JPS61153U - フオトレジスト露光用写真フイルムの保持装置 - Google Patents

フオトレジスト露光用写真フイルムの保持装置

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JPS61153U
JPS61153U JP8323484U JP8323484U JPS61153U JP S61153 U JPS61153 U JP S61153U JP 8323484 U JP8323484 U JP 8323484U JP 8323484 U JP8323484 U JP 8323484U JP S61153 U JPS61153 U JP S61153U
Authority
JP
Japan
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photographic film
holding device
photoresist
photoresist exposure
pressure switch
Prior art date
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JP8323484U
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English (en)
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JPH0320833Y2 (ja
Inventor
宣英 阿部
恒 木本
博美 梅田
Original Assignee
株式会社 タムラ製作所
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Publication date
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Landscapes

  • Silver Salt Photography Or Processing Solution Therefor (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】 第１図は本考案のフィルム保持装置の一実施例４示す流
体回路図、第２図はその従来の流体回路図、第３図はフ
ォトリソグラフイを示す断面図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・フォトレジスト、
４・・・・・・ガラス板、５・・・・一・写真フイルム
、６・・・・・・真空ボンプ、７・・・・・・吸着凹溝
、８・・・・・・管路、１３・・・・・・第１の圧カス
イッチ、１４・・曲第２の圧力スイッチ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 基板上のフォトレジストを露光する際にこのフォトレジ
    スト上に配置される写真フイルムをガラス板に吸着保持
    する装置において、上記ガラス板の吸着面に設けた吸着
    凹溝と真空ポンプとの間の管路に比較的弱い負圧設定用
    の第１の圧力スイッチと、比較的強い負圧設定用の第２
    の圧力スイッチとを設けたことを特徴とするフォトレジ
    スト露光用写真フイルムの保持装置。
JP8323484U 1984-06-05 1984-06-05 フオトレジスト露光用写真フイルムの保持装置 Granted JPS61153U (ja)

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JP8323484U JPS61153U (ja) 1984-06-05 1984-06-05 フオトレジスト露光用写真フイルムの保持装置

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Publication Number Publication Date
JPS61153U true JPS61153U (ja) 1986-01-06
JPH0320833Y2 JPH0320833Y2 (ja) 1991-05-07

Family

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009250939A (ja) * 2008-04-11 2009-10-29 Akim Kk 振動子片特性検査装置及び振動子片特性検査方法
JP2010002357A (ja) * 2008-06-23 2010-01-07 Akim Kk 振動子片特性検査装置及び振動子片特性検査方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56109354A (en) * 1980-02-01 1981-08-29 Yamatoya Shokai:Kk Photosensitive plate equipping device of composer

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JPH0320833Y2 (ja) 1991-05-07

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