JPS58185851U - 露光装置用レテイクル - Google Patents
露光装置用レテイクルInfo
- Publication number
- JPS58185851U JPS58185851U JP1982082401U JP8240182U JPS58185851U JP S58185851 U JPS58185851 U JP S58185851U JP 1982082401 U JP1982082401 U JP 1982082401U JP 8240182 U JP8240182 U JP 8240182U JP S58185851 U JPS58185851 U JP S58185851U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reticle
- optical member
- projection lens
- exposure
- exposure equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例の概略図、第２図は従来の例
を示す概略図、第３図は本考案の一実虚例の光路の拡大
図、第４図は従来の光路の拡大図である。 １・・・レイチクル、２・・・縮小レンズ、８・・・基
板、９・・・パターン面、２１・・・レイチクル、２９
・・・パターン面。
を示す概略図、第３図は本考案の一実虚例の光路の拡大
図、第４図は従来の光路の拡大図である。 １・・・レイチクル、２・・・縮小レンズ、８・・・基
板、９・・・パターン面、２１・・・レイチクル、２９
・・・パターン面。
Claims (1)
- 投影レンズを用いて、レティクルに描かれた原画を試料
上に投影する露光装置において、レティクルと投影レン
ズとの間に、表裏面が平坦でその厚さｔが光学的に平行
な光学部材を設置する際に、上記光学部材の第１面と投
影レンズの入射瞳との露光光軸上の距離をＲとする時、
上記光学部材の第１面の曲率半径をＲ１第２面の曲率半
径を（Ｒ＋ｔ）に等しくなるよう製作した上記光学部材
を有することを特徴とする露光装置用レティクル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982082401U JPS58185851U (ja) | 1982-06-04 | 1982-06-04 | 露光装置用レテイクル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982082401U JPS58185851U (ja) | 1982-06-04 | 1982-06-04 | 露光装置用レテイクル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58185851U true JPS58185851U (ja) | 1983-12-10 |
Family
ID=30091468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982082401U Pending JPS58185851U (ja) | 1982-06-04 | 1982-06-04 | 露光装置用レテイクル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58185851U (ja) |
-
1982
- 1982-06-04 JP JP1982082401U patent/JPS58185851U/ja active Pending
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