JPS5926239U - レテイクル装着台 - Google Patents

レテイクル装着台

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Publication number
JPS5926239U
JPS5926239U JP1982119960U JP11996082U JPS5926239U JP S5926239 U JPS5926239 U JP S5926239U JP 1982119960 U JP1982119960 U JP 1982119960U JP 11996082 U JP11996082 U JP 11996082U JP S5926239 U JPS5926239 U JP S5926239U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
reticle
opening
surface side
suction surface
mounting stand
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1982119960U
Other languages
English (en)
Inventor
柏　清隆
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP1982119960U priority Critical patent/JPS5926239U/ja
Publication of JPS5926239U publication Critical patent/JPS5926239U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は本考案の適用対象例を示す概念構
成図および平面図、第３図は従来技術例を示す断面図、
第４図は本考案の適用対象例を示す断面図、第５図は従
来技術例を示す断面図、第６図、第７図、第８図は本考
案になる第１の実施例を示す図、第９図は第２の実施例
を示す図である。 ３・・・レティクル装着台、６・・・ウェハ、８・・・
ブラインド、９・・・レティクル、１２・・・吸着部、
１３・・・光、１７・・・開口部、１８・・・小さい開
口部、１９・・・開口部形成部材。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　縮小投影露光装置のレティクル装着台において、露
    光光路を形成する開口部を、レティクル吸着面側よりあ
    る距離をおいて、前記吸着面側に開口した開口部より小
    さい開口部を形成して、２段の開口部を設けたことを特
    徴とするレティクル装着台。 ２　実用新案登録請求の範囲第１項において、レティク
    ルを装・脱着する側のレティクル吸着面側の開口部を形
    成するフレームの一部を２段目の開口部まで切欠き部を
    設けたことを特徴とするレティクル装着台。
JP1982119960U 1982-08-09 1982-08-09 レテイクル装着台 Pending JPS5926239U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1982119960U JPS5926239U (ja) 1982-08-09 1982-08-09 レテイクル装着台

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1982119960U JPS5926239U (ja) 1982-08-09 1982-08-09 レテイクル装着台

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5926239U true JPS5926239U (ja) 1984-02-18

Family

ID=30275105

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1982119960U Pending JPS5926239U (ja) 1982-08-09 1982-08-09 レテイクル装着台

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5926239U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220037292A (ko) * 2020-09-17 2022-03-24 한양대학교 산학협력단 펠리클 홀딩 모듈, 이를 포함하는 펠리클 열적 내구성 평가 장치, 및 펠리클 열적 내구성 평가 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220037292A (ko) * 2020-09-17 2022-03-24 한양대학교 산학협력단 펠리클 홀딩 모듈, 이를 포함하는 펠리클 열적 내구성 평가 장치, 및 펠리클 열적 내구성 평가 방법

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