JPS622617A - 照明装置 - Google Patents
照明装置Info
- Publication number
- JPS622617A JPS622617A JP60142912A JP14291285A JPS622617A JP S622617 A JPS622617 A JP S622617A JP 60142912 A JP60142912 A JP 60142912A JP 14291285 A JP14291285 A JP 14291285A JP S622617 A JPS622617 A JP S622617A
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- JP
- Japan
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- light
- exposure
- optical fiber
- optical fibers
- pressure mercury
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
- G03F7/7005—Production of exposure light, i.e. light sources by multiple sources, e.g. light-emitting diodes [LED] or light source arrays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体及び電子回路等の形成に用いられる露
光装置の露光用の照明装置に関するものである。
光装置の露光用の照明装置に関するものである。
従来の技術
近年、半導体製造におけるパターンの一括露光は反射型
投影露光装置や縮小型霧光装置によって行なわれ、その
露光用照明装置は１つの点光源ラングで構成されている
。以下図面を参照しながべ上述した従来の露光用の照明
装置について説明する。
投影露光装置や縮小型霧光装置によって行なわれ、その
露光用照明装置は１つの点光源ラングで構成されている
。以下図面を参照しながべ上述した従来の露光用の照明
装置について説明する。
第４図は、例えば１：１反射型投影露光装置の構成を示
したものである。点光源１のランプ光を反射鏡２，３，
４．５で反射させ、スリット６を通過した円弧スリット
状照明光７をマスク８上に照射し、マスク８上のパター
ンを凹面鏡９．凸面鏡１０からなる光学系を経てウェハ
１１上に投影するものであ、る。
したものである。点光源１のランプ光を反射鏡２，３，
４．５で反射させ、スリット６を通過した円弧スリット
状照明光７をマスク８上に照射し、マスク８上のパター
ンを凹面鏡９．凸面鏡１０からなる光学系を経てウェハ
１１上に投影するものであ、る。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記のような構成では、反射鏡２．３．４
．５やスリット６の使用によりランプ１の出力光の利用
効率が低く、またランプ１０大型化が困難なために、紫
外線強度を高くすることができず、露光時間が長くなる
という欠点を有していた。さらに多数の複雑な曲面の鏡
を必要とするので、製作コストが高く、光軸の調整や光
強度の均−化も困難であるという欠点を有していた。
．５やスリット６の使用によりランプ１の出力光の利用
効率が低く、またランプ１０大型化が困難なために、紫
外線強度を高くすることができず、露光時間が長くなる
という欠点を有していた。さらに多数の複雑な曲面の鏡
を必要とするので、製作コストが高く、光軸の調整や光
強度の均−化も困難であるという欠点を有していた。
本発明は上記問題点に鑑み、簡単な構成で、コストが低
く、露光時間が短かく、調整も容易な露光用の照明装置
を提供するものである。
く、露光時間が短かく、調整も容易な露光用の照明装置
を提供するものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の露光用の照明装置
は、少くとも２つ以上の点光源ランプと、入射端が複数
に分岐し、射出端が１つにまとめられた光ファイバー束
を備えたものである。
は、少くとも２つ以上の点光源ランプと、入射端が複数
に分岐し、射出端が１つにまとめられた光ファイバー束
を備えたものである。
作 用
本発明は上記した構成によって、少くとも２つ以上のラ
ンプ光を分岐した光ファイバーの入射端に入射させ、光
ファイバーの射出端から強度の高い光を照射できる。光
ファイバーを使用することにより、入射端、射出端の形
状を変えることもでき、また照明光源が多数配列された
ことによる、いわゆるフライアイレンズ効果により、光
の不可干渉性を増し、露光時の解像度を増すことができ
る。
ンプ光を分岐した光ファイバーの入射端に入射させ、光
ファイバーの射出端から強度の高い光を照射できる。光
ファイバーを使用することにより、入射端、射出端の形
状を変えることもでき、また照明光源が多数配列された
ことによる、いわゆるフライアイレンズ効果により、光
の不可干渉性を増し、露光時の解像度を増すことができ
る。
実施例
以下本発明の一実施例の露光用の照明装置について、図
面を参照しながら説明する。
面を参照しながら説明する。
第１図は、本発明の第１の実施例における照明装置の原
理図を示すものであり、本発明を縮小型露光装置に適用
した場合の実施例を示す。第１図において、１２ａ、１
２ｂは光源としての超高圧水銀ランプ、１３ａ、１３ｂ
は楕円面反射鏡、１４は入射端１５ａ、１５ｂと射出端
１６とを備えた石英の光ファイバー束、１７はレンズ、
１８は照明されるべきマスクである。
理図を示すものであり、本発明を縮小型露光装置に適用
した場合の実施例を示す。第１図において、１２ａ、１
２ｂは光源としての超高圧水銀ランプ、１３ａ、１３ｂ
は楕円面反射鏡、１４は入射端１５ａ、１５ｂと射出端
１６とを備えた石英の光ファイバー束、１７はレンズ、
１８は照明されるべきマスクである。
以上のように構成された照明装置の動作は、楕円面反射
