JPH01118435U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01118435U JPH01118435U JP1258388U JP1258388U JPH01118435U JP H01118435 U JPH01118435 U JP H01118435U JP 1258388 U JP1258388 U JP 1258388U JP 1258388 U JP1258388 U JP 1258388U JP H01118435 U JPH01118435 U JP H01118435U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- projection lens
- exposure apparatus
- wavelength plate
- target mark
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
Description
第１図は従来装置を示す図、第２図は本案にお
ける光の偏光状態を示す図、第３図は迷光の行方
を示す図、第４図は本案の実施例を示す図である
。 １…レチクル、２…投影レンズ、３…ウエハ。
ける光の偏光状態を示す図、第３図は迷光の行方
を示す図、第４図は本案の実施例を示す図である
。 １…レチクル、２…投影レンズ、３…ウエハ。
Claims (1)
- 原画パターンを投影レンズを介して被露光体へ
投影し、かつ前記被露光体に形成された位置合せ
用ターゲツトマークを投影レンズを介した拡大光
学系により検出するように構成された光露光装置
で、前記拡大光学系を偏光プリズムと波長板を混
じえて構成し、かつ前述偏光プリズムと波長板を
、拡大光学系内部で発生する不要な迷光を検出器
へ導く事の無いような位置に配備する事により、
得られる好適な光信号にもとづいて、前述ターゲ
ツトマーク位置を精度良く検出するように構成さ
れている事を特徴とする光露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1258388U JPH01118435U (ja) | 1988-02-03 | 1988-02-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1258388U JPH01118435U (ja) | 1988-02-03 | 1988-02-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01118435U true JPH01118435U (ja) | 1989-08-10 |
Family
ID=31222148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1258388U Pending JPH01118435U (ja) | 1988-02-03 | 1988-02-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01118435U (ja) |
-
1988
- 1988-02-03 JP JP1258388U patent/JPH01118435U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH01118435U (ja) | ||
| JPS6468926A (en) | Measurement of image distortion in projection optical system | |
| JPS55149929A (en) | Positioning method of projected image in projection enlarger | |
| JPH044479U (ja) | ||
| JPS63150920U (ja) | ||
| KR960026075A (ko) | 웨이퍼 스텝퍼에서 정렬광의 경사조명에 의한 웨이퍼 정렬방법과 그 장치 | |
| JPH0374310U (ja) | ||
| JPH01115236U (ja) | ||
| JPH02102720U (ja) | ||
| JPS6382933U (ja) | ||
| JPS60166144U (ja) | 投影露光装置 | |
| JPS6473617A (en) | Aligning method of projection system | |
| JPS6082208U (ja) | 被測定面の位置測定装置 | |
| JPS6432624A (en) | Aligner | |
| JPS607006U (ja) | 偏光分光計による膜厚測定装置 | |
| JPS60173913U (ja) | 焦点検出装置 | |
| JPS6059104U (ja) | 光学式機械量測定装置 | |
| JPH0224843U (ja) | ||
| JPH03119816U (ja) | ||
| JPH0164007U (ja) | ||
| JPH0392029U (ja) | ||
| JPS6033342U (ja) | フィルム拡大装置 | |
| JPS62201741U (ja) | ||
| JPS63150921U (ja) | ||
| JPS5885339U (ja) | 縮小投影露光装置 |