JPS61153U - フオトレジスト露光用写真フイルムの保持装置 - Google Patents
フオトレジスト露光用写真フイルムの保持装置Info
- Publication number
- JPS61153U JPS61153U JP8323484U JP8323484U JPS61153U JP S61153 U JPS61153 U JP S61153U JP 8323484 U JP8323484 U JP 8323484U JP 8323484 U JP8323484 U JP 8323484U JP S61153 U JPS61153 U JP S61153U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photographic film
- holding device
- photoresist
- photoresist exposure
- pressure switch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Silver Salt Photography Or Processing Solution Therefor (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案のフィルム保持装置の一実施例4示す流
体回路図、第2図はその従来の流体回路図、第3図はフ
ォトリソグラフイを示す断面図である。 1・・・・・・基板、2・・・・・・フォトレジスト、
4・・・・・・ガラス板、5・・・・一・写真フイルム
、6・・・・・・真空ボンプ、7・・・・・・吸着凹溝
、8・・・・・・管路、13・・・・・・第1の圧カス
イッチ、14・・曲第2の圧力スイッチ。
体回路図、第2図はその従来の流体回路図、第3図はフ
ォトリソグラフイを示す断面図である。 1・・・・・・基板、2・・・・・・フォトレジスト、
4・・・・・・ガラス板、5・・・・一・写真フイルム
、6・・・・・・真空ボンプ、7・・・・・・吸着凹溝
、8・・・・・・管路、13・・・・・・第1の圧カス
イッチ、14・・曲第2の圧力スイッチ。
Claims (1)
- 基板上のフォトレジストを露光する際にこのフォトレジ
スト上に配置される写真フイルムをガラス板に吸着保持
する装置において、上記ガラス板の吸着面に設けた吸着
凹溝と真空ポンプとの間の管路に比較的弱い負圧設定用
の第1の圧力スイッチと、比較的強い負圧設定用の第2
の圧力スイッチとを設けたことを特徴とするフォトレジ
スト露光用写真フイルムの保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8323484U JPS61153U (ja) | 1984-06-05 | 1984-06-05 | フオトレジスト露光用写真フイルムの保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8323484U JPS61153U (ja) | 1984-06-05 | 1984-06-05 | フオトレジスト露光用写真フイルムの保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61153U true JPS61153U (ja) | 1986-01-06 |
JPH0320833Y2 JPH0320833Y2 (ja) | 1991-05-07 |
Family
ID=30631674
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8323484U Granted JPS61153U (ja) | 1984-06-05 | 1984-06-05 | フオトレジスト露光用写真フイルムの保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61153U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009250939A (ja) * | 2008-04-11 | 2009-10-29 | Akim Kk | 振動子片特性検査装置及び振動子片特性検査方法 |
JP2010002357A (ja) * | 2008-06-23 | 2010-01-07 | Akim Kk | 振動子片特性検査装置及び振動子片特性検査方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56109354A (en) * | 1980-02-01 | 1981-08-29 | Yamatoya Shokai:Kk | Photosensitive plate equipping device of composer |
-
1984
- 1984-06-05 JP JP8323484U patent/JPS61153U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56109354A (en) * | 1980-02-01 | 1981-08-29 | Yamatoya Shokai:Kk | Photosensitive plate equipping device of composer |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009250939A (ja) * | 2008-04-11 | 2009-10-29 | Akim Kk | 振動子片特性検査装置及び振動子片特性検査方法 |
JP2010002357A (ja) * | 2008-06-23 | 2010-01-07 | Akim Kk | 振動子片特性検査装置及び振動子片特性検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0320833Y2 (ja) | 1991-05-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS61153U (ja) | フオトレジスト露光用写真フイルムの保持装置 | |
JPS5810423U (ja) | 感光板位置合せ装置 | |
JPS6119245U (ja) | フオトエツチング用露光装置 | |
JPS5845533U (ja) | 照度分布測定装置 | |
JPS5995660U (ja) | 焼付装置 | |
JPH019954Y2 (ja) | ||
JPS5989354U (ja) | スキ−ジ | |
JPS59136643U (ja) | 真空吸着式携帯型片面両面兼用露光機 | |
JPS58113043U (ja) | ジアゾ複写機の露光部クリ−ニング装置 | |
JPS59104145U (ja) | フオトマスク | |
JPS5982257U (ja) | レジスト塗布装置 | |
JPS58135733U (ja) | 露光装置 | |
JPS60190036U (ja) | ウエツトエツチング装置 | |
JPS58146240U (ja) | 原稿位置決め装置 | |
JPS5879732U (ja) | 真空焼付露光装置 | |
JPS58187539U (ja) | カ−ド類の吸着装置用クリ−ニングカ−ド | |
JPS59186850U (ja) | 感光性皮膜の露光装置 | |
JPS59144655U (ja) | マイクロフイルム撮影装置におけるブリツプ表示機構 | |
JPS59173054U (ja) | ネガフイルム自動中央位置決め装置 | |
JPS58162145U (ja) | フイルム自動現像装置 | |
JPS61132830U (ja) | ||
JPS58166647U (ja) | 露光装置 | |
JPS603850U (ja) | 刷版とフイルムの密着装置 | |
JPS58136288U (ja) | チツプ部品の吸着ノズル | |
JPS60107831U (ja) | カメラのロ−ラ−圧板 |