JPH0243638U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0243638U JPH0243638U JP12165488U JP12165488U JPH0243638U JP H0243638 U JPH0243638 U JP H0243638U JP 12165488 U JP12165488 U JP 12165488U JP 12165488 U JP12165488 U JP 12165488U JP H0243638 U JPH0243638 U JP H0243638U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- measured
- surface shape
- reflected light
- alignment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図ａ
，ｂは本考案主要部の説明図、第３図は出力電圧
の一例を示す線図、第４図は従来の表面形状測定
の例を示す説明図である。 ３９，４４……ビームスプリツター、４８……
シリンドリカルレンズ、４９……４分割デイテク
ター、５０……アンプ、５１……電圧表示装置。
，ｂは本考案主要部の説明図、第３図は出力電圧
の一例を示す線図、第４図は従来の表面形状測定
の例を示す説明図である。 ３９，４４……ビームスプリツター、４８……
シリンドリカルレンズ、４９……４分割デイテク
ター、５０……アンプ、５１……電圧表示装置。
Claims (1)
- 被測定物の光学表面形状を測定するための干渉
光学系と、上記干渉光学系において被測定物の反
射光を分岐し、被測定物がビーム・ウエストの位
置の時に被測定物反射光がスポツトとなる第一の
アライメント光学系、前記第一のアライメント光
学系で検出したビーム・スポツトを高精度で電気
信号に変換する手段をもつ第２のアライメント光
学系、被測定物の位置を測定する手段とを有する
事を特徴とする光学表面の形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12165488U JPH0243638U (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12165488U JPH0243638U (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0243638U true JPH0243638U (ja) | 1990-03-26 |
Family
ID=31368859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12165488U Pending JPH0243638U (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0243638U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0431733A (ja) * | 1990-05-28 | 1992-02-03 | Naitsu:Kk | コンタクトレンズのベースカーブ及び中心肉厚の同時測定法及び同測定装置 |
-
1988
- 1988-09-19 JP JP12165488U patent/JPH0243638U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0431733A (ja) * | 1990-05-28 | 1992-02-03 | Naitsu:Kk | コンタクトレンズのベースカーブ及び中心肉厚の同時測定法及び同測定装置 |
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