JPS5989352U - 縮小投影露光用フォトマスク - Google Patents
縮小投影露光用フォトマスクInfo
- Publication number
- JPS5989352U JPS5989352U JP1982185783U JP18578382U JPS5989352U JP S5989352 U JPS5989352 U JP S5989352U JP 1982185783 U JP1982185783 U JP 1982185783U JP 18578382 U JP18578382 U JP 18578382U JP S5989352 U JPS5989352 U JP S5989352U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photomask
- projection exposure
- reduction projection
- pattern
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は縮小露光装置の模式的構成図、第2図は本考案
による一実施例のフォトマスクの模式的平面図、第3図
は本考案の一実施例のフォトマスクを用いて半導体基板
上に縮写したパターン配置の要部拡大平面図である。 図において6は基板、10はフォトマスク、12.14
はデバイスパターン、13.16は解像力チェックパタ
ーンを示す。
による一実施例のフォトマスクの模式的平面図、第3図
は本考案の一実施例のフォトマスクを用いて半導体基板
上に縮写したパターン配置の要部拡大平面図である。 図において6は基板、10はフォトマスク、12.14
はデバイスパターン、13.16は解像力チェックパタ
ーンを示す。
Claims (1)
- 基板上にパターンを縮小露光するためのフォトマスクで
あって、該フォトマスク上のデバイスパターン外側の少
くとも4隅に、所望形状の解像力チェックパターンを設
けたことを特徴とするフォトマスク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1982185783U JPS5989352U (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | 縮小投影露光用フォトマスク |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1982185783U JPS5989352U (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | 縮小投影露光用フォトマスク |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5989352U true JPS5989352U (ja) | 1984-06-16 |
JPS634216Y2 JPS634216Y2 (ja) | 1988-02-02 |
Family
ID=30401464
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1982185783U Granted JPS5989352U (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | 縮小投影露光用フォトマスク |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5989352U (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5396674A (en) * | 1977-02-03 | 1978-08-24 | Mitsubishi Electric Corp | Photo mask |
-
1982
- 1982-12-07 JP JP1982185783U patent/JPS5989352U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5396674A (en) * | 1977-02-03 | 1978-08-24 | Mitsubishi Electric Corp | Photo mask |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS634216Y2 (ja) | 1988-02-02 |
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