KR950001868A - 조명장치 및 동장치를 사용하는 노광장치 - Google Patents

조명장치 및 동장치를 사용하는 노광장치 Download PDF

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Abstract

조명장치와 노광장치가 기재되어 있다. 각 장치는 복수개의 단면이 장방형인 요소를 2차원적으로 배치한 플라이아이요소와, 상기 요소의 긴 변방향으로 정렬한 복수의 광원상으로부터의 광을 상기 플라이아이요소에 조사하는 광조사장치를 구비하고 있다.

Description

조명장치 및 동장치를 사용하는 노광장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 제1실시예에 의한 조명장치의 개략도, 제4도는 제3도 실시예의 조명장치에 있어서의 유효광원의 광강도분포를 표시하는 개략도, 제5A-5B도는 제3도 실시예의 조명장치의 플라이아이렌즈의 미소렌즈의 구성을 표시하는 개략도.

Claims (18)

  1. 복수개의 단면이 장방형인 요소를 2차원적으로 배치한 플라이아이요소와, 그리고 상기 요소의 긴 변 방향으로 정렬한 복수의 광을 상기 플라이아이요소에 조사하는 광조사수단을 가지는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 광조사수단은 광원으로부터의 광을 분할해서 상기 복수의 광을 형성하고, 상기 장방형요소의 긴 변에 평행하고, 또한 광축을 포함하는 면을 따라서 취한 단면에 있어서 상기 장방형요소에 입사하는 광선이 광축과 이루는 최대의 각도를 θa, 상기 장방형요소의 짧은 변에 평행하고 또한 광축을 포함하는 면을 따라서 취한 단면에 있어서 상기 장방형요소가 전달할 수 있는 광선이 광축과 이루는 최대의 각도를 θbc라 할때, 상기 복수의 광을 θa〉θbc를 만족하는 입사각으로 상기 장방형요소에 입사시키는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 각 요소는 렌즈로 이루어지는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  4. 복수개의 단면이 장방형인 요소를 2차원적으로 배치한 플라이아이요소와, 그리고 상기 요소의 긴변방향으로 정렬한 복수의 광을 상기 플라이아이요소에 조사하는 광조사수단을 가지는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 광조사수단은 광원으로부터의 광을 분할해서 상기 복수의 광을 형성하고, 상기 장방형요소의 긴변에 평행하고 또한 광축을 포함하는 면을 따라서 취한 단면에 있어서 상기 장방형요소에 입사하는 광선이 광축과 이루는 최대의 각도를 θa, 상기 장방형요소의 짧은 변에 평행하고 또한 광축을 포함하는 면을 따라서 취한단면에 있어서 상기 장방형요소가 전달할 수 있는 광선이 광축과 이루는 최대의 각도를 θbc라 할때, 상기 복수의 광을 θa〉θbc를 만족하는 입사각으로 상기 장방형요소에 입사시키는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 플라이아이요소로부터의 광으로 조명된 마스크의 패턴을 상기 기판상에 결상시키는 투영광학시스테을 더 가지는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  7. 제4항에 있어서, 상기 각 요소는 렌즈로 이루어지는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  8. 복수개의 단면이 장방형인 요소를 2차원적으로 배치한 플라이아이요소와, 그리고 상기 요소의 긴 변 방향으로 정렬한 복수의 광원상으로부터의 광을 상기 플라이아이요소에 조사하는 광조사수단을 가지는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 광조사수단이 복수개의 발광부를 구비하는 램프와 이 램프로부터의 광을 반사 및 집광해서 상기 복수개의 발광부의 상을 형성하는 타원경을 가지는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 광조사수단이 복수개의 램프와 이 복수개의 램프로부터의 광을 반사 및 집광해서 각 램프의 발광부의 상을 형성하는 복수개의 타원경을 가지는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  11. 제8항에 있어서, 상기 광조사수단이 복수개의 램프와 이 복수개의 램프로부터의 광을 반사 및 집광해서 각 램프의 발광부의 상을 형성하는 단일의 타원경을 가지는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  12. 제8항에 있어서, 상기 각 요소는 렌즈로 이루어지는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  13. 복수개의 단면이 장방형인 요소를 2차원적으로 배치한 플라이아이요소와, 그리고 상기 요소의 긴 변 방향으로 정렬한 복수의 광원상으로부터의 광을 상기 플라이아이요소에 조사하는 광조사수단을 가지는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 광조사수단이 복수개의 발광부를 구비하는 램프와, 이 램프로부터의 광을 반사 및 집광해서 상기 복수개의 발광부의 상을 형성하는 타원경을 가지는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  15. 제13항에 있어서, 상기 광조사수단이 복수개의 램프와 이 복수개의 램프로부터의 광을 반사 및 집광해서 각 램프의 발광부의 상을 형성하는 복수개의 타원경을 가지는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  16. 제13항에 있어서, 상기 광조사수단이 복수개의 램프와 이 복수개의 램프로부터의 광을 반사 및 집광해서 각 램프의 발광부의 상을 형성하는 단일 타원경을 가지는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  17. 제13항에 있어서, 상기 각 요소는 렌즈로 이루어지는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  18. 청구범위 제1항 내지 청구범위 제17항중의 어느 하나의 항의 조명장치 또는 노광장치를 사용해서 장치를 제조하는 것을 특징으로 하는 장치 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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