JPS58192643U - 露光用マスク - Google Patents

露光用マスク

Info

Publication number
JPS58192643U
JPS58192643U JP1982092105U JP9210582U JPS58192643U JP S58192643 U JPS58192643 U JP S58192643U JP 1982092105 U JP1982092105 U JP 1982092105U JP 9210582 U JP9210582 U JP 9210582U JP S58192643 U JPS58192643 U JP S58192643U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
exposure mask
abstract
substrate
utility
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1982092105U
Other languages
English (en)
Inventor
明 森重
Original Assignee
富士通株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
Priority to JP1982092105U priority Critical patent/JPS58192643U/ja
Publication of JPS58192643U publication Critical patent/JPS58192643U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による一実施例の円形露光用マ□゛　ス
フの平面図、第２図は本考案による一実施例の角形露光
用マスクの平面図、第３図は本考案露光用マスクの搬送
機構の要部模式図を示す。図において１は円形露光用マ
スク、１１はくぼみ、１２は円形基板、１４はパターン
、２は角形露光用マスク、２１はくぼみ、２２は角形基
板、２４はパターン。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 透明体からなる基板と該基板上に遮光性の膜で形成され
    たパターンを有する露光用マスクの周囲に、少なくとも
    ３個のくぼみを具備してなることを特徴とする露光用マ
    スク。
JP1982092105U 1982-06-18 1982-06-18 露光用マスク Pending JPS58192643U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1982092105U JPS58192643U (ja) 1982-06-18 1982-06-18 露光用マスク

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1982092105U JPS58192643U (ja) 1982-06-18 1982-06-18 露光用マスク

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58192643U true JPS58192643U (ja) 1983-12-21

Family

ID=30100304

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1982092105U Pending JPS58192643U (ja) 1982-06-18 1982-06-18 露光用マスク

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58192643U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS58192643U (ja) 露光用マスク
JPS6039047U (ja) マスクブランク板
JPS58185850U (ja) ホトマスク
JPS5917441U (ja) フオトマスク
JPS5823330U (ja) フオトマスク
JPS59104145U (ja) フオトマスク
JPS6111103U (ja) 防眩フイルタ−
JPS58170830U (ja) 描画用マスクホルダとマスク基板との導通機構
JPS58172982U (ja) 化粧パネル構造
JPS594541U (ja) レテイクル
JPS60175659U (ja) 印刷用スクリ−ン
JPS58180403U (ja) 分度器
JPS59104184U (ja) 表示板
JPS5881938U (ja) 半導体装置
JPS60140955U (ja) 段差付きホトマスク
JPS60159436U (ja) 半導体装置製造用ガラスマスク
JPS58146240U (ja) 原稿位置決め装置
JPS5869971U (ja) フレキシブルプリント基板
JPS6041073U (ja) 厚膜回路基板
JPS6044046U (ja) フオトマスク
JPS59109349U (ja) フオトマスク基板
JPS5995660U (ja) 焼付装置
JPS5865076U (ja) 固定表示用偏光板
JPS5989352U (ja) 縮小投影露光用フォトマスク
JPS6079736U (ja) マスク