JPS6348108U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6348108U JPS6348108U JP14050386U JP14050386U JPS6348108U JP S6348108 U JPS6348108 U JP S6348108U JP 14050386 U JP14050386 U JP 14050386U JP 14050386 U JP14050386 U JP 14050386U JP S6348108 U JPS6348108 U JP S6348108U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- electron beam
- measured
- signal processing
- detectors
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例のブロツク図、第2
図は検出信号の例を示した説明図である。 1…電子銃、2…偏向コイル、3…電子レンズ
、4,5…検出器、6…試料、7…XYテーブル
、8…テーブル駆動装置、9,10…増幅器、1
1…差分演算回路、12…加算演算回路、13…
信号処理回路、14…表示装置、15…モニタ、
16…偏向制御回路。
図は検出信号の例を示した説明図である。 1…電子銃、2…偏向コイル、3…電子レンズ
、4,5…検出器、6…試料、7…XYテーブル
、8…テーブル駆動装置、9,10…増幅器、1
1…差分演算回路、12…加算演算回路、13…
信号処理回路、14…表示装置、15…モニタ、
16…偏向制御回路。
Claims (1)
- 被測定試料を電子ビームで走査して、試料から
の位置情報信号を検出する手段と、その検出信号
から被測定試料上の寸法に変換する信号処理手段
とからなる電子ビーム装置において、電子光学軸
に対称配置された1組の検出器とその2つの検出
器の出力信号の差の大きさを得ることができる信
号処理回路を設けたことを特徴とする電子ビーム
測長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14050386U JPS6348108U (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14050386U JPS6348108U (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6348108U true JPS6348108U (ja) | 1988-04-01 |
Family
ID=31047411
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14050386U Pending JPS6348108U (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6348108U (ja) |
-
1986
- 1986-09-16 JP JP14050386U patent/JPS6348108U/ja active Pending
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