JP5756242B1 - 露光装置の設計方法 - Google Patents
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Abstract
Description
複数のランプで構成されたランプ群と、
前記複数のランプからの光を受けて、前記光の均一性を高めるインテグレータとを備えており、かつ、
以下の条件式1および2を満足することを特徴とする露光装置の設計方法が提供される。
条件式1 a ≦ tanθ1×L×2
条件式2 θ1−θ2 = θ3
但し、
a :ランプ群の縦方向寸法および横方向寸法
L :ランプ群の出光位置からインテグレータの入射位置までの距離
θ1 :各ランプの光軸とインテグレータの中心軸とが成す角度の内、最大の値
θ2 :個々のランプからの光の開き角
θ3 :インテグレータ入射角
である。
条件式1 a ≦ tanθ1×L×2
条件式2 θ1−θ2 = θ3
ここで、
a :ランプ群11の縦方向寸法Vおよび横方向寸法H
L :ランプ12の出光位置Sからインテグレータ14の入射位置Rまでの距離
θ1 :各ランプ12の光軸LCLとインテグレータ14の中心軸CLとが成す角度θの内、最大の値
θ2 :個々のランプ12からの光の開き角
θ3 :インテグレータ入射角
である。
(1)
一対の電極110の離間距離(すなわち、ランプ12の「電極間隔」)は、0.8mm以上1.5mm以下に設定するのが好適である。なお、電極間隔は、ランプ12の開き角θ2と関連性を有している。電極間隔が狭くなると、ランプ12の開き角θ2は小さくなる。逆に、電極間隔が広くなると、ランプ12の開き角θ2は大きくなる。したがって、ランプ群11におけるランプ12の配置状態に鑑み、必要に応じて各ランプ12の電極間隔を変化させて、上記条件式(1)および(2)を満たすようにするのが好ましい。
上述した実施例にかかる露光装置10に対して、図8および図9に示すように、更に凸レンズ50を追加してもよい。この凸レンズ50は、インテグレータ14におけるランプ群11に向かう面、すなわち、入射面26側に配設される。凸レンズ50は、図示するように、そのレンズ中心52が各フライアイレンズ30の頂点に接する平面に含まれるような位置に配設される(さらに言えば、レンズ中心52の位置とインテグレータ14の入射位置Rとを互いに一致させる。)のが好適であるが、当該平面からやや離れた位置に配設されてもよい。
上記変形例(2)とは別に、図10に示すように、露光装置10に対して更にランプ前面レンズ60を追加してもよい。このランプ前面レンズ60は、ランプ12におけるインテグレータ14に向かう面側、すなわち、出光面25側に配設される。ランプ前面レンズ60は、ランプ12からの光の広がりを小さくする役割を有しており、図示するように、各ランプ12に対してそれぞれランプ前面レンズ60を設けてもよいし、1つのランプ群11に対して1つのランプ前面レンズ60を設けてもよい。また、ランプ前面レンズ60は、上述のようにランプ12からの光の広がりを小さくできるものであれば、凸レンズ、フレネルレンズ、あるいはその他の種類のレンズを使用することができる。
Claims (1)
- 複数のランプで構成されたランプ群と、
前記複数のランプからの光を受けて、前記光の均一性を高めるインテグレータとを用いており、かつ、
以下の条件式1および2を満足することを特徴とする露光装置の設計方法。
条件式1 a ≦ tanθ1×L×2
条件式2 θ1−θ2 = θ3
但し、
a :ランプ群の縦方向寸法および横方向寸法
L :ランプ群の出光位置からインテグレータの入射位置までの距離
θ1 :各ランプの光軸とインテグレータの中心軸とが成す角度の内、最大の値
θ2 :個々のランプからの光の開き角
θ3 :インテグレータ入射角
である。
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