文件中的标记单元的名称，确定所述标记名称对应的目标坐标；
将所述标记名称对应的目标坐标填充至所述坐标表文件中，以获得所述待处理标记在所述图像中的坐标。
在本公开的一种示例性实施例中，所述根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标包括：
通过表格处理工具从所述标记位置文件中抓取出所述待处理标记对应的坐标。
在本公开的一种示例性实施例中，将所述检测标记以及所述标记单元设置于光掩模版的图像中包括：
将所述检测标记以及所述标记单元设置于所述光掩模版的图像中的目标区域，其中所述目标区域至少包括光掩模版的切割道区域。
在本公开的一种示例性实施例中，还包括：检查所述标记单元的位置坐标是否是所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标。
在本公开的一种示例性实施例中，若所述标记单元的位置坐标不是所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标，则将所述标记单元的位置坐标转换为所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标。
根据本公开的第二方面，提供一种标记坐标确定装置，包括标记生成模块、标记位置确定模块以及标记坐标获取模块，其中：
标记生成模块，用于生成放置检测标记的标记单元。
标记位置确定模块，用于将所述检测标记以及所述标记单元设置于光掩模版的图像中，获得所述图像的标记位置文件，其中，所述标记位置文件中包括所述标记单元在所述图像中的位置坐标。
标记坐标获取模块，用于根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标。
在本公开的一种示例性实施例中，标记生成模块可以具体用于：基于所述检测标记的中心位置生成所述标记单元，以使所述标记单元的中心位置与所述检测标记的中心位置相重合。
在本公开的一种示例性实施例中，所述装置还可以包括名称确定模块，用于确定各个所述标记单元的名称，以通过所述标记单元的名称生成所述标记位置文件。
在本公开的一种示例性实施例中，标记位置确定模块可以包括位置输出单元以及位置映射单元，其中：
位置输出单元，用于通过制图工具输出所述光掩模版的图像中所述标记单元的位置坐标。
位置映射单元，用于通过所述标记单元的名称构建所述标记单元与所述位置坐标的映射关系，以生成标记位置文件。
在本公开的一种示例性实施例中，标记坐标获取模块可以包括坐标表获取单元、名称识别单元以及坐标填充单元，其中：
坐标表获取单元，用于获取包含待处理标记的标记名称的坐标表文件，其中，所述标记名称为待处理标记对应的标记单元的名称。
名称识别单元，用于通过识别所述坐标表文件中的标记名称以及所述标记位置文件中的标记单元的名称，确定所述标记名称对应的目标坐标。
坐标填充单元，用于将所述标记名称对应的目标坐标填充至所述坐标表文件中，以获得所述待处理标记在所述图像中的坐标。
在本公开的一种示例性实施例中，标记坐标获取模块可以具体配置为：通过表格处理工具从所述标记位置文件中抓取出所述待处理标记对应的坐标。
在本公开的一种示例性实施例中，标记位置确定模块被配置为：将所述检测标记以及所述标记单元设置于所述光掩模版的图像中的目标区域，其中所述目标区域至少包括光掩模版的切割道区域。
在本公开的一种示例性实施例中，所述装置还包括标记检测模块，用于：检查所述标记单元的位置坐标是否是所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标。
在本公开的一种示例性实施例中，所述标记检测模块还用于：若所述标记单元的位置坐标不是所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标，则将所述标记单元的位置坐标转换为所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标。
根据本公开的第三方面，提供一种计算机可读介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述任意一项所述的方法。
根据本公开的第四方面，提供一种电子设备，包括：处理器；以及存储器，用于存储所述处理器的可执行指令；其中，所述处理器配置为经由执行所述可执行指令来执行上述任意一项所述的方法。
本公开示例性实施例可以具有以下部分或全部有益效果：
在本公开的示例实施方式所提供的标记坐标确定方法中，通过将检测标记的标记单元设置于光掩模版的图像中，得到标记单元在图像中的位置坐标，进而通过识别检测标记中的待处理标记，得到待处理标记的坐标；一方面，无需人工测量标记的坐标，可以避免标记坐标测量不准确的问题，进而能够提高坐标的精确性；另一方面，可以提高确定出标记坐标的效率，尤其在待处理标记数量较多的情况下，无需人工一一抓取，可以大大降低人力和时间成本。