鏡１ｓａ、１３ｂにそれぞれ第１焦点におかれた超高圧
水銀ランプ１２’ａ、１２ｂのアーク光は光線１９ａ
、１ ｓｂ 、２０ａ 、２０ｂの如く反射して、楕円
面反射鏡１３ａ、１３ｂの第２焦点に置かれた光ファイ
バ・−束１４の入射端１５ａ。
鏡１ｓａ、１３ｂにそれぞれ第１焦点におかれた超高圧
水銀ランプ１２’ａ、１２ｂのアーク光は光線１９ａ
、１ ｓｂ 、２０ａ 、２０ｂの如く反射して、楕円
面反射鏡１３ａ、１３ｂの第２焦点に置かれた光ファイ
バ・−束１４の入射端１５ａ。
１ｓｂより入９、光ファイバーを通って射出端１６より
出て、レンズ１７を通りマスク１８を照明する。
出て、レンズ１７を通りマスク１８を照明する。
以上のように本実施例によれば、２つの超高圧水銀ラン
プの光を光ファイバーの２つの入射端で集光させ、１つ
の射出端に集めることにより、簡単な構成で光を有効に
集め、光強度を大きくすることができるので露光時間が
短かくなり、フライアイレンズ効果により、露光時のコ
ントラストが増して解像度が向上するという効果を有す
る。
プの光を光ファイバーの２つの入射端で集光させ、１つ
の射出端に集めることにより、簡単な構成で光を有効に
集め、光強度を大きくすることができるので露光時間が
短かくなり、フライアイレンズ効果により、露光時のコ
ントラストが増して解像度が向上するという効果を有す
る。
以下本発明の第２の実施例について図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第２図は本発明の第２の実施例を示す露光用照明装置の
原理図であり、本実施例は、特に反射型投影露光装置の
場合に必要な円弧スリット状照明光を得るためのもので
ある。同図において２１は光ファイバー束、２２ａ、２
２ｂは入射端であり、以上は第１図の構成と同様である
。第１図の構成と異なるのは、ファイバー束２１の射出
端２３が円弧スリット状に整形され、マスク２４上に設
けられている点である。この構成により、円弧仇スリッ
ト状の照明光がマスク上に容易に得られ、反射型投影露
光装置に必要な照明光が、簡単かつ低コストで、しかも
光の強度を高くすることができ、従って露光時間も短か
くなり、その上光軸の調整や光強度の均一性も容易であ
るという効果を有する。
原理図であり、本実施例は、特に反射型投影露光装置の
場合に必要な円弧スリット状照明光を得るためのもので
ある。同図において２１は光ファイバー束、２２ａ、２
２ｂは入射端であり、以上は第１図の構成と同様である
。第１図の構成と異なるのは、ファイバー束２１の射出
端２３が円弧スリット状に整形され、マスク２４上に設
けられている点である。この構成により、円弧仇スリッ
ト状の照明光がマスク上に容易に得られ、反射型投影露
光装置に必要な照明光が、簡単かつ低コストで、しかも
光の強度を高くすることができ、従って露光時間も短か
くなり、その上光軸の調整や光強度の均一性も容易であ
るという効果を有する。
以下筒３の実施例について図面を参照しながら説明する
。第３図は本発明の第３の実施例を示す露光用照明装置
の原理図であり、本発明を縮小型露光装置に適用した場
合の実施例を示す。２６ａ。
。第３図は本発明の第３の実施例を示す露光用照明装置
の原理図であり、本発明を縮小型露光装置に適用した場
合の実施例を示す。２６ａ。
２５ｂは超高圧水銀灯、２６ａ、２６ｂは楕円面反射鏡
、２７は光ファイバー束、２８はレンズ、２９はマスク
であり、以上は第１図の構成と同様のものである。第１
図の構成と異なるのは、光ファイバー束２７の２つの入
射端３０ａ 、３０ｂの光ファイバー素線の配列を円環
状になし、同時に光の入射方向に直角にする点であり、
照明を均一化し、入射ロスを減少するという効果を有す
る。
、２７は光ファイバー束、２８はレンズ、２９はマスク
であり、以上は第１図の構成と同様のものである。第１
図の構成と異なるのは、光ファイバー束２７の２つの入
射端３０ａ 、３０ｂの光ファイバー素線の配列を円環
状になし、同時に光の入射方向に直角にする点であり、
照明を均一化し、入射ロスを減少するという効果を有す
る。
なお第１〜第３の実施例において、光ファイバーの素線
を、照度ムラを解消するために、光ファイバー束の素線
を入射端と射出端とでランダムに配列すること等により
、照明の均一性を向上させることができる。また光ファ
イバーの入射端にしンズを設け、光の入射の効率を向上
させることが可能である。
を、照度ムラを解消するために、光ファイバー束の素線
を入射端と射出端とでランダムに配列すること等により
、照明の均一性を向上させることができる。また光ファ
イバーの入射端にしンズを設け、光の入射の効率を向上
させることが可能である。
発明の効果
以上のように本発明は、少くとも２つ以上の光源と、入
射端が複数に分岐し、射出端が１つにまとめられた光フ
ァイバー東を設けることにより、簡単な構成で、コスト
が安く、光の利用効率と強度を高くできるために、露光
時間が短かく済み、しかも高分解能の照明装置を提供す
るものである。
射端が複数に分岐し、射出端が１つにまとめられた光フ
ァイバー東を設けることにより、簡単な構成で、コスト
が安く、光の利用効率と強度を高くできるために、露光
時間が短かく済み、しかも高分解能の照明装置を提供す
るものである。
第１図は本発明の第１の実施例における照明装置の原理
図、第２図は本発明の第２の実施例における照明装置の
原理図、第３図は本発明の第３の実施例における照明装
置の原理図、第４図は従来の１：１反射型投影露光装置
の原理図である。 １２ａ、１２ｂ・・・・・・超高圧水銀ランプ、１４・
・・・・・光ファイバー束、１５ａ、１５ｂ・・・・・
・入射端、１６・・・・・・射出端、２１・・・・・・
光ファイバー束、２２ａ。 ２２ｂ・・・・・・入射端、２３・・・・・・射出端、
２６ａ 、２５ｂ・・・・・・超高圧水銀ランプ、２７
・・・・・・光ファイバー束、３ｏ・・・・・・入射端
。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ｆら
、ｔｓｂ−−一人村に帛 ｔｃ−−一村ｌ立粕 ｌδ−ｍ−マスク 第 ３ 図
