JPS58127648U - 照明装置 - Google Patents
照明装置Info
- Publication number
- JPS58127648U JPS58127648U JP2501182U JP2501182U JPS58127648U JP S58127648 U JPS58127648 U JP S58127648U JP 2501182 U JP2501182 U JP 2501182U JP 2501182 U JP2501182 U JP 2501182U JP S58127648 U JPS58127648 U JP S58127648U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lighting equipment
- adhesive sheet
- light sources
- sheet
- small
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は、各素子に区画区分するスクライビング中の半
導体ウェーハの斜視図、第2図は、従来の照明装置の概
略構成を示す要部断面図、第3図は、その光照射面にお
ける照度分布を示す特性曲線図、第4図A及び第4図B
は、その理想上の照度分布特性曲線図及び周縁が光回折
現象の影響を受けた照度分布特性曲線図、第5図は、こ
の考案の一実施例を示す照明装置の要部断面図、第6図
は、そのX−X線にて切断した断面図、第7図は、第5
図における要部拡大断面図、第8図は、その他の実施例
を示す照明装置の要部断面図である。
導体ウェーハの斜視図、第2図は、従来の照明装置の概
略構成を示す要部断面図、第3図は、その光照射面にお
ける照度分布を示す特性曲線図、第4図A及び第4図B
は、その理想上の照度分布特性曲線図及び周縁が光回折
現象の影響を受けた照度分布特性曲線図、第5図は、こ
の考案の一実施例を示す照明装置の要部断面図、第6図
は、そのX−X線にて切断した断面図、第7図は、第5
図における要部拡大断面図、第8図は、その他の実施例
を示す照明装置の要部断面図である。
Claims (1)
- 小片状の小物ワークを多数透光性接着シート上に配置し
、少くともシート上の下方より光線を照射して、上方よ
りTV左カメラて小物ワークの光学像を撮影して、一種
々の作業を行わせる装置において、前記透光性接着シー
ト近傍に、複数の光源と、光源に対応する多分割導波路
を備えた光透過板を設けたことを特徴とする照明装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2501182U JPS58127648U (ja) | 1982-02-23 | 1982-02-23 | 照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2501182U JPS58127648U (ja) | 1982-02-23 | 1982-02-23 | 照明装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58127648U true JPS58127648U (ja) | 1983-08-30 |
Family
ID=30036987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2501182U Pending JPS58127648U (ja) | 1982-02-23 | 1982-02-23 | 照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58127648U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005251986A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分離検出方法および分離検出装置 |
JP2009081333A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置および接着フィルム切断方法 |
-
1982
- 1982-02-23 JP JP2501182U patent/JPS58127648U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005251986A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分離検出方法および分離検出装置 |
JP2009081333A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置および接着フィルム切断方法 |
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