JPS6382933U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6382933U JPS6382933U JP17661286U JP17661286U JPS6382933U JP S6382933 U JPS6382933 U JP S6382933U JP 17661286 U JP17661286 U JP 17661286U JP 17661286 U JP17661286 U JP 17661286U JP S6382933 U JPS6382933 U JP S6382933U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- substrate
- exposure apparatus
- projection exposure
- plate
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 1
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- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
Description
第１図は本案の一実施例の説明図、第２図は露
光光学系における再反射光の発生を示す説明図、
第３図は露光光学系内における再反射光による迷
光が露光面の光強度分布に影響を及ぼすことを示
す説明図である。 １……コンデンサーレンズ、２……縮小投影レ
ンズ、３……原画パターンレテイクル、４……露
光ウエハ、５……フライアイ、６……楕円面鏡、
７……高圧水銀ランプ、８，１０，１２……偏光
板、９，１１，１３……λ／４板。
光光学系における再反射光の発生を示す説明図、
第３図は露光光学系内における再反射光による迷
光が露光面の光強度分布に影響を及ぼすことを示
す説明図である。 １……コンデンサーレンズ、２……縮小投影レ
ンズ、３……原画パターンレテイクル、４……露
光ウエハ、５……フライアイ、６……楕円面鏡、
７……高圧水銀ランプ、８，１０，１２……偏光
板、９，１１，１３……λ／４板。
Claims (1)
- パターンが形成されている基板と、この基板を
均一に照明する照明装置と、前記基板を第２の物
体上に結像させる結像光学系とからなる露光光学
系を備えた投影露光装置に於いて、前記露光光学
系の各構成要素間に、偏光板及びλ／４板が配置
されていることを特徴とする投影露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17661286U JPS6382933U (ja) | 1986-11-19 | 1986-11-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17661286U JPS6382933U (ja) | 1986-11-19 | 1986-11-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6382933U true JPS6382933U (ja) | 1988-05-31 |
Family
ID=31117023
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17661286U Pending JPS6382933U (ja) | 1986-11-19 | 1986-11-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6382933U (ja) |
-
1986
- 1986-11-19 JP JP17661286U patent/JPS6382933U/ja active Pending
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