JPS58130256U - ペレツト外観検査装置 - Google Patents
ペレツト外観検査装置Info
- Publication number
- JPS58130256U JPS58130256U JP2680282U JP2680282U JPS58130256U JP S58130256 U JPS58130256 U JP S58130256U JP 2680282 U JP2680282 U JP 2680282U JP 2680282 U JP2680282 U JP 2680282U JP S58130256 U JPS58130256 U JP S58130256U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- appearance inspection
- inspection equipment
- pellet appearance
- camera
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来のペレット外観検査装置の概略側面図、第
2図はペレットの表面への光照射を示すペレット斜視図
、第3図A及び第3図Bは、ペレット表面状態検査を説
明するための撮像された画面の模式図、第4図はこの考
案の一実施例を示すペレット外観検査装置の一部断面視
正面図、第5、図はその一部の偏光フィルタ相互間の、
偏光方向の関係を示すものである。 20.20・・・・・・ペレット、21・・・・・・T
Vカメラ、24.24・・・・・・照明装置、25.2
5・・・・・・照明光源収納部、27.27・・・・・
・偏光フィルタ。
2図はペレットの表面への光照射を示すペレット斜視図
、第3図A及び第3図Bは、ペレット表面状態検査を説
明するための撮像された画面の模式図、第4図はこの考
案の一実施例を示すペレット外観検査装置の一部断面視
正面図、第5、図はその一部の偏光フィルタ相互間の、
偏光方向の関係を示すものである。 20.20・・・・・・ペレット、21・・・・・・T
Vカメラ、24.24・・・・・・照明装置、25.2
5・・・・・・照明光源収納部、27.27・・・・・
・偏光フィルタ。
Claims (1)
- ペレット表面へ光を照射して、TVカメラでペレット表
面像を撮像して得た画像からペレット外観検査を行う装
置において、ペレットを中心として放射状に複数個配置
した光源と、各々の光源とペレットとの間に介挿する複
数個の偏光フィルタとを具備したことを特徴とするペレ
ット外観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2680282U JPS58130256U (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | ペレツト外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2680282U JPS58130256U (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | ペレツト外観検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58130256U true JPS58130256U (ja) | 1983-09-02 |
Family
ID=30038735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2680282U Pending JPS58130256U (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | ペレツト外観検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58130256U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008045965A (ja) * | 2006-08-14 | 2008-02-28 | Yamaha Corp | ウェハの検査方法及びウェハのクラック検査装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5463790A (en) * | 1977-08-24 | 1979-05-22 | Emballage Ste Gle Pour | Method and device for checking and sorting transparent pieces |
JPS55104743A (en) * | 1979-02-06 | 1980-08-11 | Fujitsu Ltd | Method for inspecting substrate |
JPS5630630A (en) * | 1979-08-23 | 1981-03-27 | Hitachi Ltd | Foreign matter detector |
-
1982
- 1982-02-25 JP JP2680282U patent/JPS58130256U/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5463790A (en) * | 1977-08-24 | 1979-05-22 | Emballage Ste Gle Pour | Method and device for checking and sorting transparent pieces |
JPS55104743A (en) * | 1979-02-06 | 1980-08-11 | Fujitsu Ltd | Method for inspecting substrate |
JPS5630630A (en) * | 1979-08-23 | 1981-03-27 | Hitachi Ltd | Foreign matter detector |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008045965A (ja) * | 2006-08-14 | 2008-02-28 | Yamaha Corp | ウェハの検査方法及びウェハのクラック検査装置 |
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