JPS59172367U - 走査型エキソ電子検出装置 - Google Patents
走査型エキソ電子検出装置Info
- Publication number
- JPS59172367U JPS59172367U JP6683683U JP6683683U JPS59172367U JP S59172367 U JPS59172367 U JP S59172367U JP 6683683 U JP6683683 U JP 6683683U JP 6683683 U JP6683683 U JP 6683683U JP S59172367 U JPS59172367 U JP S59172367U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- exoelectron
- detection device
- changes
- exoelectrons
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来装置の原理図、第２図は走査装置の概略図
、第３図及び第４−図は本考案の実施例の説明図、第５
図はその系統図である。 し・・物体、２・・・サポート、Ｌ・・・光源、ｅ用電
子、Ｆ・・・ファイバ、Ｓ、Ｂ・・・スイッチボックス
、１〜ｎ・・・走査順。
、第３図及び第４−図は本考案の実施例の説明図、第５
図はその系統図である。 し・・物体、２・・・サポート、Ｌ・・・光源、ｅ用電
子、Ｆ・・・ファイバ、Ｓ、Ｂ・・・スイッチボックス
、１〜ｎ・・・走査順。
Claims (1)
- 紫外線あるいはレーザーなどの光刺激の走査によって広
範囲に亘る面積のエキソ電子検出を行なって物質表面の
変化を明らかにしようとす兆表面物性計測装置において
、複数点への光波の誘導を時間的なスイッチングにより
走査することにより１、 物質表面の変化とその位置
を計測するようにしたことを特徴とする走査型エキソ電
子検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6683683U JPS59172367U (ja) | 1983-05-06 | 1983-05-06 | 走査型エキソ電子検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6683683U JPS59172367U (ja) | 1983-05-06 | 1983-05-06 | 走査型エキソ電子検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59172367U true JPS59172367U (ja) | 1984-11-17 |
Family
ID=30197038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6683683U Pending JPS59172367U (ja) | 1983-05-06 | 1983-05-06 | 走査型エキソ電子検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59172367U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6372128A (ja) * | 1986-09-16 | 1988-04-01 | Matsushita Electronics Corp | 薄膜製造装置 |
-
1983
- 1983-05-06 JP JP6683683U patent/JPS59172367U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6372128A (ja) * | 1986-09-16 | 1988-04-01 | Matsushita Electronics Corp | 薄膜製造装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| IT1118202B (it) | Dispositivo ottico di scansione | |
| DE58902612D1 (de) | Koordinatenmessgeraet mit einem optischen tastkopf. | |
| DE3852121D1 (de) | Positionsmesseinrichtung mit mehreren Abtaststellen. | |
| ATA177380A (de) | Vorrichtung zur optischen aufzeichnung von information mit mehreren abtragbaren aufzeichnungsschichten | |
| DE3484372D1 (de) | Abtastvorrichtung fuer lichtstrahl. | |
| DE3585454D1 (de) | Geraet zur verarbeitung eines bildsignals mit bandkompression. | |
| ES489885A0 (es) | Un dispositivo de registro con una estructura de informacion opticamente legible | |
| JPS59172367U (ja) | 走査型エキソ電子検出装置 | |
| JPS5974354U (ja) | ライン状光学ヘツド | |
| JPS58105646U (ja) | ラベル読取装置 | |
| SU616666A1 (ru) | Устройство дл определени параметров сканирующего электронного пучка | |
| JPS59109904U (ja) | 触針式形状測定機の測定位置検知装置 | |
| JPS5874108U (ja) | 微細パタ−ンの測定装置 | |
| DE8301958U1 (de) | Optische anordnung mit einrichtung fuer die zufuehrung von zusatzinformationen | |
| IT1203126B (it) | Dispositivo di scansione ottico-meccanico | |
| JPS59129261U (ja) | ラインイメ−ジセンサ− | |
| JPS60108493U (ja) | レ−ザノズルの保護装置 | |
| JPS60181961U (ja) | 画像読み取り装置 | |
| JPS60189840U (ja) | 表面不良検知装置 | |
| JPS598141U (ja) | 吸光光度計 | |
| JPS5872607U (ja) | フイルムの厚み測定装置 | |
| JPS60115236U (ja) | 記録装置の移動検知装置 | |
| JPS59157791U (ja) | 集光装置の位置決め装置 | |
| JPS5837509U (ja) | レンズの表面形状測定器 | |
| JPS5849333U (ja) | 欠陥検出装置 |