JPH0572029A - 光パワーメータ - Google Patents
光パワーメータInfo
- Publication number
- JPH0572029A JPH0572029A JP3259887A JP25988791A JPH0572029A JP H0572029 A JPH0572029 A JP H0572029A JP 3259887 A JP3259887 A JP 3259887A JP 25988791 A JP25988791 A JP 25988791A JP H0572029 A JPH0572029 A JP H0572029A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- light
- power meter
- optical
- optical power
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 受光センサの面内感度のバラツキによる出力
の変動を防止する。 【構成】 光センサ１は、中心から同心状に多分割した
受光面２，３を有し、各センサ出力を電流電圧変換回路
１０，２０に通過した後、差動増幅器３０及び和信号増
幅器４０に入力し、差動増幅器出力は極性判定回路５０
を通して切換器６０に、和信号増幅器出力は切換器６０
を通して表示回路７０により出力表示を行う。
の変動を防止する。 【構成】 光センサ１は、中心から同心状に多分割した
受光面２，３を有し、各センサ出力を電流電圧変換回路
１０，２０に通過した後、差動増幅器３０及び和信号増
幅器４０に入力し、差動増幅器出力は極性判定回路５０
を通して切換器６０に、和信号増幅器出力は切換器６０
を通して表示回路７０により出力表示を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ光等の光出力を検
出する光パワーメータに関する。
出する光パワーメータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の光パワーメータは図３に
示すように、単体の光センサ１で受光した光量を電気信
号変換回路３００で変換し、増幅器４００で増幅し、表
示メータ５００を駆動し、検出する構成を有していた。
示すように、単体の光センサ１で受光した光量を電気信
号変換回路３００で変換し、増幅器４００で増幅し、表
示メータ５００を駆動し、検出する構成を有していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の光パワーメ
ータでは、受光センサ１の面内感度のバラツキから、図
４に示すようにセンサ上の受光ポイントにより、その出
力が変動するため、受光位置に配置するセンサのズレに
より、測定再現度が低く、取り扱い性及び精度の点にお
いて大きな問題があった。
ータでは、受光センサ１の面内感度のバラツキから、図
４に示すようにセンサ上の受光ポイントにより、その出
力が変動するため、受光位置に配置するセンサのズレに
より、測定再現度が低く、取り扱い性及び精度の点にお
いて大きな問題があった。
【０００４】本発明の目的は、前記課題を解決した光パ
ワーメータを提供することにある。
ワーメータを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る光パワーメータにおいては、光量を電
気信号に変換する光パワーメータであって、光を検出す
る光センサが、少なくとも２分割した多分割構造を有し
ているものである。
め、本発明に係る光パワーメータにおいては、光量を電
気信号に変換する光パワーメータであって、光を検出す
る光センサが、少なくとも２分割した多分割構造を有し
ているものである。
【０００６】また、光センサは、中心から同心状に多分
割した構造としたものである。
割した構造としたものである。
【０００７】また、光センサは、中心から放射状に多分
割した構造としたものである。
割した構造としたものである。
【０００８】また、多分割した光センサからの出力によ
る総和信号を得る増幅器、或いは差動出力増幅器を装備
したものである。
る総和信号を得る増幅器、或いは差動出力増幅器を装備
したものである。
【０００９】
【作用】分割した光センサの差動出力信号により光受光
ポイントの検出を行い、常に同一受光部にての検出を行
い得るようにした。
ポイントの検出を行い、常に同一受光部にての検出を行
い得るようにした。
【００１０】
【実施例】次に本発明について図面を参照して詳細に説
明する。
明する。
【００１１】（実施例１）図１は、本発明の実施例１を
示す構成図である。
示す構成図である。
【００１２】図１において、光センサ１は、中心に対し
て同心状に配置した受光面２及び受光面３からなる２分
割の受光面を有している。各受光面の出力は、電流電圧
変換回路１０、電流電圧変換回路２０を通してそれぞれ
差動増幅器３０及び和信号増幅器４０に入力される。
て同心状に配置した受光面２及び受光面３からなる２分
割の受光面を有している。各受光面の出力は、電流電圧
変換回路１０、電流電圧変換回路２０を通してそれぞれ
差動増幅器３０及び和信号増幅器４０に入力される。
【００１３】さらに、差動増幅器３０の出力は、極性判
定回路５０を通して切換器６０に入力される。
定回路５０を通して切換器６０に入力される。
【００１４】和信号増幅器４０の出力は、切換器６０を
通して表示回路７０により出力表示を行う構成を有して
いる。
通して表示回路７０により出力表示を行う構成を有して
いる。
【００１５】また各回路の設定は、光センサ１への入射
光が受光面２，受光面３のうち一方への受光が大の場合
に差動出力器３０の出力が正となる回路設定を具備して
いる（本発明では受光面２が出力大で正と設定）ことか
ら、受光面２への出力が大、すなわち光センサ１の中心
部光量が大の場合に極性判定回路５０が正となり、切換
器６０の出力をＯＮとして和信号増幅器４０の出力を表
示回路７０へ接続することにより測定を行うものであ
る。
光が受光面２，受光面３のうち一方への受光が大の場合
に差動出力器３０の出力が正となる回路設定を具備して
いる（本発明では受光面２が出力大で正と設定）ことか
ら、受光面２への出力が大、すなわち光センサ１の中心
部光量が大の場合に極性判定回路５０が正となり、切換
器６０の出力をＯＮとして和信号増幅器４０の出力を表
示回路７０へ接続することにより測定を行うものであ
る。
【００１６】本例では、極性判定回路５０のＯＮ時に
は、パイロットランプ１００を動作させ、測定開始の表
示を行っている。
は、パイロットランプ１００を動作させ、測定開始の表
示を行っている。
【００１７】以上説明したように本発明によれば、光セ
ンサ中心部の光量大の時のみの測定が可能となり、常に
