JPS63118229U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63118229U JPS63118229U JP756187U JP756187U JPS63118229U JP S63118229 U JPS63118229 U JP S63118229U JP 756187 U JP756187 U JP 756187U JP 756187 U JP756187 U JP 756187U JP S63118229 U JPS63118229 U JP S63118229U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shot
- wafer
- transfer
- mask
- onto
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図はこの考案の露光装置の一実施例の構成
を示す断面図、第２図は同上実施例におけるシヨ
ツト番号露光用マスクの拡大平面図、第３図ａは
同上実施例におけるシヨツト番号の転写状態を示
すウエハの平面図、第３図ｂは第３図ａの図Ａの
部分の拡大図である。 １……主光源、２……マスク、３……縮小投影
レンズ、４……ウエハ、５……照明装置、６……
シヤツタ、７……シヨツト番号露光用マスク、７
ｂ……シヨツト番号、９……駆動用モータ。
を示す断面図、第２図は同上実施例におけるシヨ
ツト番号露光用マスクの拡大平面図、第３図ａは
同上実施例におけるシヨツト番号の転写状態を示
すウエハの平面図、第３図ｂは第３図ａの図Ａの
部分の拡大図である。 １……主光源、２……マスク、３……縮小投影
レンズ、４……ウエハ、５……照明装置、６……
シヤツタ、７……シヨツト番号露光用マスク、７
ｂ……シヨツト番号、９……駆動用モータ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (a) 主光源からの光線を通過させウエハ上に転
写させる所定のマークを有するマスクと、 (b) 透光性のシヨツト番号が形成されシヨツト
ごとに回転するシヨツト番号露光用マスクと、 (c) 上記ウエハ上に上記パターンの転写と同時
に上記シヨツト番号を転写するようにウエハ上に
投影する手段と、 よりなる露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP756187U JPS63118229U (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP756187U JPS63118229U (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63118229U true JPS63118229U (ja) | 1988-07-30 |
Family
ID=30791129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP756187U Pending JPS63118229U (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63118229U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012027475A (ja) * | 2011-08-19 | 2012-02-09 | Hitachi Metals Ltd | 識別情報記録方法 |
-
1987
- 1987-01-23 JP JP756187U patent/JPS63118229U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012027475A (ja) * | 2011-08-19 | 2012-02-09 | Hitachi Metals Ltd | 識別情報記録方法 |