应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示意性示出了根据本公开的一个实施例的标记坐标确定方法的流程图；
图2示意性示出了根据本公开的一个实施例的检测标记以及标记单元的示意图；
图3示意性示出了根据本公开的一个实施例的光掩模版的图像的示意图；
图4示意性示出了根据本公开的另一个实施例的标记坐标确定方法的流程图；
图5示意性示出了根据本公开的一个实施例的坐标表的示意图；
图6示意性示出了根据本公开的一个实施例的标记坐标确定装置的框图；
图7示意性示出了根据本公开的一个实施例的用于实现标记坐标确定方法的系统架构图；
图8示出了适于用来实现本公开实施例的电子设备的计算机系统的结构示意图。
具体实施方式
现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而省略所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知技术方案以避免喧宾夺主而使得本公开的各方面变得模糊。
此外，附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。附图中所示的一些方框图是功能实体，不一定必须与物理或逻辑上独立的实体相对应。可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个硬件模块或集成电路中实现这些功能实体，或在不同网络和/或处理器装置和/或微控制器装置中实现这些功能实体。
以下对本公开实施例的技术方案进行详细阐述：
基于上述一个或多个问题，本示例实施方式提供了一种标记坐标确定方法。参考图1所示，该标记坐标确定方法可以包括以下步骤：
步骤S110：生成用于放置检测标记的标记单元；
步骤S120：将所述检测标记以及所述标记单元设置于光掩模版的图像中，获得所述图像的标记位置文件，其中，所述标记位置文件中包括所述标记单元在所述图像中的位置坐标；
步骤S130：根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标。
在本公开的一示例实施方式所提供的标记坐标确定方法中，通过将检测标记的标记单元设置于光掩模版的图像中，得到标记单元在图像中的位置坐标，进而通过识别检测标记中的待处理标记，得到待处理标记的坐标；一方面，无需人工测量标记的坐标，可以避免标记坐标测量不准确的问题，进而能够提高坐标的精确性；另一方面，可以提高确定出标记坐标的效率，尤其在待处理标记数量较多的情况下，无需人工一一抓取，可以大大降低人力和时间成本。
下面，对于本示例实施方式的上述步骤进行更加详细的说明。
在步骤S110中，生成用于放置检测标记的标记单元。
检测标记指的是用于检测工艺质量的图案，例如光刻套刻标记，关键尺寸检测标记，膜厚检测标记等。一般情况下，光掩模版上存在多个检测标记，根据产品所有者需求的标记类型，每个检测标记可以为不同的图案和尺寸，本实施方式对此不做特殊限定。举例而言，通过制图工具可以生成检测标记以及标记单元，该标记单元可以为形状规则的图案。首先可以在制图工具中画出检测标记，然后通过制图工具画出记单检测标记的标记单元。例如，该标记单元可以为一个完全放置检测标记的标记框，针对每个标记单元可以制作一个对应的标记框。示例性的，每个检测标记对应一个标记单元，且所述标记单元的边界至所述检测标记的最小距离大于1.5um，如2um，2.5um等，使得所述检测标记不会受到其周围图案的影响。
示例性实施方式中，通过制图工具可以确定检测标记的中心位置，以该中心位置为原点生成检测标记的标记单元，可以使得检测标记的中心位置与标记单元的中心位置相重合，从而可以根据标记单元的坐标确定出检测标记的坐标。例如，如图2所示，通过制图工具可以确定出检测标记210的中心位置，即O点，以该点为坐标原点建立一个标记单元220，该标记单元220可以为该检测标记的外切矩形，该矩形220与该检测标记210的中心位置均为O点。
在步骤S120中，将所述检测标记以及所述标记单元设置于光掩模版的图像中，获得所述图像的标记位置文件，其中，所述标记位置文件中包括所述标记单元以及所述标记单元在所述图像中的位置坐标。
该图像可以指光掩模版的框架布局图，不同产品的框架布局不同，光掩模版上的各个检测标记需要设置于该框架布局中。示例性实施方式中，将带有标记单元的检测标记可以放置在光掩模版的图像中的目标区域。对于同一光掩模版的图像而言，多个检测标记可以放在图像中的不同位置。工程师可以根据标记类型和掩模版的切割道的空间来选取每个检测标记放置的位置，从而通过各个检测标记能够检测整个光刻掩膜版的曝光区域上不同区域的情况。因此，图像中的目标区域可以包括多个位置，并且该目标区域可以为光掩模版的图像中的切割道区域。示例性的，多个检测标记以及标记单元的位置如图3所示，光掩模版的图像为300，在该图像300中的位置310处可以放置一检测标记，位置320处可以放置另一检测标记。
