JPH0451607U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0451607U JPH0451607U JP9288690U JP9288690U JPH0451607U JP H0451607 U JPH0451607 U JP H0451607U JP 9288690 U JP9288690 U JP 9288690U JP 9288690 U JP9288690 U JP 9288690U JP H0451607 U JPH0451607 U JP H0451607U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical path
- incident
- photodiodes
- movable mirror
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の測長装置の一実施例を示す構
成図、第２図は第１図装置に用いられる複数のフ
オトダイオードの出力例を示す図、第３図はアブ
ソリユート型の測長装置の従来例である。 １１……レーザ光源、１２……三角光路共通パ
ス干渉計、１３……フーリエ変換レンズ、１４…
…複数のフオトダイオード、１５……演算器、１
２１……ハーフミラー、１２２……可動ミラー、
１２３……固定ミラー。
成図、第２図は第１図装置に用いられる複数のフ
オトダイオードの出力例を示す図、第３図はアブ
ソリユート型の測長装置の従来例である。 １１……レーザ光源、１２……三角光路共通パ
ス干渉計、１３……フーリエ変換レンズ、１４…
…複数のフオトダイオード、１５……演算器、１
２１……ハーフミラー、１２２……可動ミラー、
１２３……固定ミラー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 レーザ光源と、 このレーザ光源の出射光が入射されるハーフミ
ラー、固定ミラーおよび可動ミラーから成る三角
光路共通パス干渉計と、 この三角光路共通パス干渉計からの出射光が入
射されるフーリエ変換レンズと、 このフーリエ変換レンズの焦点面に配置された
複数のフオトダイオードと、 前記可動ミラーの移動に伴う光路長変化により
前記三角光路共通パス干渉計から得られる干渉信
号を前記複数のフオトダイオードで検出し、この
複数のフオトダイオードの出力信号から前記可動
ミラーの移動量を演算する演算部を設けた構成と
したことを特徴とする測長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9288690U JPH0451607U (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9288690U JPH0451607U (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0451607U true JPH0451607U (ja) | 1992-04-30 |
Family
ID=31829677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9288690U Pending JPH0451607U (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0451607U (ja) |
-
1990
- 1990-09-04 JP JP9288690U patent/JPH0451607U/ja active Pending
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