安定した測定と測定精度の再現性向上が図れる光パワー
メータを提供できるものである。
ンサ中心部の光量大の時のみの測定が可能となり、常に
安定した測定と測定精度の再現性向上が図れる光パワー
メータを提供できるものである。
【００１８】（実施例２）図２は、本発明の実施例２を
示す構成図である。
示す構成図である。
【００１９】図２において、光センサ１は、中心から放
射状の受光面Ａ２，Ｂ２，Ｃ２，Ｄ２の４分割受光面を
有している。各々の出力を実施例１と同様に電流電圧変
換し、それぞれの出力を演算増幅回路２００に通し下記
判定Ａ２−Ｃ２≒０＆Ｂ２−Ｄ２≒０の出力２２０で切
換器６０をＯＮとしてＡ２＋Ｂ２＋Ｃ２＋Ｄ２の出力２
１０を表示回路７０へ接続した構成を有している。
射状の受光面Ａ２，Ｂ２，Ｃ２，Ｄ２の４分割受光面を
有している。各々の出力を実施例１と同様に電流電圧変
換し、それぞれの出力を演算増幅回路２００に通し下記
判定Ａ２−Ｃ２≒０＆Ｂ２−Ｄ２≒０の出力２２０で切
換器６０をＯＮとしてＡ２＋Ｂ２＋Ｃ２＋Ｄ２の出力２
１０を表示回路７０へ接続した構成を有している。
【００２０】実施例２は、実施例１と同様に光センサの
中心部への受光検出時のみ測定を行い得る構成であり、
常に同一測定点の設定が容易となり、高い再現性をもっ
て光パワーの測定が可能となる。
中心部への受光検出時のみ測定を行い得る構成であり、
常に同一測定点の設定が容易となり、高い再現性をもっ
て光パワーの測定が可能となる。
【００２１】なお、本発明の実施例における中心部から
の分割をより多分割として各出力を演算し、中心への追
い込み機能をもたせ、光ビームへの光センサの配置をよ
り容易に行い得るようにすることも可能であることは言
うまでもない。
の分割をより多分割として各出力を演算し、中心への追
い込み機能をもたせ、光ビームへの光センサの配置をよ
り容易に行い得るようにすることも可能であることは言
うまでもない。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、光
センサの面内感度のバラツキをなくし、出力変動を防止
できる。
センサの面内感度のバラツキをなくし、出力変動を防止
できる。
【図１】本発明の実施例１を示す構成図である。
【図２】本発明の実施例２を示す構成図である。
【図３】従来の光パワーメータを示す構成図である。
【図４】光センサ感度分布を示す説明図である。
１ 光センサ ２ 受光面 ３ 受光面 １０ 電流電圧変換回路 ２０ 電流電圧変換回路 １１〜１４ 電流電圧変換回路 ３０ 差動増幅器 ４０ 和信号増幅器 ５０ 極性判定回路 ６０ 切換器 ７０ 表示回路 １００ パイロットランプ ２００ 演算増幅回路 ２１０，２２０ 演算増幅器出力 ３００ 電気信号変換回路 ４００ 増幅器 ５００ 表示メータ
Claims (5)
- 【請求項１】 光量を電気信号に変換する光パワーメー
タであって、 光を検出する光センサが、少なくとも２分割した多分割
構造を有していることを特徴とする光パワーメータ。 - 【請求項２】 前記請求項１の光パワーメータであっ
て、 光センサは、中心から同心状に多分割した構造としたも
のであることを特徴とする光パワーメータ。 - 【請求項３】 前記請求項１の光パワーメータであっ
て、 光センサは、中心から放射状に多分割した構造としたも
のであることを特徴とする光パワーメータ。 - 【請求項４】 前記請求項１の光パワーメータであっ
て、 多分割した光センサからの出力による総和信号を得る増
幅器を装備したことを特徴とする光パワーメータ。 - 【請求項５】 前記請求項１，４の光パワーメータであ
って、 差動出力増幅器を具備したことを特徴とする光パワーメ
ータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3259887A JPH0572029A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 光パワーメータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3259887A JPH0572029A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 光パワーメータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0572029A true JPH0572029A (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=17340320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3259887A Pending JPH0572029A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 光パワーメータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0572029A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100431068B1 (ko) * | 2002-05-03 | 2004-05-12 | 주식회사 옵텔콤 | 광파장 자동 식별기능을 구비한 광파워메타 |
| WO2010110249A1 (ja) * | 2009-03-25 | 2010-09-30 | ローム株式会社 | 照度センサと、それを用いた電子機器および半導体装置 |
-
1991
- 1991-09-11 JP JP3259887A patent/JPH0572029A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100431068B1 (ko) * | 2002-05-03 | 2004-05-12 | 주식회사 옵텔콤 | 광파장 자동 식별기능을 구비한 광파워메타 |
| WO2010110249A1 (ja) * | 2009-03-25 | 2010-09-30 | ローム株式会社 | 照度センサと、それを用いた電子機器および半導体装置 |
| US8513892B2 (en) | 2009-03-25 | 2013-08-20 | Rohm Co., Ltd. | Illuminance sensor, and electronic equipment and semiconductor device using the same |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
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