JPS5829837U - 照明装置 - Google Patents
照明装置Info
- Publication number
- JPS5829837U JPS5829837U JP12427481U JP12427481U JPS5829837U JP S5829837 U JPS5829837 U JP S5829837U JP 12427481 U JP12427481 U JP 12427481U JP 12427481 U JP12427481 U JP 12427481U JP S5829837 U JPS5829837 U JP S5829837U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent parts
- lighting equipment
- light
- illuminated
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来の照明装置を用いた半導体ペレット外観検
査装置の概略側面図、第2図及び第3図は第1図の外観
検査を説明するための半導体ペレットの各状態での平面
図とその撮像された画像図、第4図は本考案による照明
装置を用いた半導体ペレット外観検査装置の一例を示す
概略側面図、第5図は本考案の照明装置で用いるエンド
レスフィルムの一例を示す一部平面図である。 1・・・・・・被照明物(半導体ペレット)、14・・
面光源、15・・・・・・エンドレスフィルム、a・・
曲透光部、b・・・・・・不透光部。
査装置の概略側面図、第2図及び第3図は第1図の外観
検査を説明するための半導体ペレットの各状態での平面
図とその撮像された画像図、第4図は本考案による照明
装置を用いた半導体ペレット外観検査装置の一例を示す
概略側面図、第5図は本考案の照明装置で用いるエンド
レスフィルムの一例を示す一部平面図である。 1・・・・・・被照明物(半導体ペレット)、14・・
面光源、15・・・・・・エンドレスフィルム、a・・
曲透光部、b・・・・・・不透光部。
Claims (1)
- 透光部と不透光部を交互に連続して形成してエンドレス
フィルムを光源と被照明物の間に配置し、エンドレスフ
ィルムをその透光部と不透光部が交互に光源よりの光を
遮光するように走行させて被照明物を間歇照明すること
を特徴とする照明装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12427481U JPS5829837U (ja) | 1981-08-21 | 1981-08-21 | 照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12427481U JPS5829837U (ja) | 1981-08-21 | 1981-08-21 | 照明装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5829837U true JPS5829837U (ja) | 1983-02-26 |
Family
ID=29918147
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12427481U Pending JPS5829837U (ja) | 1981-08-21 | 1981-08-21 | 照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5829837U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH081313A (ja) * | 1994-06-14 | 1996-01-09 | Intocast Gmbh Feuerfestprod & Giesshilfsmittel | 取鍋の耐火性ライニングを製造又は修復するためにライニング材を搬送する装置 |
-
1981
- 1981-08-21 JP JP12427481U patent/JPS5829837U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH081313A (ja) * | 1994-06-14 | 1996-01-09 | Intocast Gmbh Feuerfestprod & Giesshilfsmittel | 取鍋の耐火性ライニングを製造又は修復するためにライニング材を搬送する装置 |
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