JPS6119245U - フオトエツチング用露光装置 - Google Patents
フオトエツチング用露光装置Info
- Publication number
- JPS6119245U JPS6119245U JP10332684U JP10332684U JPS6119245U JP S6119245 U JPS6119245 U JP S6119245U JP 10332684 U JP10332684 U JP 10332684U JP 10332684 U JP10332684 U JP 10332684U JP S6119245 U JPS6119245 U JP S6119245U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoetching
- photoresist
- exposure equipment
- workpiece
- soft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例における露光装置の要部構成
を示す中央縦断面図、第２図は第１図の■部の拡大図、
第３図は減圧吸着装置の変形例を示す要部断面図である
。
を示す中央縦断面図、第２図は第１図の■部の拡大図、
第３図は減圧吸着装置の変形例を示す要部断面図である
。
Claims (1)
- ワークの変形表面にフォトエッチングを施すための露光
装置であって、ワーク表面に接着したフォトレジストと
、該フォトレジストの上に被覆された軟質フオトススク
と、該軟質フォトマスクとフォトレジストとの間を吸引
して軟質フォトマスクをフォトレジストに密着させる減
圧吸着装置とを備えてなることを特徴とするフォトエッ
チング用露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10332684U JPS6119245U (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | フオトエツチング用露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10332684U JPS6119245U (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | フオトエツチング用露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6119245U true JPS6119245U (ja) | 1986-02-04 |
Family
ID=30662720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10332684U Pending JPS6119245U (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | フオトエツチング用露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6119245U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015021185A (ja) * | 2013-07-16 | 2015-02-02 | 和百エンジニアリング株式会社 | 曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置及びその方法 |
-
1984
- 1984-07-09 JP JP10332684U patent/JPS6119245U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015021185A (ja) * | 2013-07-16 | 2015-02-02 | 和百エンジニアリング株式会社 | 曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置及びその方法 |
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