JP3188764B2 - 照明光学系 - Google Patents
照明光学系Info
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- JP3188764B2 JP3188764B2 JP22241192A JP22241192A JP3188764B2 JP 3188764 B2 JP3188764 B2 JP 3188764B2 JP 22241192 A JP22241192 A JP 22241192A JP 22241192 A JP22241192 A JP 22241192A JP 3188764 B2 JP3188764 B2 JP 3188764B2
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Description
するための照明光学系、例えばマスク面等の所定領域を
照明する照明光学系に関する。
すように楕円鏡1と、この楕円鏡1の第1焦点位置2に
配置された光源3と、この光源3による光束から多数の
2次光源を生成するインテグレーター4とを有してい
る。そして、この従来の照明光学系では、楕円鏡1の第
2焦点位置5の近傍にインテグレーター4の入射面6を
位置させている。インテグレーター4を2次照明光源と
して、マスク面等の物体面7を多数の光束で照明するこ
とにより物体面7による回析像を除去するとともに、ム
ラのない均一な照明を得るようにしている。
明するためのもので、図4において、実線A1、A2は
第1焦点位置2から出射されて、楕円鏡1の反射面1a
で反射され、光軸O上に設置のインテグレーター4に向
かう光線を示し、破線B1は光軸Oに対して角度θをも
って最周辺のインテグレーター4に向かう主光線、破線
B2、B3は第1焦点位置2の近傍から出射され、反射
面1aで反射されてインテグレーター4の入射面6´に
向かう光線を示している。図5はその最周辺のインテグ
レーター4を示す部分拡大図であり、符号O´はそのイ
ンテグレーター4の光軸である。各インテグレーター4
の入射面6に入射した光束はこのインテグレーター4内
を伝搬されて出射面8から出射され、物体面7が照明さ
れる。
来の照明光学系では、例えば、最周辺のインテグレータ
ー4を例にとって説明すると、その入射面6´の位置が
光軸Oからはずれて軸外となり、インテグレーター4の
光軸O´に対して第1焦点位置2から発した主光線B1
が角度θをもって入射面6´に入射することになり、イ
ンテグレーター4の入射面6´が主光線B1に対して傾
くことになるので、その有効入射面積が小さくなり、い
わゆる゛けられ゛を生じる。このため、インテグレータ
ー4から出射される光束は、光軸Oに近い位置にあるイ
ンテグレータ4と、光軸Oからはずれた位置にあるイン
テグレーター4とでは照度の差異が生じ、物体面7上で
照明ムラを起こすという問題を生じていた。
の入射面でのいわゆる゛けられ゛を防止し、物体面での
照明ムラを少なくした照明光学系を提供することにあ
る。
本願発明は、楕円鏡と、該楕円鏡のほぼ第1焦点位置に
配置された照明光源と、該照明光源による光束に基づき
多数の2次照明光源を生成するインテグレーターと、上
記楕円鏡の第2焦点位置付近に設けられて楕円鏡の開口
面を前側焦点とするフィールドレンズとを備え、前記イ
ンテグレーターの入射面が前記フィールドレンズの近傍
に位置されていることを特徴とする。
ドレンズが楕円鏡からの光束をインテグレーターの入射
面をテレセントリック照明(略平行光での照明)する。
来のようなけられが生じることなく、照射される物体面
上での照明ムラを減少させることが出来る。
ものである。
に示すように楕円鏡11と、この楕円鏡11のほぼ第1
焦点位置12に配置された照明光源13と、この照明光
源13による光束から多数の2次光源を作り出すインテ
グレーター14とを有している。そして、楕円鏡11の
第2焦点位置15の近傍にフィールドレンズ16を配置
する。そして、インテグレーター14の入射面17をそ
のフィールドレンズ16の近傍に位置させる。18はそ
のインテグレーター14の出射面である。
角柱のガラスの両端面を凸レンズに加工したものを蜂の
巣状に束ねることにより形成される。なお、インテグレ
ーター14には、一般的によく知られている前後2個の
フライアイレンズで構成するようにしてもよい。このイ
ンテグレーター14は、複数の2次光源を形成し、マス
ク面等の物体面19を多数の光束で照明することにより
物体面19による回析像を除去するとともに、ムラのな
い均一な照明を得るために用いられる。
面20の近傍に前側焦点を有する。そのフィールドレン
ズ16の前側焦点の位置を符号21で示す。その図1に
おいて、符号C1は第1焦点位置12から出射されて楕
円鏡11の反射面11aの点22で反射されて光軸O上
のインテグレーター14の入射面17の点23に向かう
光束、符号C2は第1焦点位置12から出射されて楕円
鏡11の反射面11aの点24で反射されて光軸O上の
インテグレータ14の入射面17の点23に向かう光
束、符号D1は前側焦点の位置21から出射されてイン
テグレーター14の最周辺の入射面17´の点25に向
かう仮想光束、符号D2は照明光源13のいずれかの箇
所から出射されて点22で反射され、入射面17´の点
25に向かう光束、符号D3は照明光源13のいずれか
の箇所から出射されて点24で反射され、入射面17´
の点25に向かう光束を示している。図2は、そのフィ
ルードレンズ16とインテグレーター14との周辺部を