将检测标记放置在光掩模版的图像中后，制图工具可以直接测量出各个标记单元的位置坐标，并将各个标记单元的位置坐标输出在一个标记位置文件中。由于标记单元与检测标记的中心相重合，因此得到的标记单元的位置坐标可以作为检测标记的位置坐标，无需人工再对检测标记的位置进行反复测量，不仅可以节省人力和时间成本，还可以避免人工测量导致测量不准确的问题，从而提高标记坐标的准确性。
该标记位置文件可以以列表的形式记录每个标记单元以及标记单元的位置坐标。并且，目标区域可以包括图像中的多个区域，因此可以将检测标记进行多次放置，分别放置在光掩模版的图像的多个不同的位置进行测量，得到每个标记单元的多个不同的位置坐标。
本示例性实施方式中，在生成检测标记的标记单元时还可以为每个标记单元确定一个名称，该名称可以用于标记各个标记单元。并且，该名称可以为数字、文字、符号，或者数字、文字、符号以及其他元素的组合。在获取图像的标记位置文件时，可以基于标记单元的名称记录标记单元对应的位置坐标。具体的，根据标记单元的名称可以测量各个标记单元在图像中的位置坐标，并将测量得到的位置坐标与标记单元的名称进行映射，将每组映射关系保存为标记位置文件。示例性的，通过Ebview制图软件可以输出框架布局图的GDS文件，该GDS文件中包括标记单元的名称以及标记单元的位置坐标，然后可以通过指令或者脚本将该GDS文件转化为CSV文件，CSV文件可以通过Excel进行识别，便于对标记单元的坐标进行读取和识别。
示例性实施方式中，还包括检查标记单元的位置坐标是否是所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标。具体的，所述图像的左下角为十字标记的中心点。当所述标记单元的位置坐标是所述十字标记的中心点为原点的直角坐标系中的坐标时，以此获取的标记单元的位置坐标可以直接用于量测程式的设置，减少工作量。当所述标记单元的位置坐标不是所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标时，需要将所述标记单元的位置坐标转换为所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标。例如，所述标记单元的位置坐标(x,y)是以所述图像的中心为原点的直角坐标系中获取的，所述图像的中心在所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标为(a,b)，则所述标记单元的位置坐标在所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标为(x+a,y+b)。
在步骤S130中，根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标。
示例性实施方式中，待处理标记可以为检测标记中的一个或者多个，在不同的处理流程中检测需求不同，根据当前的检测需求可以由人工确定出检测标记中的待处理标记。示例性的，当前需要处理的待处理标记可以通过人工填写在一坐标表文件中。图4示意性示出了获取待处理标记在图像中的坐标的流程图。如图4所示，该方法可以包括步骤S410、步骤S420以及步骤S430。
在步骤S410中，获取包含待处理标记的标记名称的坐标表文件，其中，所述标记名称为待处理标记对应的标记单元的名称。根据在建立检测标记的标记单元时为各个标记单元确定的名称，可以从各个标记单元中选取出需要进行处理的标记单元，将选取出的标记单元作为待处理标记，进而将选取出的标记单元的名称作为待处理标记的标记名称。示例性的，该坐标表可以如图5所示，坐标表文件500中可以包括多个列属性，其中510所示的第一列属性可以为待处理标记的标记名称，并且该坐标表中还可以包括待处理标记的坐标属性。
在步骤S420中，通过识别所述坐标表文件中的标记名称以及所述标记位置文件中的标记单元的名称，确定所述标记名称对应的目标位置。首先可以依次读取坐标表文件中的每一行数据，获取每行数据中的标记名称，然后通过获取的标记名称分别与标记位置文件中保存的各个名称进行对比，确定与标记名称匹配的标记单元，进而获取该标记单元的位置坐标，将与标记名称匹配的标记单元的位置坐标作为目标坐标。例如，图5中坐标表的第一行数据标记名称为“IMP1”，若在标记位置文件中能够匹配到该标记名称“IMP1”则可以将标记位置文件中“IMP1”对应的位置坐标作为目标坐标。
在步骤S430中，将所述标记名称对应的目标位置填充至所述坐标表文件中，以获得所述待处理标记在所述图像中的坐标。具体的，得到标记名称对应的目标位置后，可以将标记名称对应的目标位置填充至坐标表中对应的单元格中，从而得到完整的坐标表。通过坐标表中待处理标记的坐标可以设置量测时的程式“recipe”，实现对光掩模版上检测标记的精确量测，从而快速找出检测标记在晶片切割道上的位置，以进行量测。
