JPS63115213U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63115213U JPS63115213U JP726887U JP726887U JPS63115213U JP S63115213 U JPS63115213 U JP S63115213U JP 726887 U JP726887 U JP 726887U JP 726887 U JP726887 U JP 726887U JP S63115213 U JPS63115213 U JP S63115213U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- projection exposure
- mask
- exposure apparatus
- reticle
- onto
- Prior art date
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- Granted
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
Description
第1図は本考案にかかる縮小投影露光装置の概
要図、第2図は従来の縮小投影露光装置の概要図
である。 図において、1は光源、2は鏡筒、3はレチク
ル、4,5は縮小レンズ、6はウエハー、7は移
動ステージ、10は反射ミラー、11はダウンフ
ロー部、12は集塵部、を示している。
要図、第2図は従来の縮小投影露光装置の概要図
である。 図において、1は光源、2は鏡筒、3はレチク
ル、4,5は縮小レンズ、6はウエハー、7は移
動ステージ、10は反射ミラー、11はダウンフ
ロー部、12は集塵部、を示している。
Claims (1)
- マスクまたはレチクル面のマスクパターンを被
露光基板面に投影する投影露光装置において、前
記マスクまたはレチクルを垂直に保持し、該マス
クまたはレチクル面に清浄な気体を吹き付け、且
つ、鏡筒を直角に曲げて、水平に載置した被露光
基板面に投影露光するように構成したことを特徴
とする投影露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP726887U JPH0530346Y2 (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP726887U JPH0530346Y2 (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63115213U true JPS63115213U (ja) | 1988-07-25 |
JPH0530346Y2 JPH0530346Y2 (ja) | 1993-08-03 |
Family
ID=30790561
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP726887U Expired - Lifetime JPH0530346Y2 (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0530346Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01160013A (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-22 | Nec Kyushu Ltd | 縮小投影型露光装置 |
-
1987
- 1987-01-20 JP JP726887U patent/JPH0530346Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01160013A (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-22 | Nec Kyushu Ltd | 縮小投影型露光装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0530346Y2 (ja) | 1993-08-03 |
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