JPS5942954U - パタ−ン検査装置 - Google Patents
パタ−ン検査装置Info
- Publication number
- JPS5942954U JPS5942954U JP13937182U JP13937182U JPS5942954U JP S5942954 U JPS5942954 U JP S5942954U JP 13937182 U JP13937182 U JP 13937182U JP 13937182 U JP13937182 U JP 13937182U JP S5942954 U JPS5942954 U JP S5942954U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- pattern inspection
- fresnel transformation
- inspection equipment
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Input (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例を示す配置構成図、第２図はこの考案の
実施例を示す配置構成図、第３図はフレネル変換フィル
タを作成する光学系を示す図である。 １１．１３・・・凸レンズ、１２・・・フレネル変換フ
ィルタ、Ｓ・・・基準パター′ン、Ｐ・・・被検査パタ
ーン。
実施例を示す配置構成図、第３図はフレネル変換フィル
タを作成する光学系を示す図である。 １１．１３・・・凸レンズ、１２・・・フレネル変換フ
ィルタ、Ｓ・・・基準パター′ン、Ｐ・・・被検査パタ
ーン。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 コヒーレント光源、 光源の前方であってかつ光源との間で被検査パターンを
挾むように配置された第１の凸レンズ、第１の凸レンズ
の前方のフレネル変換面に配置され、基準パターンのフ
レネル変換パターンが記録されたフレネル変換フィルタ
、およびフレネル変換フィルタの前方に配置された第２
を備えたパターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13937182U JPS5942954U (ja) | 1982-09-14 | 1982-09-14 | パタ−ン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13937182U JPS5942954U (ja) | 1982-09-14 | 1982-09-14 | パタ−ン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5942954U true JPS5942954U (ja) | 1984-03-21 |
Family
ID=30312404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13937182U Pending JPS5942954U (ja) | 1982-09-14 | 1982-09-14 | パタ−ン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5942954U (ja) |
-
1982
- 1982-09-14 JP JP13937182U patent/JPS5942954U/ja active Pending
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