JPS6082208U - 被測定面の位置測定装置 - Google Patents
被測定面の位置測定装置Info
- Publication number
- JPS6082208U JPS6082208U JP17482683U JP17482683U JPS6082208U JP S6082208 U JPS6082208 U JP S6082208U JP 17482683 U JP17482683 U JP 17482683U JP 17482683 U JP17482683 U JP 17482683U JP S6082208 U JPS6082208 U JP S6082208U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- measuring device
- position measuring
- light
- optical axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、本考案に係る位置検出装置の構成原理を示す
原理図である。第２図は、被測定面での偏光状態の変化
による入射光量の変化を比較して示すグラフ図である。 １・・・被測定試料、２・・・光源、３・・・検知手蒔
、６・・・４分の１波長板。
原理図である。第２図は、被測定面での偏光状態の変化
による入射光量の変化を比較して示すグラフ図である。 １・・・被測定試料、２・・・光源、３・・・検知手蒔
、６・・・４分の１波長板。
Claims (1)
- 被測定面上に直線偏光した光ビームを照射する光源と、
被測定面からの反射ビームの光軸上にあって、被測定面
と基準面とのなす傾斜角、又は被測定面と基準面との間
の離隔距離を検知する検知手段と、前記光源と被測定面
との間の光軸上に配置された４分の１波長板とからなり
、前記光源から照射された光ビームを、前記４分の１波
長板によって円偏光ビームとし、該円偏光ビームの被測
定面からの反射光を、前記検知手段で受光することによ
り、被測定面の位置測定するようにしたことを特徴とす
る被測定面の位置測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17482683U JPS6082208U (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 被測定面の位置測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17482683U JPS6082208U (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 被測定面の位置測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6082208U true JPS6082208U (ja) | 1985-06-07 |
| JPH037766Y2 JPH037766Y2 (ja) | 1991-02-26 |
Family
ID=30380508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17482683U Granted JPS6082208U (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 被測定面の位置測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6082208U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01144810U (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-04 | ||
| JPH0225710A (ja) * | 1988-07-15 | 1990-01-29 | Hitachi Ltd | パターン検査方法 |
-
1983
- 1983-11-14 JP JP17482683U patent/JPS6082208U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01144810U (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-04 | ||
| JPH0225710A (ja) * | 1988-07-15 | 1990-01-29 | Hitachi Ltd | パターン検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH037766Y2 (ja) | 1991-02-26 |
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