JPS59166834U - 光照射装置 - Google Patents
光照射装置Info
- Publication number
- JPS59166834U JPS59166834U JP5950783U JP5950783U JPS59166834U JP S59166834 U JPS59166834 U JP S59166834U JP 5950783 U JP5950783 U JP 5950783U JP 5950783 U JP5950783 U JP 5950783U JP S59166834 U JPS59166834 U JP S59166834U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- irradiation device
- light irradiation
- area
- light source
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案実施例の断面図、第２図は照度分布と温
度分布の説明図である。 −１・・・装置箱、２
・・・被処理物（ウェハー）、５・・・閃光放電灯、６
・・・ミラー、８・・・試料台、Ａ・・・照度分布曲線
、Ｂ・・・予備加熱温度分布曲線。
度分布の説明図である。 −１・・・装置箱、２
・・・被処理物（ウェハー）、５・・・閃光放電灯、６
・・・ミラー、８・・・試料台、Ａ・・・照度分布曲線
、Ｂ・・・予備加熱温度分布曲線。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 並列に密接配置されて面状光源を構成する複□
数本の放電灯と、予備加熱炉が内蔵された試料台とを
備え、前記面状光源の面積を試料台上に載置される被処
理物のうちで最大のものの面積と同等かや八大きい程度
とし、かつ試料台表面の温度を中心部より外周近傍を高
温としたことを特徴とする光照射装置。 ２ 前記試料台の表面を高珪酸ガラス板で構成したこと
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の光照
射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5950783U JPS59166834U (ja) | 1983-04-22 | 1983-04-22 | 光照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5950783U JPS59166834U (ja) | 1983-04-22 | 1983-04-22 | 光照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59166834U true JPS59166834U (ja) | 1984-11-08 |
Family
ID=30189756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5950783U Pending JPS59166834U (ja) | 1983-04-22 | 1983-04-22 | 光照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59166834U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006060117A (ja) * | 2004-08-23 | 2006-03-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置 |
-
1983
- 1983-04-22 JP JP5950783U patent/JPS59166834U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006060117A (ja) * | 2004-08-23 | 2006-03-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置 |
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