示例性实施方式中，通过表格处理工具可以从标记位置文件中抓取出待处理标记对应的坐标。表格处理工具可以通过对比表格来确定出两个文件中的相同标记，进而输出相同标记的数据。例如，坐标表可以为一Excel表格，标记位置文件可以为一CSV文件，通过Excel VBA可以来识别坐标表文件中的标记名称，并且Excel VBA可以读取CSV文件的内容，并将标记位置文件中相同格的数据抓取出来，转化到坐标表Excel表中。本实施方式中，无需人工一一去查询各个待处理标记的坐标，可以从标记位置文件中批量导出所有待处理标记的坐标，在待处理标记数量较多时，可以大大提高效率，快速得出标记在图像中的坐标。
进一步的，本示例实施方式中，还提供了一种标记坐标确定装置，用于执行本公开上述的标记坐标确定方法。该装置可以应用于一服务器或终端设备。
参考图6所示，该标记坐标确定装置600可以包括：标记生成模块610、标记位置确定模块620以及标记坐标获取模块630，其中：
标记生成模块610，用于生成放置检测标记的标记单元。
标记位置确定模块620，用于将所述检测标记以及所述标记单元设置于光掩模版的图像中，获得所述图像的标记位置文件，其中，所述标记位置文件中包括所述标记单元在所述图像中的位置坐标。
标记坐标获取模块630，根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的坐标。
在本公开的一种示例性实施例中，标记生成模块610可以具体用于：基于所述检测标记的中心位置生成所述标记单元，以使所述标记单元的中心位置与所述检测标记的中心位置相重合。
在本公开的一种示例性实施例中，所述装置600还可以包括名称确定模块，用于确定各个所述标记单元的名称，以通过所述标记单元的名称生成所述标记位置文件。
在本公开的一种示例性实施例中，标记位置确定模块620可以包括位置输出单元以及位置映射单元，其中：
位置输出单元，用于通过制图工具输出所述光掩模版的图像中所述标记单元的位置坐标。
位置映射单元，用于通过所述标记单元的名称构建所述标记单元与所述位置坐标的映射关系，以生成标记位置文件。
在本公开的一种示例性实施例中，标记坐标获取模块630可以包括坐标表获取单元、名称识别单元以及坐标填充单元，其中：
坐标表获取单元，用于获取包含待处理标记的标记名称的坐标表文件，其中，所述标记名称为待处理标记对应的标记单元的名称。
名称识别单元，用于通过识别所述坐标表文件中的标记名称以及所述标记位置文件中的标记单元的名称，确定所述标记名称对应的目标坐标。
坐标填充单元，用于将所述标记名称对应的目标坐标填充至所述坐标表文件中，以获得所述待处理标记在所述图像中的坐标。
在本公开的一种示例性实施例中，标记坐标获取模块630可以具体配置为：通过表格处理工具从所述标记位置文件中抓取出所述待处理标记对应的坐标。
在本公开的一种示例性实施例中，标记位置确定模块620被配置为：将所述检测标记以及所述标记单元设置于所述光掩模版的图像中的目标区域，其中所述目标区域至少包括光掩模版的切割道区域。
在本公开的一种示例性实施例中，所述装置还包括标记检测模块，用于：检查所述标记单元的位置坐标是否是所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标。
在本公开的一种示例性实施例中，所述标记检测模块还用于：若所述标记单元的位置坐标不是所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标，则将所述标记单元的位置坐标转换为所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标。
由于本公开的示例实施例的标记坐标确定装置的各个功能模块与上述标记坐标确定方法的示例实施例的步骤对应，因此对于本公开装置实施例中未披露的细节，请参照本公开上述的标记坐标确定方法的实施例。
参阅图7，图7示出了可以应用本公开实施例的一种标记坐标确定方法及标记坐标确定装置的示例性应用环境的系统架构的示意图。
如图7所示，系统架构700可以包括终端设备701、702、703中的一个或多个，网络704和服务器705。网络704用以在终端设备701、702、703和服务器705之间提供通信链路的介质。网络704可以包括各种连接类型，例如有线、无线通信链路或者光纤电缆等等。
终端设备701、702、703可以是具有显示屏的各种电子设备，包括但不限于台式计算机、便携式计算机、智能手机和平板电脑等等。应该理解，图7中的终端设备、网络和服务器的数目仅仅是示意性的。根据实现需要，可以具有任意数目的终端设备、网络和服务器。比如服务器705可以是多个服务器组成的服务器集群等。
