JPS5845534U - ホトマスク - Google Patents

ホトマスク

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Publication number
JPS5845534U
JPS5845534U JP1981140361U JP14036181U JPS5845534U JP S5845534 U JPS5845534 U JP S5845534U JP 1981140361 U JP1981140361 U JP 1981140361U JP 14036181 U JP14036181 U JP 14036181U JP S5845534 U JPS5845534 U JP S5845534U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photomask
hole
size
abstract
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1981140361U
Other languages
English (en)
Inventor
明 森重
和也 渡辺
Original Assignee
富士通株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
Priority to JP1981140361U priority Critical patent/JPS5845534U/ja
Publication of JPS5845534U publication Critical patent/JPS5845534U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　円形基板の表面にパターンを形成してなるホトマス
    クにおいて、該基板の中心に穴を設けたことを特徴とす
    るホトマスク。 ２　前記穴の大きさがチップ１個の大きさにほぼ等しい
    か又はそれよりも小さいものである、前記実用新案登録
    請求の範囲第１項記載のホトマスク。
JP1981140361U 1981-09-24 1981-09-24 ホトマスク Pending JPS5845534U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1981140361U JPS5845534U (ja) 1981-09-24 1981-09-24 ホトマスク

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1981140361U JPS5845534U (ja) 1981-09-24 1981-09-24 ホトマスク

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5845534U true JPS5845534U (ja) 1983-03-26

Family

ID=29933525

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1981140361U Pending JPS5845534U (ja) 1981-09-24 1981-09-24 ホトマスク

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5845534U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04149554A (ja) * 1990-10-12 1992-05-22 Fujitsu Ltd プリント基板の露光装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5229063B2 (ja) * 1973-07-16 1977-07-30
JPS5623940B2 (ja) * 1975-06-10 1981-06-03

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5229063B2 (ja) * 1973-07-16 1977-07-30
JPS5623940B2 (ja) * 1975-06-10 1981-06-03

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04149554A (ja) * 1990-10-12 1992-05-22 Fujitsu Ltd プリント基板の露光装置

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