JPS5834120U - 表面欠陥撮影装置 - Google Patents

表面欠陥撮影装置

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Publication number
JPS5834120U
JPS5834120U JP12888181U JP12888181U JPS5834120U JP S5834120 U JPS5834120 U JP S5834120U JP 12888181 U JP12888181 U JP 12888181U JP 12888181 U JP12888181 U JP 12888181U JP S5834120 U JPS5834120 U JP S5834120U
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JP
Japan
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imaging device
surface defect
defect imaging
wafer
photograph
Prior art date
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Pending
Application number
JP12888181U
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English (en)
Inventor
雅之 酒井
Original Assignee
富士通株式会社
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Publication date
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Publication of JPS5834120U publication Critical patent/JPS5834120U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Stereoscopic And Panoramic Photography (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例になる表面欠陥撮影装置の概
略構成を示す斜視図、第２図は前記装置を構成するラン
プハウスの側断面図、第３図は前記装置による撮影例を
示す写真の概略図である。 なお、図中において１は表面欠陥撮影装置、２は傾斜型
載物台、３は基台、４，７は支柱、６はカメラ、８はラ
ンプハウス、９はウェーハ、１゜はカメラレンズ、１２
は棒状光源、１３．１４はスリット、１７は送りねじ、
１８は線状光を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 鏡面加工された圧電媒質等の結晶ウェーハに投光しその
    表面欠陥を撮影する装置において、ウェーハ表面に対し
    て斜め方向に直線移動する線状光と、前記移動に連動し
    てシャッタが開閉するカメラとを備えてなることを特徴
    とした表面欠陥撮影装置。
JP12888181U 1981-08-31 1981-08-31 表面欠陥撮影装置 Pending JPS5834120U (ja)

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JP12888181U JPS5834120U (ja) 1981-08-31 1981-08-31 表面欠陥撮影装置

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JP12888181U JPS5834120U (ja) 1981-08-31 1981-08-31 表面欠陥撮影装置

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JPS5834120U true JPS5834120U (ja) 1983-03-05

Family

ID=29922560

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JP12888181U Pending JPS5834120U (ja) 1981-08-31 1981-08-31 表面欠陥撮影装置

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