JPS58130256U - ペレツト外観検査装置 - Google Patents
ペレツト外観検査装置Info
- Publication number
- JPS58130256U JPS58130256U JP2680282U JP2680282U JPS58130256U JP S58130256 U JPS58130256 U JP S58130256U JP 2680282 U JP2680282 U JP 2680282U JP 2680282 U JP2680282 U JP 2680282U JP S58130256 U JPS58130256 U JP S58130256U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- appearance inspection
- inspection equipment
- pellet appearance
- camera
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来のペレット外観検査装置の概略側面図、第
2図はペレットの表面への光照射を示すペレット斜視図
、第3図A及び第3図Bは、ペレット表面状態検査を説
明するための撮像された画面の模式図、第4図はこの考
案の一実施例を示すペレット外観検査装置の一部断面視
正面図、第5、図はその一部の偏光フィルタ相互間の、
偏光方向の関係を示すものである。 20.20・・・・・・ペレット、21・・・・・・T
Vカメラ、24.24・・・・・・照明装置、25.2
5・・・・・・照明光源収納部、27.27・・・・・
・偏光フィルタ。
2図はペレットの表面への光照射を示すペレット斜視図
、第3図A及び第3図Bは、ペレット表面状態検査を説
明するための撮像された画面の模式図、第4図はこの考
案の一実施例を示すペレット外観検査装置の一部断面視
正面図、第5、図はその一部の偏光フィルタ相互間の、
偏光方向の関係を示すものである。 20.20・・・・・・ペレット、21・・・・・・T
Vカメラ、24.24・・・・・・照明装置、25.2
5・・・・・・照明光源収納部、27.27・・・・・
・偏光フィルタ。
Claims (1)
- ペレット表面へ光を照射して、TVカメラでペレット表
面像を撮像して得た画像からペレット外観検査を行う装
置において、ペレットを中心として放射状に複数個配置
した光源と、各々の光源とペレットとの間に介挿する複
数個の偏光フィルタとを具備したことを特徴とするペレ
ット外観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2680282U JPS58130256U (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | ペレツト外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2680282U JPS58130256U (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | ペレツト外観検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58130256U true JPS58130256U (ja) | 1983-09-02 |
Family
ID=30038735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2680282U Pending JPS58130256U (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | ペレツト外観検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58130256U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008045965A (ja) * | 2006-08-14 | 2008-02-28 | Yamaha Corp | ウェハの検査方法及びウェハのクラック検査装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5463790A (en) * | 1977-08-24 | 1979-05-22 | Emballage Ste Gle Pour | Method and device for checking and sorting transparent pieces |
JPS55104743A (en) * | 1979-02-06 | 1980-08-11 | Fujitsu Ltd | Method for inspecting substrate |
JPS5630630A (en) * | 1979-08-23 | 1981-03-27 | Hitachi Ltd | Foreign matter detector |
-
1982
- 1982-02-25 JP JP2680282U patent/JPS58130256U/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5463790A (en) * | 1977-08-24 | 1979-05-22 | Emballage Ste Gle Pour | Method and device for checking and sorting transparent pieces |
JPS55104743A (en) * | 1979-02-06 | 1980-08-11 | Fujitsu Ltd | Method for inspecting substrate |
JPS5630630A (en) * | 1979-08-23 | 1981-03-27 | Hitachi Ltd | Foreign matter detector |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008045965A (ja) * | 2006-08-14 | 2008-02-28 | Yamaha Corp | ウェハの検査方法及びウェハのクラック検査装置 |
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