JPS5844849U - 半導体ペレット用照明装置 - Google Patents

半導体ペレット用照明装置

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JPS5844849U
JPS5844849U JP14031581U JP14031581U JPS5844849U JP S5844849 U JPS5844849 U JP S5844849U JP 14031581 U JP14031581 U JP 14031581U JP 14031581 U JP14031581 U JP 14031581U JP S5844849 U JPS5844849 U JP S5844849U
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JP
Japan
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lighting device
semiconductor pellets
adhesive sheet
filter
small
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JP14031581U
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JPS626686Y2 (ja
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竹村　成市
砂原　孝幸
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日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、各素子に区画区分するスクライビング中の半
導体ウェーハの斜視図、第２図は、従来の照明装置の概
略構成を示す要部断面図、第３図は、その光照射面にお
ける照度分布を示す特性曲線図、第４図Ａ及び第４図Ｂ
は、その理想上の照度分布特性曲線図及び周縁が光回折
現像の影響を受けた照度分布特性曲線図、第５図はこの
考案の第１実施例を示す照明装置の要部断面図、第６図
は、そのフィルタの平面図、第７図及び第８図は、この
考案の第２及び第３実施例を示すフィルタの　　　′夫
々の側面図である。 １４・・・・・・接着シート、１５，１５．・・・・・
・小物ワーク（ペレ゛ント）、１８・・・・・・平行光
線、２０゜２５．３０・・・・・ｉフィルタ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 小片状の小物ワークを多数透光性接着シート上に配置し
    、少くともシートの下方より光線を照射して、上方より
    ＴＶカメラにて小物ワークの光学像を撮影して種々の作
    業を行わせる装置において、前記透光性接着シート近傍
    に、照射面全面に亘り均一照度とするフィルタを設けた
    ことを特徴とする照明装置。
JP14031581U 1981-09-21 1981-09-21 半導体ペレット用照明装置 Granted JPS5844849U (ja)

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JP14031581U JPS5844849U (ja) 1981-09-21 1981-09-21 半導体ペレット用照明装置

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JPS5844849U true JPS5844849U (ja) 1983-03-25
JPS626686Y2 JPS626686Y2 (ja) 1987-02-16

Family

ID=29933477

Family Applications (1)

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JP14031581U Granted JPS5844849U (ja) 1981-09-21 1981-09-21 半導体ペレット用照明装置

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JP (1) JPS5844849U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004053451A1 (ja) * 2002-12-06 2004-06-24 Inter Action Corporation 固体撮像素子の試験装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004053451A1 (ja) * 2002-12-06 2004-06-24 Inter Action Corporation 固体撮像素子の試験装置

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JPS626686Y2 (ja) 1987-02-16

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