図、第２図は本発明の第２の実施例における照明装置の
原理図、第３図は本発明の第３の実施例における照明装
置の原理図、第４図は従来の１：１反射型投影露光装置
の原理図である。 １２ａ、１２ｂ・・・・・・超高圧水銀ランプ、１４・
・・・・・光ファイバー束、１５ａ、１５ｂ・・・・・
・入射端、１６・・・・・・射出端、２１・・・・・・
光ファイバー束、２２ａ。 ２２ｂ・・・・・・入射端、２３・・・・・・射出端、
２６ａ 、２５ｂ・・・・・・超高圧水銀ランプ、２７
・・・・・・光ファイバー束、３ｏ・・・・・・入射端
。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ｆら
、ｔｓｂ−−一人村に帛 ｔｃ−−一村ｌ立粕 ｌδ−ｍ−マスク 第 ３ 図
Claims (3)
- （１）少くとも２つ以上の光源と、前記光源の光をそれ
ぞれ集光できるように入射端が複数に分岐し、射出端が
１つにまとめられた光ファイバー束とを備えたことを特
徴とする照明装置。 - （２）射出端が円弧スリット状に整形された光ファイバ
ー束からなる特許請求の範囲第１項記載の照明装置。 - （３）複数の入射端における光ファイバー素線の配列が
円環状をなす光ファイバー束を有する特許請求の範囲第
１項記載の照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60142912A JPS622617A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60142912A JPS622617A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS622617A true JPS622617A (ja) | 1987-01-08 |
Family
ID=15326508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60142912A Pending JPS622617A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS622617A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01101628A (ja) * | 1987-10-14 | 1989-04-19 | Nec Corp | 縮小投影露光装置 |
| US6527411B1 (en) * | 2000-08-01 | 2003-03-04 | Visteon Corporation | Collimating lamp |
| WO2003085457A1 (fr) * | 2002-04-10 | 2003-10-16 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Tete d'exposition, dispositif d'exposition et utilisation |
-
1985
- 1985-06-28 JP JP60142912A patent/JPS622617A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01101628A (ja) * | 1987-10-14 | 1989-04-19 | Nec Corp | 縮小投影露光装置 |
| JPH0548930B2 (ja) * | 1987-10-14 | 1993-07-22 | Nippon Electric Co | |
| US6527411B1 (en) * | 2000-08-01 | 2003-03-04 | Visteon Corporation | Collimating lamp |
| WO2003085457A1 (fr) * | 2002-04-10 | 2003-10-16 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Tete d'exposition, dispositif d'exposition et utilisation |
| US6894712B2 (en) | 2002-04-10 | 2005-05-17 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Exposure head, exposure apparatus, and application thereof |
| US7015488B2 (en) | 2002-04-10 | 2006-03-21 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Exposure head, exposure apparatus, and application thereof |
| US7048528B2 (en) | 2002-04-10 | 2006-05-23 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Exposure head, exposure apparatus, and application thereof |
| US7077972B2 (en) | 2002-04-10 | 2006-07-18 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Exposure head, exposure apparatus, and application thereof |
| US7079169B2 (en) | 2002-04-10 | 2006-07-18 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Exposure head, exposure apparatus, and application thereof |
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