JPS58121017U - 線状光源装置 - Google Patents

線状光源装置

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Publication number
JPS58121017U
JPS58121017U JP1715482U JP1715482U JPS58121017U JP S58121017 U JPS58121017 U JP S58121017U JP 1715482 U JP1715482 U JP 1715482U JP 1715482 U JP1715482 U JP 1715482U JP S58121017 U JPS58121017 U JP S58121017U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light source
linear light
source device
plate
slit
Prior art date
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Pending
Application number
JP1715482U
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English (en)
Inventor
芹澤　正芳
隆一 船津
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、ミラー反射型プロジェクションアライナの投
影光学系原理図、第２図は、上記アライナの露光光学系
、第３図ａは、従来のスリットによる露光エネルギー分
布図、第３図、ｂは従来のスリットの平面図、第４図ａ
、　　ｂは、本考案のスリ　　′ット交換保持部の正面
図及び断面図、第５図ａは、本考案のスリットによる露
光エネルギー分布図、第５図すは本考案のスリットの平
面図である。 ３・・・ウェハ、５・・・光源、６・・・コンデンサレ
ンズ、１５・・・プレート、１７・・・モータ、１９・
・・スリット。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 線状光源をつくる装置において、光源像がプレート上に
    投影結像され、該プレートに、線状形状で且つスリット
    巾が長手方向におのおの相異なる分布を持つ複数個のス
    リットを設け、該プレートを位置決め保持し、任意のス
    リットを選択できる機構とからなる線状光源装置。
JP1715482U 1982-02-12 1982-02-12 線状光源装置 Pending JPS58121017U (ja)

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JP1715482U JPS58121017U (ja) 1982-02-12 1982-02-12 線状光源装置

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JPS58121017U true JPS58121017U (ja) 1983-08-17

Family

ID=30029484

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1715482U Pending JPS58121017U (ja) 1982-02-12 1982-02-12 線状光源装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008233932A (ja) * 2003-06-30 2008-10-02 Asml Holding Nv フラットパネルディスプレイ製造用露光システムおよびフラットパネルディスプレイ製造用ユニット拡大環状光学系

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008233932A (ja) * 2003-06-30 2008-10-02 Asml Holding Nv フラットパネルディスプレイ製造用露光システムおよびフラットパネルディスプレイ製造用ユニット拡大環状光学系

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