JPH01144810U - - Google Patents

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JPH01144810U
JPH01144810U JP4111288U JP4111288U JPH01144810U JP H01144810 U JPH01144810 U JP H01144810U JP 4111288 U JP4111288 U JP 4111288U JP 4111288 U JP4111288 U JP 4111288U JP H01144810 U JPH01144810 U JP H01144810U
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displacement measuring
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図は同実施例の他の構成例を示す模式的斜視図、
第３図は同実施例において所定の測定範囲内でＡ
ｌ蒸着面とガラス面を連続して測定した結果を示
すグラフ、第４図はＰ，Ｓ偏光の入射角に対する
反射率を示すグラフ、第５図はガラスの屈折率ｎ
と、Ｓ，Ｐ偏光の比率をパラメータとした入射角
θと反射率の関係を示すグラフ、第６図は従来の
変位測定装置の構成を示す模式的斜視図、第７図
は同従来の装置におけるＡｌ蒸着面及びガラス面
の変位測定を示す斜視図、第８図は第７図の測定
によつて得られた所定の測定範囲内における変位
測定の結果を示すグラフ、第９図は光源と波長板
との間に偏光子を入れた本考案の他の実施例を示
す模式的斜視図である。 １０……投光側、１２……波長板、１４……測
定対象である金属蒸着面を有する透明体としての
ガラス板、２２……光検出素子、３０……偏光子
。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 測定対象の表面に照射したレーザ光の反射・
    散乱光を光検出素子の受光面上に結像させ、前記
    測定対象の表面の変位を、前記受光面における結
    像点の移動に応答した光検出素子の出力電気信号
    として測定する変位測定装置において、照射され
    るレーザ光が含むＳ偏光とＰ偏光の比率を調整す
    るための波長板をレーザ光の投光側に設けること
    により、測定対象としての透明体の表面における
    反射率を所定範囲の入射角についてほぼ一定とし
    て変位測定を行なうように構成したことを特徴と
    する変位測定装置。 ２ 光源と波長板との間に偏光子を設けたことを
    特徴とする請求項１記載の変位測定装置。
JP1988041112U 1988-03-30 1988-03-30 変位測定装置 Expired - Lifetime JPH0726648Y2 (ja)

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JPH0726648Y2 JPH0726648Y2 (ja) 1995-06-14

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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59157512A (ja) * 1983-02-28 1984-09-06 Matsushita Electric Works Ltd 光学式位置検出装置
JPS59180614U (ja) * 1983-05-20 1984-12-03 キヤノン株式会社 自動焦点検出装置
JPS6082208U (ja) * 1983-11-14 1985-06-07 大日本スクリーン製造株式会社 被測定面の位置測定装置
JPS63275912A (ja) * 1987-05-08 1988-11-14 Nikon Corp 表面変位検出装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59157512A (ja) * 1983-02-28 1984-09-06 Matsushita Electric Works Ltd 光学式位置検出装置
JPS59180614U (ja) * 1983-05-20 1984-12-03 キヤノン株式会社 自動焦点検出装置
JPS6082208U (ja) * 1983-11-14 1985-06-07 大日本スクリーン製造株式会社 被測定面の位置測定装置
JPS63275912A (ja) * 1987-05-08 1988-11-14 Nikon Corp 表面変位検出装置

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JPH0726648Y2 (ja) 1995-06-14

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