JPS60166144U - 投影露光装置 - Google Patents
投影露光装置Info
- Publication number
- JPS60166144U JPS60166144U JP5339384U JP5339384U JPS60166144U JP S60166144 U JPS60166144 U JP S60166144U JP 5339384 U JP5339384 U JP 5339384U JP 5339384 U JP5339384 U JP 5339384U JP S60166144 U JPS60166144 U JP S60166144U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- reticle
- light source
- projection exposure
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来実施例の説明図、第2図は本考案実施例の
説明図である。 5・・・コンデンサレンズ、6・・・ターゲットパター
ン、12・・・反射ミラー、14・・・パターン検出器
、15・・・照明光源、16・・・反射ミラー。 茅1図 第2図
説明図である。 5・・・コンデンサレンズ、6・・・ターゲットパター
ン、12・・・反射ミラー、14・・・パターン検出器
、15・・・照明光源、16・・・反射ミラー。 茅1図 第2図
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 ウェハ上に回路パターンを投影露光するための原画
となるレチクル、レチクル内のパターンを投影するため
の投影レンズ、レチクルの照明光源、ウェハ上のパター
ンとレチクル内パターンの相対位置を検出するパターン
検出器より構成される投影露光装置に於て、。 前記パターン検出器の集光レンズの1部と前記照明光源
のコンデンサレンズとを共有させたことを特徴とした投
影露光装置。 2 実用新案登録請求の範囲第1図に於て、前記パター
ン検出器はレチクルと平行に直交するX、Y2方向に移
動する機構を有することを特徴とした投影露光装置。 3 実用新案登録請求の範囲第1項に於て、前記パター
ン検出のためにウェハ上のパターンを照明する専用の光
源を設け、その光源としては、前記回路パターンの投影
光源に使用される波長と同−又は異なる波長をそれぞれ
選択使用可能な機構を有することを特徴とした投影露光
袋 ・、置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5339384U JPS60166144U (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | 投影露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5339384U JPS60166144U (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | 投影露光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60166144U true JPS60166144U (ja) | 1985-11-05 |
Family
ID=30574213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5339384U Pending JPS60166144U (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | 投影露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60166144U (ja) |
-
1984
- 1984-04-13 JP JP5339384U patent/JPS60166144U/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS60166144U (ja) | 投影露光装置 | |
JPS58126524A (ja) | 複写カメラ | |
JPS52126241A (en) | Slit illumination device | |
JPS5845533U (ja) | 照度分布測定装置 | |
JPH0221618U (ja) | ||
JPS5928330Y2 (ja) | 視野マ−ク投影装置 | |
JPS5850414U (ja) | 欠陥検出用投写装置 | |
JPS5885339U (ja) | 縮小投影露光装置 | |
JPH03117829U (ja) | ||
JPS5971350U (ja) | 縮小投影露光装置 | |
JPS5993401U (ja) | 眼底カメラの撮影方向表示装置 | |
JPS5866308U (ja) | 投影検査機 | |
JPH0321842U (ja) | ||
JPS59138842U (ja) | 被写体位置決め指示装置 | |
JPS59119411U (ja) | 投影露光装置 | |
JPS58146243U (ja) | ホトマスク | |
JPS611970U (ja) | カラ−ビデオカメラのバイアスライト照射装置 | |
JPH01118435U (ja) | ||
JPS6382933U (ja) | ||
JPH0470732U (ja) | ||
JPS6132912U (ja) | 立体認識用照明装置 | |
JPS6174486U (ja) | ||
JPH02102719U (ja) | ||
JPS6157519U (ja) | ||
JPS60118133U (ja) | オ−バ−ヘツドプロジエクタ |