本公开实施例所提供的标记坐标确定方法通常由终端设备701、702、703执行，相应的，标记坐标确定装置可以设置于终端设备701、702、703中。
图8示出了适于用来实现本公开实施例的电子设备的计算机系统的结构示意图。
需要说明的是，图8示出的电子设备的计算机系统800仅是一个示例，不应对本公开实施例的功能和使用范围带来任何限制。
如图8所示，计算机系统800包括中央处理单元(CPU)801，其可以根据存储在只读存储器(ROM)802中的程序或者从存储部分808加载到随机访问存储器(RAM)803中的程序而执行各种适当的动作和处理。在RAM 803中，还存储有系统操作所需的各种程序和数据。CPU801、ROM 802以及RAM 803通过总线804彼此相连。输入/输出(I/O)接口805也连接至总线804。
以下部件连接至I/O接口805：包括键盘、鼠标等的输入部分806；包括诸如阴极射线管(CRT)、液晶显示器(LCD)等以及扬声器等的输出部分807；包括硬盘等的存储部分808；以及包括诸如LAN卡、调制解调器等的网络接口卡的通信部分809。通信部分809经由诸如因特网的网络执行通信处理。驱动器810也根据需要连接至I/O接口805。可拆卸介质811，诸如磁盘、光盘、磁光盘、半导体存储器等等，根据需要安装在驱动器810上，以便于从其上读出的计算机程序根据需要被安装入存储部分808。
特别地，根据本公开的实施例，下文参考流程图描述的过程可以被实现为计算机软件程序。例如，本公开的实施例包括一种计算机程序产品，其包括承载在计算机可读介质上的计算机程序，该计算机程序包含用于执行流程图所示的方法的程序代码。在这样的实施例中，该计算机程序可以通过通信部分809从网络上被下载和安装，和/或从可拆卸介质811被安装。在该计算机程序被中央处理单元(CPU)801执行时，执行本申请的方法和装置中限定的各种功能。
需要说明的是，本公开所示的计算机可读介质可以是计算机可读信号介质或者计算机可读存储介质或者是上述两者的任意组合。计算机可读存储介质例如可以是——但不限于——电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。计算机可读存储介质的更具体的例子可以包括但不限于：具有一个或多个导线的电连接、便携式计算机磁盘、硬盘、随机访问存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦式可编程只读存储器(EPROM或闪存)、光纤、便携式紧凑磁盘只读存储器(CD-ROM)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。在本公开中，计算机可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质，该程序可以被指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。而在本公开中，计算机可读的信号介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号，其中承载了计算机可读的程序代码。这种传播的数据信号可以采用多种形式，包括但不限于电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。计算机可读的信号介质还可以是计算机可读存储介质以外的任何计算机可读介质，该计算机可读介质可以发送、传播或者传输用于由指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。计算机可读介质上包含的程序代码可以用任何适当的介质传输，包括但不限于：无线、电线、光缆、RF等等，或者上述的任意合适的组合。
附图中的流程图和框图，图示了按照本公开各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段、或代码的一部分，上述模块、程序段、或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，框图或流程图中的每个方框、以及框图或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。
描述于本公开实施例中所涉及到的单元可以通过软件的方式实现，也可以通过硬件的方式来实现，所描述的单元也可以设置在处理器中。其中，这些单元的名称在某种情况下并不构成对该单元本身的限定。
作为另一方面，本申请还提供了一种计算机可读介质，该计算机可读介质可以是上述实施例中描述的电子设备中所包含的；也可以是单独存在，而未装配入该电子设备中。上述计算机可读介质承载有一个或者多个程序，当上述一个或者多个程序被一个该电子设备执行时，使得该电子设备实现如下述实施例中所述的方法。例如，所述的电子设备可以实现如图1和图2所示的各个步骤等。
