JPS5899654U - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
- Publication number
- JPS5899654U JPS5899654U JP19648581U JP19648581U JPS5899654U JP S5899654 U JPS5899654 U JP S5899654U JP 19648581 U JP19648581 U JP 19648581U JP 19648581 U JP19648581 U JP 19648581U JP S5899654 U JPS5899654 U JP S5899654U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- foreign object
- surface inspection
- inspection equipment
- converts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案による表面検査装置の実施例図である。
図面において、１は光源、２はコリメータ部、３は偏光
子、４はフレネルレンズ、５は検光子、６は観測者、７
は透過光、８は装置カバ、９は基板、１０は異物を示し
ている。
子、４はフレネルレンズ、５は検光子、６は観測者、７
は透過光、８は装置カバ、９は基板、１０は異物を示し
ている。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板面に光を照射して異物を検出する装置において、光
源と、該光源よりの光を平行光とするコリメータ部と、
前記平行光を直線偏光とする偏光子と、異物が存在しな
い被検査面からの反射光の。 透過は減少させるが異物が存在する被検査面の異物から
の反射光を透過させ異物像のジントラストを高める検光
子とを有する三とを特徴とする表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19648581U JPS5899654U (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19648581U JPS5899654U (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5899654U true JPS5899654U (ja) | 1983-07-06 |
Family
ID=30109725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19648581U Pending JPS5899654U (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5899654U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023163836A (ja) * | 2022-04-28 | 2023-11-10 | ニシハツ産業株式会社 | 海苔異物確認装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5494145A (en) * | 1978-01-10 | 1979-07-25 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Cooler |
| JPS5684535A (en) * | 1979-12-14 | 1981-07-09 | Hitachi Ltd | Automatic detecting device for alien substance |
-
1981
- 1981-12-26 JP JP19648581U patent/JPS5899654U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5494145A (en) * | 1978-01-10 | 1979-07-25 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Cooler |
| JPS5684535A (en) * | 1979-12-14 | 1981-07-09 | Hitachi Ltd | Automatic detecting device for alien substance |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023163836A (ja) * | 2022-04-28 | 2023-11-10 | ニシハツ産業株式会社 | 海苔異物確認装置 |
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