JPS58127648U - 照明装置 - Google Patents

照明装置

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JPS58127648U
JPS58127648U JP2501182U JP2501182U JPS58127648U JP S58127648 U JPS58127648 U JP S58127648U JP 2501182 U JP2501182 U JP 2501182U JP 2501182 U JP2501182 U JP 2501182U JP S58127648 U JPS58127648 U JP S58127648U
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JP
Japan
Prior art keywords
lighting equipment
adhesive sheet
light sources
sheet
small
Prior art date
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Pending
Application number
JP2501182U
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English (en)
Inventor
竹村　成市
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、各素子に区画区分するスクライビング中の半
導体ウェーハの斜視図、第２図は、従来の照明装置の概
略構成を示す要部断面図、第３図は、その光照射面にお
ける照度分布を示す特性曲線図、第４図Ａ及び第４図Ｂ
は、その理想上の照度分布特性曲線図及び周縁が光回折
現象の影響を受けた照度分布特性曲線図、第５図は、こ
の考案の一実施例を示す照明装置の要部断面図、第６図
は、そのＸ−Ｘ線にて切断した断面図、第７図は、第５
図における要部拡大断面図、第８図は、その他の実施例
を示す照明装置の要部断面図である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 小片状の小物ワークを多数透光性接着シート上に配置し
    、少くともシート上の下方より光線を照射して、上方よ
    りＴＶ左カメラて小物ワークの光学像を撮影して、一種
    々の作業を行わせる装置において、前記透光性接着シー
    ト近傍に、複数の光源と、光源に対応する多分割導波路
    を備えた光透過板を設けたことを特徴とする照明装置。
JP2501182U 1982-02-23 1982-02-23 照明装置 Pending JPS58127648U (ja)

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JP2501182U JPS58127648U (ja) 1982-02-23 1982-02-23 照明装置

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JP2501182U JPS58127648U (ja) 1982-02-23 1982-02-23 照明装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58127648U true JPS58127648U (ja) 1983-08-30

Family

ID=30036987

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JP2501182U Pending JPS58127648U (ja) 1982-02-23 1982-02-23 照明装置

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JP (1) JPS58127648U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005251986A (ja) * 2004-03-04 2005-09-15 Disco Abrasive Syst Ltd ウエーハの分離検出方法および分離検出装置
JP2009081333A (ja) * 2007-09-27 2009-04-16 Disco Abrasive Syst Ltd レーザー加工装置および接着フィルム切断方法

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