JPS614955U - 縮小投影露光装置 - Google Patents

縮小投影露光装置

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JPS614955U
JPS614955U JP1984088053U JP8805384U JPS614955U JP S614955 U JPS614955 U JP S614955U JP 1984088053 U JP1984088053 U JP 1984088053U JP 8805384 U JP8805384 U JP 8805384U JP S614955 U JPS614955 U JP S614955U
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JP
Japan
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projection exposure
reduction projection
exposure equipment
exposure apparatus
reticle
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Pending
Application number
JP1984088053U
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English (en)
Inventor
秀行 堺沢
吉弘 石田
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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Publication of JPS614955U publication Critical patent/JPS614955U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は縮小投影露光装置の構成概念図、第２図は従来
技術になる調節手段を示す立体図、第３図は本考案にな
る縮小投影露光装置の構成図、第４図は本考案を構成す
る迅速調節手段の一実施例を示す断面図である。 １・・・光源、２・・・縮小レンズ、３・・・レチクル
、４・・・ウエハ、５・・・ＸＹステージ、６・・・ベ
ース、７・・・レンズコラム、訃・・レクチルヨラム、
９・・・スペーサ、１０・・べさび調節機構、１１・・
べさび、１２・・・母材、１３・・・調節ねじ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウエハと原画（レクチル）の間隔寸法および平行出しを
    行うためのくさびによる調節機構を配置したことを特徴
    とする縮小投影露光装置。
JP1984088053U 1984-06-15 1984-06-15 縮小投影露光装置 Pending JPS614955U (ja)

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