JP3168616B2 - 半導体基板露光装置 - Google Patents

半導体基板露光装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体集積回路製造装
置、特に半導体基板露光装置照明部に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の半導体基板露光装置照明
部は、図３に示すように、中空の筐体３０６の下部に照
明窓３０５が開口され、筐体３０６内に１個の水銀ラン
プ３０１が設けられ、水銀ランプ３０１からの光を３０
２で集光させて反射鏡３０３により照明窓３０５から出
射するようになっていた。３０４は水銀ランプ３０１を
点灯させるための電源である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の半導体
基板露光装置照明部は、図３に示すようにその照明部内
に光源である水銀ランプを１個のみ有していたため、照
明部から発せられる光の照度が低く、フォトレジストを
塗布し、半導体基板（以下、ウェハーという）を露光す
る際に、ある所定の露光量を得るために長時間の露光時
間が必要であった。そのため、半導体基板露光装置の単
位時間あたりの処理能力を低下させるという欠点があ
り、特に大口径ウェハーに対しては、このような半導体
基板露光装置の処理能力低下はコストの観点から非常に
不利である。
【０００４】本発明の目的は前記課題を解決した半導体
基板露光装置照明部を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る半導体基板露光装置は、水銀ランプ
と、前記水銀ランプからの光を集光する第１の反射鏡
と、前記水銀ランプと前記第１の反射鏡とを結ぶ光軸上
で前記水銀ランプから見て前記第１の反射鏡のある側と
逆側に設けられ、前記集光した光を照明窓に向けて反射
させる第２の反射鏡とを有する半導体基板露光装置にお
いて、前記水銀ランプを前記光軸に沿って複数設けたも
のである。
【０００６】
【作用】本発明では、光源の個数を増やすことにより、
光量を増量して露光時間を短縮するようにしたものであ
る。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図により説明する。
【０００８】（実施例１）図１は、本発明の実施例１を
示す断面図である。
【０００９】図１において、中空の筐体１０６の一部に
照明窓１０５が開口され、筐体１０６内には、光源と、
光源からの光を集光する反射鏡１０２と、光源及び反射
鏡１０２からの光を照明窓１０５に向けて反射，出射す
る反射鏡１０３が設けられている。
【００１０】本実施例では、前記光源として２個の水銀
ランプ１０１ａ，１０１ｂを有しており、照明窓１０５
から出射される光量を増量したものである。
【００１１】光源である水銀ランプ１０１ａ，１０１ｂ
が２個あり各々電源１０４に接続されており、２個の水
銀ランプ１０１ａ，１０１ｂから発せられた光は、反射
鏡１０２によって集光され、反射鏡１０３によって照明
窓１０５へ導かれる。
【００１２】上記構造の照明部より発せられた光によっ
てウェハーを露光する場合、光の照度が高いため、従来
の約２分の１の露光時間で所定の露光量を得ることがで
きる。その結果、半導体基板露光装置の単位時間あたり
の処理能力は約１．７倍と向上する。
【００１３】（実施例２）図２は、本発明の実施例２を
示す断面図である。
【００１４】本実施例では、光源として３個の水銀ラン
プ１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃを有しており、各々電
源１０４に接続されている。水銀ランプ１０１ａ，１０
１ｂ，１０１ｃから発せられた光は、反射鏡１０２によ
って集光され、反射鏡１０３によって照明窓１０６へ導
かれる。
【００１５】上記構造の照明部より発せられる光は、さ
らに照度が高くなり、従来の約３分の１の露光時間で所
定の露光量を得ることができる。その結果、半導体基板
露光装置の単位時間あたりの処理能力は約２．５倍と向
上する。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明の半導体基板
露光装置照明部は、その照明部内に光源を２個以上有し
ているため、照明部から発せられる光の照度が高くな
り、ウェハーを露光する際に、比較的短時間の露光時間
で所定の露光量を得ることができる。このため、半導体
基板露光装置の単位時間あたりの処理能力を向上するこ
とができ、特に大口径ウェハーに対しては、このような
半導体基板露光装置の処理能力向上はコストの観点から
非常に有利である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１を示す断面図である。
【図２】本発明の実施例２を示す断面図である。
【図３】従来例を示す断面図である。
【符号の説明】
１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃ 水銀ランプ １０２，１０３ 反射鏡 １０４ 電源 １０５ 照明窓 １０６ 筐体

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 水銀ランプと、前記水銀ランプからの光
    を集光する第１の反射鏡と、前記水銀ランプと前記第１
    の反射鏡とを結ぶ光軸上で前記水銀ランプから見て前記
    第１の反射鏡のある側と逆側に設けられ、前記集光した
    光を照明窓に向けて反射させる第２の反射鏡とを有する
    半導体基板露光装置において、前記水銀ランプを前記光軸に沿って複数設けたものであ
    る ことを特徴とする半導体基板露光装置。
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