JPS5998445U - ホトマスク - Google Patents
ホトマスクInfo
- Publication number
- JPS5998445U JPS5998445U JP1982193491U JP19349182U JPS5998445U JP S5998445 U JPS5998445 U JP S5998445U JP 1982193491 U JP1982193491 U JP 1982193491U JP 19349182 U JP19349182 U JP 19349182U JP S5998445 U JPS5998445 U JP S5998445U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photomask
- recorded
- mixed
- semiconductor device
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のホトマスクの平面図、第２図は本考案実
施例のホトマスクの平面図である。 なお図において、１・・・・・・ホトマスク、２． ２
−ａ、２−ｂ・・・・・・チップパターンである。
施例のホトマスクの平面図である。 なお図において、１・・・・・・ホトマスク、２． ２
−ａ、２−ｂ・・・・・・チップパターンである。
Claims (1)
- １枚のホトマスクにおいて、複数の異なったチップパタ
ーンを混載し配列していることを特徴とする半導体装置
製造用ホトマスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982193491U JPS5998445U (ja) | 1982-12-21 | 1982-12-21 | ホトマスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982193491U JPS5998445U (ja) | 1982-12-21 | 1982-12-21 | ホトマスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5998445U true JPS5998445U (ja) | 1984-07-03 |
Family
ID=30416146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982193491U Pending JPS5998445U (ja) | 1982-12-21 | 1982-12-21 | ホトマスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5998445U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55165629A (en) * | 1979-06-11 | 1980-12-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of semiconductor device |
| JPS59105648A (ja) * | 1982-12-10 | 1984-06-19 | Toshiba Corp | 複合レテイクル |
-
1982
- 1982-12-21 JP JP1982193491U patent/JPS5998445U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55165629A (en) * | 1979-06-11 | 1980-12-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of semiconductor device |
| JPS59105648A (ja) * | 1982-12-10 | 1984-06-19 | Toshiba Corp | 複合レテイクル |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5998445U (ja) | ホトマスク | |
| JPS60183439U (ja) | 集積回路 | |
| JPS60141129U (ja) | リ−ドレスチツプキヤリアの端子構造 | |
| JPS614443U (ja) | 半導体集積回路 | |
| JPS59115641U (ja) | 回路基板のモ−ルド流れ防止構造 | |
| JPS5916139U (ja) | 集積回路 | |
| JPS59103441U (ja) | 半導体集積回路 | |
| JPS6112262U (ja) | プリント配線板用セラミツク基板 | |
| JPS59182974U (ja) | プリント基板 | |
| JPS58191641U (ja) | 半導体装置 | |
| JPS602828U (ja) | 半導体集積回路装置 | |
| JPS58168147U (ja) | 半導体装置 | |
| JPS585346U (ja) | 半導体装置 | |
| JPS60178838U (ja) | 半導体装置製造用マスク | |
| JPS60169860U (ja) | 混成集積回路 | |
| JPS61238U (ja) | 半導体装置の合わせマ−ク | |
| JPS6066026U (ja) | 認識表示付半導体ウエハ | |
| JPS60159436U (ja) | 半導体装置製造用ガラスマスク | |
| JPS58180668U (ja) | 半田流れ防止装置 | |
| JPS6096823U (ja) | フオトマスク | |
| JPS6071146U (ja) | 半導体装置 | |
| JPS58164238U (ja) | 集積回路素子 | |
| JPS59115642U (ja) | 半導体ウエフア | |
| JPS58138945U (ja) | 集積回路基板作成パタ−ンマスク | |
| JPS5845534U (ja) | ホトマスク |