JPS59115642U - 半導体ウエフア - Google Patents
半導体ウエフアInfo
- Publication number
- JPS59115642U JPS59115642U JP942583U JP942583U JPS59115642U JP S59115642 U JPS59115642 U JP S59115642U JP 942583 U JP942583 U JP 942583U JP 942583 U JP942583 U JP 942583U JP S59115642 U JPS59115642 U JP S59115642U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test circuit
- semiconductor wafer
- circuit chip
- chips
- semiconductor integrated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は、従来の半導体ウェファの説明図、第2図は本
考案を実施した半導体ウェファの例の部分拡大図である
。 1・・・・・・半導体・ウェファ、2・・・・・・半導
体集積回路チップ、3・・・・・・試験用回路部、4・
・・・・・半導体集積回路、5・・・・・・半導体集積
回路用パッド、6・・・・・・試験回路、7・・・・・
・試験回路用パッド、8・・・・・・試験回路識別パタ
ーン、9・・・・・・試験回路識別パターン用パッド。
考案を実施した半導体ウェファの例の部分拡大図である
。 1・・・・・・半導体・ウェファ、2・・・・・・半導
体集積回路チップ、3・・・・・・試験用回路部、4・
・・・・・半導体集積回路、5・・・・・・半導体集積
回路用パッド、6・・・・・・試験回路、7・・・・・
・試験回路用パッド、8・・・・・・試験回路識別パタ
ーン、9・・・・・・試験回路識別パターン用パッド。
Claims (1)
- 分割されてチップ状となるべき多数個の半導体集積回路
チップと、試験回路チップとを含む半導体ウェファにお
いて、前記試験回路チップのパラ1=配置が前記半導体
集積回路チップのパッド配置と共通部分を有するように
し、かつ試験回路チップはそれが試験回路であることを
測定システムに認識させるための回路パターンを有する
ことを特徴とする半導体ウェファ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP942583U JPS59115642U (ja) | 1983-01-26 | 1983-01-26 | 半導体ウエフア |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP942583U JPS59115642U (ja) | 1983-01-26 | 1983-01-26 | 半導体ウエフア |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59115642U true JPS59115642U (ja) | 1984-08-04 |
Family
ID=30140886
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP942583U Pending JPS59115642U (ja) | 1983-01-26 | 1983-01-26 | 半導体ウエフア |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59115642U (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54148485A (en) * | 1978-05-15 | 1979-11-20 | Nec Corp | Test method for semiconductor device |
JPS5776854A (en) * | 1980-10-30 | 1982-05-14 | Nec Corp | Semiconductor device |
JPS582039A (ja) * | 1981-06-25 | 1983-01-07 | Fujitsu Ltd | 半導体基板 |
-
1983
- 1983-01-26 JP JP942583U patent/JPS59115642U/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54148485A (en) * | 1978-05-15 | 1979-11-20 | Nec Corp | Test method for semiconductor device |
JPS5776854A (en) * | 1980-10-30 | 1982-05-14 | Nec Corp | Semiconductor device |
JPS582039A (ja) * | 1981-06-25 | 1983-01-07 | Fujitsu Ltd | 半導体基板 |
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