JP6132499B2 - 検査装置、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、35U.S.C.§119(e)に基づき、2011年10月3日出願の米国仮特許出願第61/542,440号、2011年10月12日出願の米国仮特許出願第61/546,273号、および、2011年10月31日出願の米国仮特許出願第61/553,458号の利益を主張する。これらの米国仮特許出願は、参照によりそれらの全体が本明細書に組み込まれる。
本明細書に組み込まれ、かつ本明細書の一部を形成する添付の図面は、本発明の実施形態を例示し、明細書の記載と共に、本発明の原理をさらに説明し、当業者が本発明を成し、かつ使用することを可能にするものである。
[反射屈折対物系の実施形態例]
[0087] r=x2+y2、
[0088] cは、表面の曲率(1/RDY)、
[0089] kは、コーニック定数、そして、
[0090] A〜Jは、非球面係数である。
[0104] CUXおよびCUYは、それぞれ、xおよびy方向の曲率である。
[0105] KXおよびKYは、それぞれ、xおよびy方向のコーニック定数であり、式1のkと同様に偏心に対応し、
[0106] AR、BR、CRおよびDRは、コーニックからの4次、6次、8次、10次の回折次数の変形の回転対称部分である。
[0107] AP、BP、CPおよびDPはコーニックからの4次、6次、8次、10次の回折次数の変形の非回転対称成分である。
[屈折対物系の実施形態例]
Claims (13)
- ウェーハの寸法パラメータを光学的に決定するための検査装置であって、
第1ビームを受け、かつ、そこから第2および第3ビームを生成する照明システムと、
前記第2ビームを、前記ウェーハから反射するよう誘導する反射屈折対物系と、
前記反射した第2ビームによって作り出された第1の像を検出する第1センサと、
前記第3ビームを前記ウェーハから反射するよう誘導する屈折対物系と、
前記反射した第3ビームによって作り出された第2の像を検出する第2センサと、
を備え、
リソグラフィプロセスを監視するために前記第2ビームが前記ウェーハのクリティカルディメンジョン測定値を提供するように構成されかつ前記第3ビームが前記ウェーハのオーバーレイ測定値を提供するように構成される、検査装置。 - 前記照明システムは、リソグラフィプロセスを監視するために前記第2ビームが前記ウェーハのクリティカルディメンジョン測定値を提供するように構成されかつ前記第3ビームが前記ウェーハのオーバーレイ測定値を提供するように構成されるように、前記第1ビームを前記第2ビームおよび前記第3ビームへと分割するビームスプリッタをさらに備える、請求項1に記載の検査装置。
- 放射源から順に、
光軸に沿って調節可能なレンズダブレットと、
回転可能なプリズムポラライザと、
瞳画成アパーチャと、
前記瞳画成アパーチャを前記反射屈折対物系の入射瞳の平面内および前記屈折対物系の入射瞳の平面内に結像するミラーリレー光学システムと、
をさらに備える、請求項1又は2に記載の検査装置。 - 前記第1ビームを、前記反射屈折対物系および前記屈折対物系にそれぞれ誘導される前記第2ビームと前記第3ビームとに分割するビームスプリッタをさらに備える、請求項1記載の検査装置。
- 前記反射した第3ビームによって作り出された第3の像を検出する第3センサをさらに備え、
前記ウェーハのオーバーレイ寸法測定値が前記第3センサを用いて決定される、請求項1乃至4のいずれかに記載の検査装置。 - 前記第2ビームは第1スペクトル範囲を有し、前記第3ビームは第1スペクトル範囲とは異なる第2スペクトル範囲を有し、前記検査装置の動作スペクトル範囲は前記第1および第2スペクトル範囲を含む、請求項1乃至5のいずれかに記載の検査装置。
- ウェーハの寸法パラメータを光学的に決定するための検査装置であって、
第1ビームを受け、かつ、そこから第2および第3ビームを生成する照明システムと、
前記第2ビームを、前記ウェーハから反射するよう誘導する反射屈折対物系と、
前記反射した第2ビームによって作り出された第1の像を検出する第1センサと、
前記第3ビームを前記ウェーハから反射するよう誘導する屈折対物系と、
前記反射した第3ビームによって作り出された第2の像を検出する第2センサと、
を備え、
前記検査装置は前記第1の像を使用して前記ウェーハの第1クリティカルディメンジョン測定値を決定するように構成され、
前記検査装置は前記第2の像を使用して第2クリティカルディメンジョン測定値を決定するように構成される、検査装置。 - 前記屈折対物系は、
前方および後方メニスカスレンズを有する前方レンズ群と、
前記屈折対物系の前方から後方に向かう順に、第1ダブレット、第2ダブレット、トリプレット、およびダブレットを有する中間レンズ群と、
負のダブレットを有する後方レンズ群と、
を備える、請求項1乃至7のいずれかに記載の検査装置。 - 前記中間レンズ群の前記トリプレットが、前方正レンズ、中間負レンズ、および後方正レンズを備え、
前記前方正レンズが重フリントを備える、請求項8に記載の検査装置。 - 前記反射屈折対物系によって誘発される像面湾曲を減少させる少なくとも2つのミラーをさらに備える、請求項1乃至9のいずれかに記載の検査装置。
- 基板パラメータを決定する方法であって、
第1ビームを、該第1ビームが前記基板から反射するように、反射屈折対物系を通して前記基板上に誘導することと、
前記反射した第1ビームを使用して前記基板の第1の像を形成することと、
前記第1の像を使用して前記基板の第1パラメータを決定することと、
第2ビームを、該第2ビームが前記基板から反射するように、屈折対物系を通して前記基板上に誘導することと、
前記反射した第2ビームを使用して前記基板の第2の像を形成することと、
前記第2の像を使用して前記基板の第2パラメータを決定することと、
を含み、
前記第1パラメータが第1クリティカルディメンジョン測定値であり、
前記第2パラメータが第2クリティカルディメンジョン測定値である、方法。 - 前記反射した第2ビームを使用して前記基板の第3の像を形成することと
前記第3の像を使用して前記基板の第3パラメータを決定することと、
をさらに含む、請求項11に記載の方法。 - 第3ビームから前記第1および第2ビームを生成することをさらに含み、
前記第3ビームから前記第1および第2ビームを生成することは、ビームスプリッタを使用して前記第3ビームを前記第1および第2ビームへと分割することを含む、請求項11又は12に記載の方法。
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