JPS591216Y2 - 高輝度フラッシュ光源 - Google Patents
高輝度フラッシュ光源Info
- Publication number
- JPS591216Y2 JPS591216Y2 JP17028776U JP17028776U JPS591216Y2 JP S591216 Y2 JPS591216 Y2 JP S591216Y2 JP 17028776 U JP17028776 U JP 17028776U JP 17028776 U JP17028776 U JP 17028776U JP S591216 Y2 JPS591216 Y2 JP S591216Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- condenser
- light source
- mirror
- flash light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
- Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は高輝度フラッシュ光源、さらに詳しくはホトレ
ジスタに露光するための高輝度フラッシュ光源に関する
ものである。
ジスタに露光するための高輝度フラッシュ光源に関する
ものである。
従来ホトレジスト露光用の光源としては１個の水銀ラン
プが多く用いられてきたがただ１個の水銀ランプでは露
光時間が長くかかるために高速度焼付けができないとい
う欠点をもっている。
プが多く用いられてきたがただ１個の水銀ランプでは露
光時間が長くかかるために高速度焼付けができないとい
う欠点をもっている。
本考案の目的はこの水銀ランプの輝度の弱いという欠点
を解消した高輝度フラッシュ光源を提供することにある
。
を解消した高輝度フラッシュ光源を提供することにある
。
この目的を達成するため本考案にか・る高輝度フラッシ
ュ光源は同心円状に並べられ同時に発光させる複数個の
キセノンフラッシュランプと、該各々のキセノンフラッ
シュランプからの光を集束する複数個のコンデンサレン
ズと、該集束された各々の光を集光器に反射するミラー
と、該ミラーから反射された光を集光する集光器とから
なり、該集光器により集光された光によりレンズ系を介
しホトレジストに露光することを特徴とするものである
。
ュ光源は同心円状に並べられ同時に発光させる複数個の
キセノンフラッシュランプと、該各々のキセノンフラッ
シュランプからの光を集束する複数個のコンデンサレン
ズと、該集束された各々の光を集光器に反射するミラー
と、該ミラーから反射された光を集光する集光器とから
なり、該集光器により集光された光によりレンズ系を介
しホトレジストに露光することを特徴とするものである
。
以下本考案にかかる高輝度フラッシュ光源の実施例につ
いて図面により詳細に説明する。
いて図面により詳細に説明する。
本考案は何部かのキセノンフラッシュランプを同時発光
させてキセノンフラッシュランプの輝度の弱いのを解消
したものであって第１図にその実施例を示す。
させてキセノンフラッシュランプの輝度の弱いのを解消
したものであって第１図にその実施例を示す。
同図において１ａ〜１ｎは同心円状に並べられ同時に発
光する複数個のキセノンフラッシュランプである。
光する複数個のキセノンフラッシュランプである。
このキセノンフラッシュランプ１ａ〜１ｎから出た光は
コンテ゛ンサレンズ２ａ〜２ｎにより集束されてミラー
３により反射されて集光器４により集光されて原画（レ
チクル）５をへて鏡筒６に導入される。
コンテ゛ンサレンズ２ａ〜２ｎにより集束されてミラー
３により反射されて集光器４により集光されて原画（レ
チクル）５をへて鏡筒６に導入される。
この鏡筒６は一種のレンズ系であって、この鏡筒を出た
光はガラス基板７ａ、金属（クロム）７ｂおよびホトレ
ジスト７Ｃよりなる乾板７のホトレジストを露光する。
光はガラス基板７ａ、金属（クロム）７ｂおよびホトレ
ジスト７Ｃよりなる乾板７のホトレジストを露光する。
第２図は第１図における集光器４の１つの実施例を示し
、抛物鏡４ａを用いた場合を示しているが、この集光器
４は第２図の実施例に限定されるもので゛なくブリズ゛
ム、ミラー、オプチカルファイバーる。
、抛物鏡４ａを用いた場合を示しているが、この集光器
４は第２図の実施例に限定されるもので゛なくブリズ゛
ム、ミラー、オプチカルファイバーる。
以上詳細に説明したように本考案はキセノンフラッシュ
ランプを複数個同時に発光させることにより１個のキセ
ノンフラッシュランプの輝度の弱い点を解消したもので
あって、これによってホトレジストの露光時間を著るし
く短縮できるので高速度焼付けを可能とし本考案にかか
る効果は頗る大である。
ランプを複数個同時に発光させることにより１個のキセ
ノンフラッシュランプの輝度の弱い点を解消したもので
あって、これによってホトレジストの露光時間を著るし
く短縮できるので高速度焼付けを可能とし本考案にかか
る効果は頗る大である。
第１図は本考案にかかる高輝度フラッシュ光源、第２図
は第１図における集光器の１つの例である。 図において １ａ〜１ｎがキセノンフラッシュランプ、
３がミラー、４が集光器である。
は第１図における集光器の１つの例である。 図において １ａ〜１ｎがキセノンフラッシュランプ、
３がミラー、４が集光器である。
Claims (1)
- 同心円状に並べられ同時に発光させる複数個のキセノン
フラッシュランプと、該各々のキセノンフラッシュラン
プからの光を集束する複数個のコンテ゛ンサレンズと、
該集束された各々の光を集光器に反射するミラーと、該
ミラーから反射された光を集光する集光器とからなり、
該集光器により集光された光によりレンズ系を介しホト
レジストに露光することを特徴とする高輝度フラッシュ
光源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17028776U JPS591216Y2 (ja) | 1976-12-21 | 1976-12-21 | 高輝度フラッシュ光源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17028776U JPS591216Y2 (ja) | 1976-12-21 | 1976-12-21 | 高輝度フラッシュ光源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5387646U JPS5387646U (ja) | 1978-07-19 |
| JPS591216Y2 true JPS591216Y2 (ja) | 1984-01-13 |
Family
ID=28777844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17028776U Expired JPS591216Y2 (ja) | 1976-12-21 | 1976-12-21 | 高輝度フラッシュ光源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS591216Y2 (ja) |
-
1976
- 1976-12-21 JP JP17028776U patent/JPS591216Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5387646U (ja) | 1978-07-19 |
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