JPS59115644U - ワ−ク外観検査装置 - Google Patents

ワ−ク外観検査装置

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JPS59115644U
JPS59115644U JP948583U JP948583U JPS59115644U JP S59115644 U JPS59115644 U JP S59115644U JP 948583 U JP948583 U JP 948583U JP 948583 U JP948583 U JP 948583U JP S59115644 U JPS59115644 U JP S59115644U
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JP
Japan
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workpiece
inspection device
appearance inspection
workpiece appearance
camera
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Application number
JP948583U
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Inventor
竹村　成市
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は一般的な、半導体ペレットを得るためのウェー
ハ貼着構体の斜視図、第２図及び第３図はそのペレット
の外観検査装置を示す概略構成図、第４図は斜光照明に
よるペレットの影を示す要部断面図、第５図はこの考案
の一実施例を示すワーク外観検査装置の概略構成図、第
６図は円偏光子による落射光の往復状態を示す概念図、
第７図はワークの撮像画面を示す原理図である。 ８・・・・・、ＴＶカメラ、１５・・・・・・対物元系
（鏡筒部）、１６・・・・・・円偏光子。 第３図 第５図 第４図 、　＼

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ワークへ光を照射してＴＶカメラにて撮像し、パターン
    認識を行ってワークの形状や表面状態を検査する装置に
    おいて、前記ＴＶカメラの対物光学系とワークとの間に
    円偏光子を介在させたことを特徴とするワーク外観検査
    装置。
JP948583U 1983-01-25 1983-01-25 ワ−ク外観検査装置 Pending JPS59115644U (ja)

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JPS59115644U true JPS59115644U (ja) 1984-08-04

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ID=30140943

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57131039A (en) * 1981-02-07 1982-08-13 Olympus Optical Co Ltd Defect detector

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57131039A (en) * 1981-02-07 1982-08-13 Olympus Optical Co Ltd Defect detector

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