拡大して示すもので、仮想光束の主光線はフィールドレ
ンズ16により屈折されて光軸Oと平行に進むことにな
る。ここでは、この仮想光束が最周辺のインテグレータ
14の光軸O´上を進むこととして説明する。また、点
22と点24とは楕円鏡11の開口面20上にあって光
軸Oに関して対称位置にあるものとして説明する。イン
テグレータ14とマスク19との間には、コリメータレ
ンズCが設けられ、このコリメータレンズCはインテグ
レータ14の出射面18に焦点を有する。
6の作用を説明するための模式図であって、図1、図2
に対応する光学要素には同一符号を付してある。この図
3には、反射面11aの点22から出射される光束、反
射面11aの点24から出射される光束が代表として示
されており、これらの光束はフィールドレンズ16の作
用によって光軸Oに対して斜めの平行光束となってイン
テグレーター14の入射面17に導かれ、このフィール
ドレンズ16によりインテグレーター14の入射面17
がテレセントリック照明される。各インテグレータ14
には、その入射面17に向かって収束する光束があるの
で、2次光源(開口面20の像)がそれぞれ形成され
る。この2次光源は各インテグレーター14の光軸O´
上に形成されるので、その分だけ2次光源がおおきくて
もけられを生じにくくなり、マスク19の照明照度が増
大する。
点21を通る光線は、いったんフィールドレンズ16に
よりインテグレータ14に平行光束で入射し、コリメー
タレンズCを通ってマスク19に導かれ、マスク19を
照明する。フィールドレンズ16はほぼ第2焦点位置1
5に設けてあるので、楕円鏡11にランプ交換兼支持用
の非反射部(ランプ装着開口)26が図1に示すように
形成されていたとしても、インテグレーター14の入射
面17に導かれる光束が環状光束となることが防止さ
れ、従って、これを原因とする照明むらを防止できる。
の開口面18の像は、各小レンズ23、23の光軸上に
できる。このため、従来の照明光学系のようにインテグ
レーター14の入射面17で光束が゛けられ゛ることが
ほとんどない。
た光束は、後側小レンズ24、24から各々照射され
る。この照射光は、上記コリメータレンズ15を介し
て、上記マスク面22を照明する。
ンズによりインテグレーターの入射面をテレセントリッ
ク照明することにしたので、インテグレーターの入射面
で゛けられ゛が生じるのを極力防止できる。
図である。
Claims (1)
- 【請求項1】楕円鏡と、該楕円鏡のほぼ第1焦点位置に
配置された照明光源と、該照明光源による光束に基づき
多数の2次照明光源を生成するインテグレーターと、上
記楕円鏡の第2焦点位置付近に設けられて楕円鏡の開口
面を前側焦点とするフィールドレンズとを備え、前記イ
ンテグレーターの入射面が前記フィールドレンズの近傍
に位置されていることを特徴とする照明光学系。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22241192A JP3188764B2 (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 照明光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22241192A JP3188764B2 (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 照明光学系 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0667316A JPH0667316A (ja) | 1994-03-11 |
JP3188764B2 true JP3188764B2 (ja) | 2001-07-16 |
Family
ID=16781966
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22241192A Expired - Lifetime JP3188764B2 (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 照明光学系 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3188764B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4563557B2 (ja) * | 2000-07-18 | 2010-10-13 | 株式会社トプコン | 露光装置の照明光学系 |
JP2014002212A (ja) * | 2012-06-15 | 2014-01-09 | Ushio Inc | 光照射装置、露光装置 |
JP2014003086A (ja) * | 2012-06-15 | 2014-01-09 | Ushio Inc | 光照射装置、露光装置 |
JP5756242B1 (ja) * | 2015-02-16 | 2015-07-29 | フェニックス電機株式会社 | 露光装置の設計方法 |
-
1992
- 1992-08-21 JP JP22241192A patent/JP3188764B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0667316A (ja) | 1994-03-11 |
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