JPS58106938U - 電子ビ−ムアニ−ル用ウエハ−ホルダ− - Google Patents

電子ビ−ムアニ−ル用ウエハ−ホルダ−

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Publication number
JPS58106938U
JPS58106938U JP307282U JP307282U JPS58106938U JP S58106938 U JPS58106938 U JP S58106938U JP 307282 U JP307282 U JP 307282U JP 307282 U JP307282 U JP 307282U JP S58106938 U JPS58106938 U JP S58106938U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electron beam
wafer holder
beam annealing
wafer
annealing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP307282U
Other languages
English (en)
Inventor
宮崎　隆之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP307282U priority Critical patent/JPS58106938U/ja
Publication of JPS58106938U publication Critical patent/JPS58106938U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は電子ビームアニール装置の原廟図を示し第２図
は本考案のウエハーホルダーを示す。 １：電子ビーム発生装置、２：集束レンズ、３：マスク
板ハ：投影レンズミ５：露光面、６：偏尚器、７：ステ
′−ジ、８：アルミニウム基板ミ９：セラミック板、１
０：高融点金属板、１１：半導体ウ千Ｔ▽、１２：固定
ピン。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウエハーに電芋ビ、一ムを照射してアニールする時のウ
    エハーホルダーでミ金属基板キのセラミ”／ク板に該セ
    ラミック板本り小さな面積で高融点金属を貼り付けたこ
    とを特徴とする電子ビームアニール用ウエハーホルダー
    。
JP307282U 1982-01-13 1982-01-13 電子ビ−ムアニ−ル用ウエハ−ホルダ− Pending JPS58106938U (ja)

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JP307282U JPS58106938U (ja) 1982-01-13 1982-01-13 電子ビ−ムアニ−ル用ウエハ−ホルダ−

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP307282U JPS58106938U (ja) 1982-01-13 1982-01-13 電子ビ−ムアニ−ル用ウエハ−ホルダ−

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58106938U true JPS58106938U (ja) 1983-07-21

Family

ID=30016023

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP307282U Pending JPS58106938U (ja) 1982-01-13 1982-01-13 電子ビ−ムアニ−ル用ウエハ−ホルダ−

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