JPH0239110U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0239110U JPH0239110U JP11796488U JP11796488U JPH0239110U JP H0239110 U JPH0239110 U JP H0239110U JP 11796488 U JP11796488 U JP 11796488U JP 11796488 U JP11796488 U JP 11796488U JP H0239110 U JPH0239110 U JP H0239110U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aperture
- interference
- spatial filter
- collimator lens
- measurement device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案に係る干渉測定装置の一実施例
を示す光学系の図、第２図ａ，ｂは絞りを空間フ
イルタとして用いた場合の全開時と穴径を絞つた
状態を示す図、第３図ａ，ｂはフイゾー型干渉シ
ステムにより測定した場合の干渉縞を示し、ａは
絞りを開けた場合、ｂは絞りを絞つた場合の図、
第４図ａ，ｂはシエアリング型干渉システムによ
り測定した場合の干渉縞を示し、ａは絞りを開け
た場合、ｂは絞りを絞つた場合の図、第５図は従
来のシエアリング型干渉計を示す光学系の図であ
る。 １……光源、５……コリメータレンズ、７……
被検物、８……被検面、１０……全反射ミラー、
１５……撮像素子、２０……空間フイルタ、２１
……絞り。
を示す光学系の図、第２図ａ，ｂは絞りを空間フ
イルタとして用いた場合の全開時と穴径を絞つた
状態を示す図、第３図ａ，ｂはフイゾー型干渉シ
ステムにより測定した場合の干渉縞を示し、ａは
絞りを開けた場合、ｂは絞りを絞つた場合の図、
第４図ａ，ｂはシエアリング型干渉システムによ
り測定した場合の干渉縞を示し、ａは絞りを開け
た場合、ｂは絞りを絞つた場合の図、第５図は従
来のシエアリング型干渉計を示す光学系の図であ
る。 １……光源、５……コリメータレンズ、７……
被検物、８……被検面、１０……全反射ミラー、
１５……撮像素子、２０……空間フイルタ、２１
……絞り。
Claims (1)
- 光源から出た光をコリメータレンズ等の光学素
子を経て被検面に導き、この被検面に当つて反射
し戻つてくる反射光の相互干渉に基づく干渉像を
観測し、前記被検面の面精度を測定する干渉測定
装置において、前記コリメータレンズの焦点位置
に絞り付空間フイルタを設け、この空間フイルタ
の穴径を絞りによつて可変することによりモアレ
縞をカツトするようにしたことを特徴とする干渉
測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11796488U JPH0239110U (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11796488U JPH0239110U (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0239110U true JPH0239110U (ja) | 1990-03-15 |
Family
ID=31361899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11796488U Pending JPH0239110U (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0239110U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015115726A (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-22 | 株式会社イクス | 輝度測定方法、輝度測定装置及びこれらを用いた画質調整技術 |
-
1988
- 1988-09-09 JP JP11796488U patent/JPH0239110U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015115726A (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-22 | 株式会社イクス | 輝度測定方法、輝度測定装置及びこれらを用いた画質調整技術 |