JP5204062B2 - 球状色収差を補正する半導体検査装置、及び球状色収差の補正方法 - Google Patents
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Description
1.ステップモードでは、サポート構造(例えばマスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTは基本的に静止状態に保たれ、一方、放射ビームBに与えられたパターン全体がターゲット部分Cの上に一度に投影される(すなわち単一の静止露光)。次いで、別のターゲット部分Cが露光され得るように、基板テーブルWTがX方向および/またはY方向に移動される。
2.スキャンモードでは、サポート構造(例えばマスクテーブル)MTと基板テーブルWTが同期してスキャンされ、一方、放射ビームBに与えられたパターンがターゲット部分Cの上に投影される(すなわち単一の動的露光)。サポート構造(例えばマスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの拡大(縮小)特性および像反転特性によって決定され得る。
3.別のモードでは、サポート構造(例えばマスクテーブル)MTがプログラマブルパターニングデバイスを保持して実質的に静止状態に保たれ、基板テーブルWTが移動またはスキャンされ、その一方で放射ビームBに与えられたパターンがターゲット部分Cの上に投影される。パルス放射源SOが使用されてよく、プログラマブルパターニングデバイスは、基板テーブルWTの各動作の後に、またはスキャン中連続した放射パルスの間に必要に応じて更新される。この動作モードは、本明細書で言及されたタイプのプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスク無しリソグラフィに容易に適用され得る。
Claims (15)
- 所与の波長で光を伝送するように構成された照明システムと、
前記照明システムから前記光を受けるように構成された無限焦点光学システムと、
前記無限焦点光学システムから光を受けて、前記所与の波長で表面へ光を伝送するように構成された対物レンズシステムとを備える半導体検査システムであって、
前記無限焦点光学システムが、当該半導体検査システムの球状色収差がユーザ定義の許容範囲を満たすように、当該半導体検査システムの公称波長が前記所与の波長と等しくないときもたらされる球状色収差を補償するように前記無限焦点光学システムの光軸方向に沿って移動可能な少なくとも1枚のレンズを備える半導体検査システム。 - 前記所与の波長が、約126nmから428nmの遠紫外線(DUV)の範囲内にある請求項1に記載の半導体検査システム。
- 前記表面から反射された光を検出するように構成されたディテクタをさらに備える請求項1又は請求項2に記載の半導体検査システム。
- 前記可動レンズの位置を制御するように構成されたコントローラをさらに備える請求項1乃至請求項3のうち何れか1項に記載の半導体検査システム。
- 前記可動レンズが融解石英から成る請求項1乃至請求項4のうち何れか1項に記載の半導体検査システム。
- 前記可動レンズが、約0.002から0.01の範囲内の屈折力の絶対値を有する請求項1乃至請求項5のうち何れか1項に記載の半導体検査システム。
- 前記可動レンズが複数の可動レンズを備える請求項1乃至請求項6のうち何れか1項に記載の半導体検査システム。
- 半導体検査システムであって、1つの照明波長で光ビームを伝送するように構成された照明システムと、
前記照明システムから前記光ビームを受けて当該検査システム向けの公称波長で前記光ビームを処理するように構成された無限焦点光学システムと、
前記無限焦点光学システムから前記光ビームを受けて表面へ前記光ビームを伝送するように構成された対物レンズシステムとを備え、
前記無限焦点光学システムが、当該検査システムの公称波長を変化させて前記照明波長と一致させるように前記無限焦点光学システムの光軸方向に沿って移動可能な少なくとも1枚のレンズを備える半導体検査システム。 - 前記照明波長が、約126nmから428nmの遠紫外線(DUV)の範囲内にある請求項8に記載の半導体検査システム。
- 前記表面から反射された光を検出するように構成されたディテクタをさらに備える請求項8又は請求項9に記載の半導体検査システム。
- 前記可動レンズの位置を求めるように構成されたコントローラをさらに備える請求項8乃至請求項10のうち何れか1項に記載の半導体検査システム。
- 前記可動レンズがズーミング可能なレンズを備える請求項8乃至請求項11のうち何れか1項に記載の半導体検査システム。
- 半導体検査システム内の光源の波長ずれの影響を低減するための方法であって、
前記検査システム内の照明システムの照明波長を求めるステップと、
前記半導体検査システムの公称波長を求めるステップと、
前記公称波長が変化して前記照明波長と一致するように前記半導体検査システムの無限焦点光学システム内の少なくとも1枚のレンズを前記無限焦点光学システムの光軸方向に沿って移動することにより球状色収差を実質的に補正するステップとを含む方法。 - 前記検査システムの前記球状色収差がユーザ定義の許容範囲を満たすように前記可動レンズの位置を求めるステップをさらに含む請求項13に記載の方法。
- 前記半導体検査システムの前記無限焦点光学システム内の前記少なくとも1枚のレンズとしてズーミング可能なレンズを設けるステップをさらに含む請求項13又は請求項14に記載の方法。
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