JPS58156210U - 平面度測定機の裏面反射防止構造 - Google Patents
平面度測定機の裏面反射防止構造Info
- Publication number
- JPS58156210U JPS58156210U JP5411882U JP5411882U JPS58156210U JP S58156210 U JPS58156210 U JP S58156210U JP 5411882 U JP5411882 U JP 5411882U JP 5411882 U JP5411882 U JP 5411882U JP S58156210 U JPS58156210 U JP S58156210U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring machine
- flatness measuring
- back side
- reflection structure
- flatness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は平面度測定機の概略構成図で、第２図は本考案
に係る反射防止構造の使用時の構成説明図を示す。 １・・・オプチカルフラット、２・・・ガラス板、２ａ
・・・表面、２ｂ・・・裏面、３・・・水、４・・・反
射防止具。
に係る反射防止構造の使用時の構成説明図を示す。 １・・・オプチカルフラット、２・・・ガラス板、２ａ
・・・表面、２ｂ・・・裏面、３・・・水、４・・・反
射防止具。
Claims (1)
- オプチカルフラットを用い光波干渉法を利用して平行な
二平面を有するガラス板の表面の平面度を測定する平面
度測定機において、上記ガラス板の裏面に水の薄膜を介
して反射防止部材を密着させてなる平面度測定機の裏面
反射防止構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5411882U JPS58156210U (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | 平面度測定機の裏面反射防止構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5411882U JPS58156210U (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | 平面度測定機の裏面反射防止構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58156210U true JPS58156210U (ja) | 1983-10-19 |
| JPS6330962Y2 JPS6330962Y2 (ja) | 1988-08-18 |
Family
ID=30064750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5411882U Granted JPS58156210U (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | 平面度測定機の裏面反射防止構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58156210U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01197605A (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-09 | Asahi Optical Co Ltd | 透過用光学素子の表面形状測定方法及びその測定方法に用いる測定治具 |
| JP2010271603A (ja) * | 2009-05-25 | 2010-12-02 | Nikon Corp | 面位置検出装置、パターン形成装置、面位置検出方法、パターン形成方法及びデバイス製造方法 |
-
1982
- 1982-04-14 JP JP5411882U patent/JPS58156210U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01197605A (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-09 | Asahi Optical Co Ltd | 透過用光学素子の表面形状測定方法及びその測定方法に用いる測定治具 |
| JP2010271603A (ja) * | 2009-05-25 | 2010-12-02 | Nikon Corp | 面位置検出装置、パターン形成装置、面位置検出方法、パターン形成方法及びデバイス製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6330962Y2 (ja) | 1988-08-18 |
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