应当注意，尽管在上文详细描述中提及了用于动作执行的设备的若干模块或者单元，但是这种划分并非强制性的。实际上，根据本公开的实施方式，上文描述的两个或更多模块或者单元的特征和功能可以在一个模块或者单元中具体化。反之，上文描述的一个模块或者单元的特征和功能可以进一步划分为由多个模块或者单元来具体化。
本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其它实施方案。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由下面的权利要求指出。
应当理解的是，本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (13)

1.一种标记坐标确定方法，其特征在于，包括：
生成用于放置检测标记的标记单元；
将所述检测标记以及所述标记单元设置于光掩模版的图像中，获得所述图像的标记位置文件，其中，所述标记位置文件中包括所述标记单元在所述图像中的位置坐标；
根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述生成用于放置检测标记的标记单元包括：
基于所述检测标记的中心位置生成所述标记单元，以使所述标记单元的中心位置与所述检测标记的中心位置相重合。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述检测标记为多个，每个所述检测标记对应一个所述标记单元。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，生成用于放置检测标记的标记单元之后，还包括：
确定所述标记单元的名称，以通过所述标记单元的名称生成所述标记位置文件。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，获得所述图像的标记位置文件包括：
通过制图工具输出所述光掩模版的图像中所述标记单元的位置坐标；
通过所述标记单元的名称构建所述标记单元与所述位置坐标的映射关系，以生成标记位置文件。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标包括：
获取包含待处理标记的标记名称的坐标表文件，其中，所述标记名称为待处理标记对应的标记单元的名称；
通过识别所述坐标表文件中的标记名称以及所述标记位置文件中的标记单元的名称，确定所述标记名称对应的目标坐标；
将所述标记名称对应的目标坐标填充至所述坐标表文件中，以获得所述待处理标记在所述图像中的坐标。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标包括：
通过表格处理工具从所述标记位置文件中抓取出所述待处理标记对应的坐标。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，将所述检测标记以及所述标记单元设置于光掩模版的图像中包括：
将所述检测标记以及所述标记单元设置于所述光掩模版的图像中的目标区域，其中所述目标区域至少包括光掩模版的切割道区域。
9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：检查所述标记单元的位置坐标是否是所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，若所述标记单元的位置坐标不是所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标，则将所述标记单元的位置坐标转换为所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标。
11.一种标记坐标确定装置，其特征在于，包括：
标记生成模块，用于生成放置检测标记的标记单元；
标记位置确定模块，用于将所述检测标记以及所述标记单元设置于光掩模版的图像中，获得所述图像的标记位置文件，其中，所述标记位置文件中包括所述标记单元在所述图像中的位置坐标；
标记坐标获取模块，根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标。
12.一种计算机可读介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1-10任一项所述的方法。
13.一种电子设备，其特征在于，包括：
处理器；以及
存储器，用于存储所述处理器的可执行指令；
其中，所述处理器配置为经由执行所述可执行指令来执行权利要求1-10任一项所述的方法。
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