JPS6273207U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6273207U JPS6273207U JP16408985U JP16408985U JPS6273207U JP S6273207 U JPS6273207 U JP S6273207U JP 16408985 U JP16408985 U JP 16408985U JP 16408985 U JP16408985 U JP 16408985U JP S6273207 U JPS6273207 U JP S6273207U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aperture
- light
- interference
- mask
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
第１図は本考案をシエアリング干渉計に適用し
た場合の一実施例を示す図、第２図ａ，ｂは観測
像を示す図、第３図は本考案をフイゾー干渉計に
適用した場合の他の実施例を示す図、第４図は従
来のトワイマン・グリーン型干渉計の光学系の図
、第５図は被検物の位置ずれによる光路を示す図
、第６図は従来のフイゾー干渉計の光学系を示す
図である。 １……レーザー光源、３……コリメーターレン
ズ、４……集光レンズ、５……被検面、６０……
マスク、Ａ……被検物、Ｌ……光軸。
た場合の一実施例を示す図、第２図ａ，ｂは観測
像を示す図、第３図は本考案をフイゾー干渉計に
適用した場合の他の実施例を示す図、第４図は従
来のトワイマン・グリーン型干渉計の光学系の図
、第５図は被検物の位置ずれによる光路を示す図
、第６図は従来のフイゾー干渉計の光学系を示す
図である。 １……レーザー光源、３……コリメーターレン
ズ、４……集光レンズ、５……被検面、６０……
マスク、Ａ……被検物、Ｌ……光軸。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 光源から出射した光をコリメーターレンズ
等の光学素子を経て被検物の被検面に導き、その
戻つてくる反射光の相互干渉に基づく複数の干渉
縞からなる干渉像を観測し、前記被検面の面形状
を測定する干渉測定装置において、前記光源から
の光を平行光とするコリメーターレンズの被検物
側に光束を絞るマスクを光軸と同軸的に配設した
ことを特徴とする干渉測定装置。 (2) マスクの口径ｄは、被検面口径が円形の球
面または非球面の場合、被検面の曲率半径Ｒ、口
径Ｄ、集光レンズの焦点距離ｆ０としたとき、 ｄ＝Ｄｆ０Ｒ を満足することを特徴とする実用新案登録請求の
範囲第１項記載の干渉測定装置。 (3) マスクの口径ｄは、被検面口径が円形の平
面の場合、被検面の口径Ｄ、としたとき、 ｄ＝Ｄ を満足することを特徴とする実用新案登録請求の
範囲第１項記載の干渉測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16408985U JPS6273207U (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16408985U JPS6273207U (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6273207U true JPS6273207U (ja) | 1987-05-11 |
Family
ID=31092886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16408985U Pending JPS6273207U (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6273207U (ja) |
-
1985
- 1985-10-28 JP JP16408985U patent/JPS6273207U/ja active Pending
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